CN202461034U - 硅片酸洗槽 - Google Patents
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Abstract
一种硅片酸洗槽，包括槽体和封在所述槽体的槽口处的槽盖组件，所述的槽盖组件包括位于所述槽体的外壁上用于提供动力的气缸、由所述的气缸的活塞杆驱动的齿条、与所述的齿条相啮合的齿轮、转动连接在所述槽体上的槽盖，所述的齿轮与所述槽盖的同轴固定连接，且所述的齿轮位于所述槽盖的一端部。本实用新型采用两只短行程气缸通过拖动齿轮齿条带动槽盖作90度翻转达到开合目的，气缸与清洗槽隔离，有效避免清洗剂的侵蚀，同时大大缩小了活塞杆行程，提高了气缸槽盖的可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片酸洗槽，尤其涉及一种硅片清洗槽的气缸槽盖机构。
背景技术
在太阳能电池硅片的生产过程中，硅棒通过胶粘在粘机板的玻璃板上，在切割成硅片后，需经过硅片脱胶机清洗脱胶，使硅片脱离玻璃板。为了防止清洗槽内的清洗液溅出，现有的硅片清洗槽一般都设置有自动开关的槽盖，现有的自动槽盖多采用气缸平推结构，通过气缸活塞杆的伸出和缩进带动槽盖关闭和打开，这种结构的气缸行程较长，故所需要的空间就会比较大。同时气缸活塞杆在清洗槽上方易受挥发清洗剂黏附，从而造成活塞杆表面腐蚀后导致气缸密封处漏气，气缸在打开后由于气缸漏气导致气缸槽盖有时会部分关闭，此时如自动小车将工装从清洗槽内取出或放入时便会将槽盖压坏。
发明内容
针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种硅片酸洗槽。
为了实现上述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：一种硅片酸洗槽，包括槽体和封在所述槽体的槽口处的槽盖组件，所述的槽盖组件包括位于所述槽体的外壁上用于提供动力的气缸、由所述的气缸的活塞杆驱动的齿条、与所述的齿条相啮合的齿轮、转动连接在所述槽体上的槽盖，所述的齿轮与所述槽盖的同轴固定连接，且所述的齿轮位于所述槽盖的一端部。
所述的槽体上设置有一对所述的槽盖组件，且一对所述的槽盖组件的齿轮分别位于所述的槽体的两相对侧。
该硅片酸洗槽还包括控制所述的一对气缸同步动作的控制单元。
本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：本实用新型采用两只短行程气缸通过拖动齿轮齿条带动槽盖作90度翻转达到开合目的，气缸与清洗槽隔离，有效避免清洗剂的侵蚀，同时大大缩小了活塞杆行程，提高了气缸槽盖的可靠性。
附图说明
附图1为本实用新型的槽盖关闭时的示意图；
附图2为本实用新型的槽盖打开时的示意图；
附图3为本实用新型的侧视图。
附图中，1、气缸；2、槽盖；3、齿轮；4、齿条；5、气缸缸筒；6、活塞杆；7、螺母；8、导杆；9、导槽件；10、旋转轴。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述：
如附图1-3所示，本实用新型的硅片酸洗槽，该酸洗槽包括槽体、封在所述槽体的槽口处的槽盖组件，该槽盖组件包括气缸1、槽盖2、齿轮3和齿条4。本实用新型的气缸槽盖为成对配合使用。气缸1位于清洗槽外壁，气缸1由气缸缸筒5、活塞杆6、活塞块和密封圈等(图中未画出)组成，气缸缸筒5固定在清洗槽的外壁上，活塞杆6一端与所述的活塞块固定连接，均位于气缸缸筒5内，活塞杆6的另一端有螺纹，通过螺母7与齿条4固定在一起。齿条4可在活塞杆6的作用下在水平面上前进或后退，齿条4位于一可平动机构上，所述的平动机构包括导杆8和导槽件9，导杆8固定在清洗槽的外壁上，导槽件9套装在导杆8上且可沿导杆8平动，导槽件9上端面固定连接有齿条4。齿轮3与齿条4配合使用，齿轮3与槽盖2固定在一起，齿轮3的转动可以带动槽盖2绕旋转轴10旋转。槽盖2的旋转轴10的两端分别通过轴承可旋转地固定在清洗槽的外壁上，旋转轴10的至少一端固定有齿轮3。此实用新型的工作过程是：当需要打开槽盖2时，气缸1工作使活塞杆6收缩，活塞杆6带动齿条4和导槽件9沿着导槽8向内缩进，齿条4带动齿轮3旋转，齿轮3的旋转会带动旋转轴10旋转，旋转轴10旋转带动槽盖2发生翻转，当翻转角度大于等于90度时即可完全打开槽盖2；当需要关闭槽盖2时，气缸1工作使活塞杆6伸出，活塞杆6带动齿条4和导槽件9沿着导槽8向外运动，齿条4带动齿轮3旋转，齿轮3的旋转会带动旋转轴10旋转，旋转轴10旋转带动槽盖2发生反方向翻转，直至完全关闭槽盖2。本实用新型采用两只短行程气缸1通过拖动齿轮3和齿条4带动槽盖2作90度翻转达到开合目的，气缸1与清洗槽隔离，有效避免清洗剂的侵蚀，同时大大缩小了活塞杆6的行程，提高了气缸槽盖2的可靠性。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种硅片酸洗槽，包括槽体和封在所述槽体的槽口处的槽盖组件，其特征在于：所述的槽盖组件包括位于所述槽体的外壁上用于提供动力的气缸、由所述的气缸的活塞杆驱动的齿条、与所述的齿条相啮合的齿轮、转动连接在所述槽体上的槽盖，所述的齿轮与所述槽盖的同轴固定连接，且所述的齿轮位于所述槽盖的一端部。
2.根据权利要求1所述的硅片酸洗槽，其特征在于：所述的槽体上设置有一对所述的槽盖组件，且一对所述的槽盖组件的齿轮分别位于所述的槽体的两相对侧。
3.根据权利要求1所述的硅片酸洗槽，其特征在于：它还包括控制所述的一对气缸同步动作的控制单元。
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Publications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN107658252A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-02-02 | 北京南轩兴达电子科技有限公司 | 一种全自动硅片清洗模组 |
| CN108796677A (zh) * | 2017-05-02 | 2018-11-13 | 无锡祥虹工贸有限责任公司 | 一种反板式齿板分线机构 |
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2012
- 2012-02-28 CN CN2012200672698U patent/CN202461034U/zh not_active Expired - Fee Related
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