CN202393225U - 风冷扩散炉体 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种风冷扩散炉体，它包括外壳、隔热层、风冷管、绝缘子、炉丝，其中外壳内表面与隔热层相连，隔热层内分布有风冷管，风冷管沿炉体轴向螺旋分布，炉丝沿炉体长度方向分布，绝缘子设置于炉丝中；整个风冷扩散炉体分为4至7段，其相互之间以焊接方式进行固定连接；其优点在于它使控温精度提高、冷却时间缩短、安全性能增强、生产成本降低。

Description

风冷扩散炉体

技术领域

本实用新型涉及半导体、光伏产业中的扩散炉体，尤其涉及一种快速降温扩散炉体。

背景技术

太阳能扩散炉的炉体中部为恒温区，由于炉体靠近两端部分受外界环境影响较大，炉体一般分为3段，每段设置温控器，从两端到中间通过温控器实现对温度的控制，从而使恒温区范围满足精确的温度要求。现有的炉体结构温度控制精度不高；且实现恒温区的炉体长度较长，因而增加了设备的整体长度，增加占地面积，较长的炉体还会产生较长的行程，从而提高了生产成本，增加了加工难度。

此外，为了适合工艺要求，对炉体的降温速度也要有所要求。现有炉体采用传统的水冷降温方式无法实现工艺对降温速度的要求，对生产工艺的提高形成了很大的阻碍，其不但无法达到降温速度的要求，而且当水发生泄露时会对电气造成影响，酿成漏电事故，存在一定的危险性。

发明内容

为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种高效安全、控温精度高、成本低的风冷扩散炉体。

本实用新型所述风冷扩散炉体，包括外壳、隔热层、风冷管、绝缘子、炉丝，其中外壳内表面与隔热层相连，隔热层内分布有风冷管，风冷管沿炉体轴向螺旋分布，炉丝沿炉体长度方向分布，绝缘子设置于炉丝中。

本实用新型所述风冷扩散炉体，其外壳内部的风冷管道，彻底改变了以往靠炉壳外部冷却的方式，冷却管道更接近炉丝加热表面，冷却气体的进出不但缩短了降温时间，而且提高了安全性。风冷降温方式的应用，不会因为泄露对电气造成影响，酿成漏电事故。此外，风冷替代水冷降温方式，避免了废水处理，极大地降低了生产成本，同时也降低了维修成本。

 为了达到更好的效果，整个炉体分为4至7段，其相互之间以焊接方式进行固定连接。其优点在于：1、炉体段数的增加使控温点增多，保证了控温精度的要求；2、在要求一定恒温区基础上，可以获得最短的炉体长度，对整个设备的空间布置起到了优化作用，降低设备的制造成本；3、炉体总体长度缩短意味着炉丝的总长度缩短，在保证同样恒温区的情况下，可以减少总功率，对于降低生产成本起到了重要的作用。4、炉体总体长度缩短使对于相关的其他设计也起到了优化作用，如送舟的机械手臂缩短。

附图说明

图1为本实用新型所述风冷扩散炉体的结构断面图。

图2为图1断面部分的放大视图。

图中编号说明:

1-外壳；2-保温棉；3-风冷管；4-绝缘子；5-炉丝。

具体实施方式

结合图1和图2对本实用新型所述风冷扩散炉体进行详细说明。

如图1所示，为本实用新型所述一个完整的风冷扩散炉体。

图2可以反应风冷扩散炉体的断面结构，与炉体外壳1相邻的一层为保温棉2，保温棉2起到隔热作用，以阻止炉体内部热量的流失。

风冷管3穿插在保温棉2内部，呈螺旋状绕轴心方向分布于整个炉体长度。

保温棉2在炉体内部一侧设置有炉丝5，炉丝5沿炉体长度方向螺旋缠绕，使用绝缘子4的定位。

风冷管3接近炉丝5加热表面，彻底改变了以往靠炉壳外部冷却的方式。冷却气体的进出使用阀门控制，当工艺进行到急速降温步骤时，通入冷却气体，实现降温要求。

Claims (2)

1.一种风冷扩散炉体，其特征在于它包括外壳、隔热层、风冷管、绝缘子、炉丝，其中外壳内表面与隔热层相连，隔热层内分布有风冷管，风冷管沿炉体轴向螺旋分布，炉丝沿炉体长度方向分布，绝缘子设置于炉丝中。

2.根据权利要求1所述的风冷扩散炉体，其特征在于它分为4至7段，其相互之间以焊接方式进行固定连接。

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