CN202390564U - 一种石墨热场加热器 - Google Patents
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Abstract
一种石墨热场加热器，涉及单晶炉热场加热器，该石墨热场加热器由筒状的热场加热器本体构成，所述的筒状的热场加热器本体的筒壁上设有均匀且上下交错分布的孔，筒状的热场加热器的筒壁上相互对应的孔上方设有电极，孔为圆形或方形或菱形，孔的两端设有开槽；本实用新型的结构设计，实现了在原有技术的条件下增加上下两个加热器的效果，这样，不但减少了设备的投入，降低了制造成本，简化了操作程序。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种热场加热器，具体地说是一种单晶炉热场加热器。
背景技术
单晶炉大都采用石墨加热器对石英坩埚内的多晶原料进行加热溶化。普通的石墨加热器为一环形的石墨上均匀开槽，通过电极腿通电加热。这种结构的石墨加热器，轴向电阻均匀，轴向发热功率均匀，不能满足大的热场拉晶时热场梯度的需求，需加底部的石墨加热器，才能满足需求，这样的设置加大了投入，增加了操作难度。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足之处，提供一种改进的单晶炉石墨热场加热器。
为了实现本实用新型的目的，采用的技术方案是：
一种石墨热场加热器，由筒状的热场加热器本体构成，其特征在于：所述的筒状的热场加热器本体的筒壁上设有均匀且上下交错分布的孔。
所述的孔为圆形或方形或菱形。
所述的孔的两端设有开槽。
所述的筒状的热场加热器的筒壁上相互对应的孔上方设有电极。
有益效果
改进型的石墨热场加热器在原筒状的热场加热器的基础上，在加热器的筒壁上开均匀且上下交错分布的孔，由此来改变加热器轴向方向的电阻的分布。由于加热器通直流电工作，使得发热功率在加热器开孔处增加，轴向分布得到改变，间接地在筒状的热场加热器的上下两端形成两个附加的加热器功能。从而通过对加热器结构设计的改变，实现了在原有技术的条件下增加上下两个加热器的效果，这样一来，不但减少了设备的投入，降低了制造成本，简化了操作程序。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的仰视图；
1为筒状的热场加热器本体；2为孔；3为电极，4为开槽。
具体实施方式
结合附图，对本实用新型做进一步的说明。
如图1或图2所示，本实用新型由筒状的热场加热器本体1构成，筒状的热场加热器本体1的筒壁上设有均匀且上下交错分布的孔2；孔2为圆形或方形或菱形；孔2的两端设有开槽4；筒状的热场加热器1的筒壁上相互对应的孔2上方设有电极3。
Claims (4)
1.一种石墨热场加热器，由筒状的热场加热器本体构成，其特征在于：所述的筒状的热场加热器本体的筒壁上设有均匀且上下交错分布的孔。
2.根据权利要求1所述的一种石墨热场加热器，其特征在于：所述的孔为圆形或方形或菱形。
3.根据权利要求1或2所述的一种石墨热场加热器，其特征在于：所述的孔的两端设有开槽。
4.根据权利要求1所述的一种石墨热场加热器，其特征在于：所述的筒状的热场加热器的筒壁上相互对应的孔上方设有电极。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106637387A (zh) * | 2015-10-30 | 2017-05-10 | 西安通鑫半导体辅料有限公司 | 直拉单晶用加热器及直拉单晶方法 |
| CN110760928A (zh) * | 2019-09-12 | 2020-02-07 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 单晶炉及单晶硅的制备方法 |
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2011
- 2011-11-24 CN CN2011204723069U patent/CN202390564U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN110760928A (zh) * | 2019-09-12 | 2020-02-07 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 单晶炉及单晶硅的制备方法 |
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