CN202372131U - 一种研磨盘三点平面度测量仪 - Google Patents

一种研磨盘三点平面度测量仪 Download PDF

Info

Publication number
CN202372131U
CN202372131U CN2011205652821U CN201120565282U CN202372131U CN 202372131 U CN202372131 U CN 202372131U CN 2011205652821 U CN2011205652821 U CN 2011205652821U CN 201120565282 U CN201120565282 U CN 201120565282U CN 202372131 U CN202372131 U CN 202372131U
Authority
CN
China
Prior art keywords
horizontal stand
flatness measuring
abrasive disk
measuring instruments
fixture block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2011205652821U
Other languages
English (en)
Inventor
裴广庆
方建东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WUXI YUANYE MACHINERY EQUIPMENT CO Ltd
Original Assignee
WUXI YUANYE MACHINERY EQUIPMENT CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WUXI YUANYE MACHINERY EQUIPMENT CO Ltd filed Critical WUXI YUANYE MACHINERY EQUIPMENT CO Ltd
Priority to CN2011205652821U priority Critical patent/CN202372131U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202372131U publication Critical patent/CN202372131U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种测量仪器，具体涉及一种研磨盘三点平面度测量仪。研磨盘三点平面度测量仪包括水平支架、千分表和锁紧夹块，所述千分表通过锁紧夹块固定于水平支架上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，所述每个基准螺钉在水平支架上可沿相对应的滑动槽移动，可调节三个基准螺钉所确定平面的大小。本实用新型提供一种结构简单、适用于任意大小测量平面且测量精确度高的研磨盘三点平面度测量仪。

Description

一种研磨盘三点平面度测量仪
技术领域
本实用新型涉及测量仪器，具体涉及一种研磨盘三点平面度测量仪。
背景技术
随着高亮度LED在照明工程领域需求量的急剧增长，带动了国内蓝宝石衬底材料制备产业的发展。由于蓝宝石晶体(α-Al2O3)具有耐高温、耐腐蚀、透光波段宽等显著特点，是表面生长GaN的首选材料，但也正是由于蓝宝石硬度极高、脆性大、化学性质稳定的特点，给材料加工，尤其是晶片表面纳米级抛光在技术上带来很多困难，为应对光电技术的发展对产品衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细研磨抛光。
实现高精度平面研磨抛光，关键取决于研磨盘平面精度及其精度保持性。所以，采用高平面精度的研磨盘是获得工件高平面精度的加工基础。在实际加工过程中，研磨盘虽然多由质地较硬的铸铁或不锈钢制成，具有很大的耐磨性，但无论何种材质产品都会产生磨损，故研磨盘在使用一定的时间后，必须测量其平面度，通过修整机进行修整，以去除表面缺陷，达到规定的平面精度。
现有的研磨盘平面度测量仪一般只包括一个或者两个或者没有基准螺钉，很难校正千分表，这样就导致测量不精确，误差较大，无法使研磨盘保持高平面精度。同时，现有的研磨盘的基准螺钉无法调节，所确定的平面大小固定，当所测量的平面比平面度测量仪基准螺钉所确定的平面较大或较小时，研磨盘平面度测量仪要么无法使用，要么测量不精确，无法保证加工精度。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、测量精度高且适用于任意大小测量平面的研磨盘三点平面度测量仪。
为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：
一种研磨盘三点平面度测量仪，包括水平支架、千分表和锁紧夹块，所述千分表通过锁紧夹块固定于水平支架上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，所述每个基准螺钉在水平支架上可沿相对应的滑动槽移动，可调节三个基准螺钉所确定平面的大小。
所述千分表包括测量头，所述测量头外部设有套筒。
所述水平支架上表面和锁紧夹块一端开设有螺纹孔，所述锁紧夹块一端通过固定螺钉穿过螺纹孔固定于水平支架上。所述锁紧夹块另一端分为两部分，每部分上面设有平行于水平支架的螺纹孔，通过锁紧螺钉穿过螺纹孔锁紧套筒。
所述研磨盘三点平面度测量仪包括两个千分表。
所述两个千分表设于水平支架的同一直线上。
本实用新型所述的三点平面度测量仪包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，每个基准螺钉设置有一个平行于水平支架的滑动槽，可根据要测量平面的大小，移动基准螺钉，保证三个基准螺钉都落在要测量的区域内。三个基准螺钉确定一个平面，可通过调节基准螺钉来使当三点平面度测量仪放置于基准大理石平台时千分表的读书为零，用于校正千分表，然后把三点平面度测量仪放在要测量的研磨盘的测量区域，这时千分表会显示数值，正值为凸出，负值为凹陷，从而保证了任意大小测量平面的测量结果的精确度；所述两个千分表上的读数，更方便地实现了快速读取提高了工作效率。
附图说明
图1是本实用新型所述研磨盘三点平面度测量仪的主视图。
图2是本实用新型所述研磨盘三点平面度测量仪的俯视图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图所示，一种研磨盘三点平面度测量仪，包括水平支架1、千分表2和锁紧夹块3，所述千分表2通过锁紧夹块3连接于水平支架1上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架1上的不在同一直线上的基准螺钉4，所述每个基准螺钉4在水平支架1上可沿相对应的滑动槽5移动，可调节三个基准螺钉4所确定平面的大小。
本实施例中，所述水平支架1上设有三个不在同一直线上的基准螺钉4，每个基准螺钉4设置有一个平行于水平支架1的滑动槽5。可根据要测量平面的大小，移动基准螺钉4，保证三个基准螺钉4都落在要测量的区域内。当研磨盘三点平面度测量仪放置于基准大理石平面上时调节基准螺钉4来使千分表2的读数为零，用于校正千分表2，然后把三点平面度测量仪放在要测量的研磨盘的测量区域，适用于任意大小测量平面的测量，且保证了测量结果的精确度。
本实施例中，所述千分表2包括测量头22，所述测量头外部设有套筒21。
本实施例中，所述水平支架1上表面和锁紧夹块3一端开设有螺纹孔，所述锁紧夹块3一端通过固定螺钉31穿过螺纹孔固定于水平支架上。所述锁紧夹块3另一端分为两部分，每部分上面设有平行于水平支架1的螺纹孔，通过锁紧螺钉32穿过螺纹孔锁紧套筒21。
本实施例中，所述研磨盘三点平面度测量仪包括两个千分表2，并设于水平支架1的同一直线上。所述两个千分表2设于同一直线上，便于同时读取两个千分表2上的读数，最方便地实现了快速读取，提高了工作效率。

Claims (4)

1.一种研磨盘三点平面度测量仪，包括水平支架、千分表和锁紧夹块，所述千分表通过锁紧夹块固定于水平支架上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，所述每个基准螺钉在水平支架上可沿相对应的滑动槽移动，可调节三个基准螺钉所确定平面的大小。
2.如权利要求1所述的研磨盘三点平面度测量仪，其特征在于所述千分表包括测量头，所述测量头外部设有套筒。
3.如权利要求1所述的研磨盘三点平面度测量仪，其特征在于所述水平支架上表面和锁紧夹块一端开设有螺纹孔，所述锁紧夹块一端通过固定螺钉穿过螺纹孔固定于水平支架上；所述锁紧夹块另一端分为两部分，每部分上面设有平行于水平支架的螺纹孔，通过锁紧螺钉穿过螺纹孔锁紧套筒。
4.如权利要求1所述的研磨盘三点平面度测量仪，其特征在于所述研磨盘三点平面度测量仪包括两个千分表，且设于水平支架同一直线上。 
CN2011205652821U 2011-12-30 2011-12-30 一种研磨盘三点平面度测量仪 Expired - Fee Related CN202372131U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205652821U CN202372131U (zh) 2011-12-30 2011-12-30 一种研磨盘三点平面度测量仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205652821U CN202372131U (zh) 2011-12-30 2011-12-30 一种研磨盘三点平面度测量仪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202372131U true CN202372131U (zh) 2012-08-08

Family

ID=46595828

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011205652821U Expired - Fee Related CN202372131U (zh) 2011-12-30 2011-12-30 一种研磨盘三点平面度测量仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202372131U (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103033122A (zh) * 2012-12-20 2013-04-10 北京小米科技有限责任公司 一种平面误差度测量设备及测量方法
CN103424060A (zh) * 2013-08-13 2013-12-04 无锡市第二轴承有限公司 平面度测量仪
CN103438857A (zh) * 2013-08-20 2013-12-11 常州市好利莱光电科技有限公司 一种led衬底晶片加工盘面平坦度测量仪器
CN103983172A (zh) * 2014-05-09 2014-08-13 南京理工大学 环模磨损形貌测量装置
CN106546213A (zh) * 2017-01-19 2017-03-29 东北林业大学 一种快速测量木工机床平面度的机构
CN106931867A (zh) * 2015-12-29 2017-07-07 东北林业大学 一种快速测量木工平刨床平面度的机构
KR101777604B1 (ko) * 2015-12-15 2017-09-13 국방과학연구소 접촉식 평면도 측정 장치
CN113483637A (zh) * 2021-08-06 2021-10-08 上海菲利华石创科技有限公司 用于半导体用石英厚板凹槽临时快速检测装置及其方法
CN114353648A (zh) * 2021-10-29 2022-04-15 中国航发西安动力控制科技有限公司 平面度测量的快速调节找平装置及找平方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103033122A (zh) * 2012-12-20 2013-04-10 北京小米科技有限责任公司 一种平面误差度测量设备及测量方法
CN103424060A (zh) * 2013-08-13 2013-12-04 无锡市第二轴承有限公司 平面度测量仪
CN103438857A (zh) * 2013-08-20 2013-12-11 常州市好利莱光电科技有限公司 一种led衬底晶片加工盘面平坦度测量仪器
CN103438857B (zh) * 2013-08-20 2016-03-30 常州市好利莱光电科技有限公司 一种led衬底晶片加工盘面平坦度测量仪器
CN103983172A (zh) * 2014-05-09 2014-08-13 南京理工大学 环模磨损形貌测量装置
CN103983172B (zh) * 2014-05-09 2016-09-21 南京理工大学 环模磨损形貌测量装置
KR101777604B1 (ko) * 2015-12-15 2017-09-13 국방과학연구소 접촉식 평면도 측정 장치
CN106931867A (zh) * 2015-12-29 2017-07-07 东北林业大学 一种快速测量木工平刨床平面度的机构
CN106546213A (zh) * 2017-01-19 2017-03-29 东北林业大学 一种快速测量木工机床平面度的机构
CN113483637A (zh) * 2021-08-06 2021-10-08 上海菲利华石创科技有限公司 用于半导体用石英厚板凹槽临时快速检测装置及其方法
CN114353648A (zh) * 2021-10-29 2022-04-15 中国航发西安动力控制科技有限公司 平面度测量的快速调节找平装置及找平方法
CN114353648B (zh) * 2021-10-29 2024-03-26 中国航发西安动力控制科技有限公司 平面度测量的快速调节找平装置及找平方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202372131U (zh) 一种研磨盘三点平面度测量仪
CN203011294U (zh) 精确尺寸测量装置
CN202547555U (zh) 可调式内、外径量表
CN208887533U (zh) 一种测量装置
CN102506669B (zh) 刀具角度测量仪
CN104034619B (zh) 利于测量精度的硬度计台架装置
CN201535963U (zh) 方便操作精度高的单摆实验仪
CN205044109U (zh) 一种简易量测治具
CN203216434U (zh) 用于测量阶梯孔深度的量表
CN204115694U (zh) 轴承套圈沟槽位置测量仪
CN207738645U (zh) 一种实验室用超薄玻璃切割装置
CN204301670U (zh) 可调式节气门板平面度测量仪
CN101556131A (zh) 外圆锥专用量角器
CN103822590A (zh) 一种可调标准间隙装置
CN201903313U (zh) 一种垂直度测量工具
CN201255625Y (zh) 倒角直径测量仪
CN202066491U (zh) 大型轴承高度和套圈高度及变动量测量仪
CN202361927U (zh) 精密圆锥体的测量装置及其测量夹具
CN202393336U (zh) 一种新型工件垂直度检测装置
CN210198255U (zh) 一种测量气缸套退刀槽高度差的装置
CN202648573U (zh) 轴向检测量具
CN205102747U (zh) 一种用于实验室的多功能外螺纹测量仪
CN205090915U (zh) 用于工件断层面间距测量的工具
CN100538253C (zh) 单晶棒v型槽槽深的测量方法
JP2011064476A (ja) 試料平行出し治具

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
DD01 Delivery of document by public notice

Addressee: Wuxi Yuanye Machinery Equipment Co., Ltd.

Document name: Notification of Termination of Patent Right

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120808

Termination date: 20151230

EXPY Termination of patent right or utility model