CN202347081U - 一种高压离子轰击的真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及材料表面处理技术领域,尤其涉及一种高压离子轰击的真空镀膜机;其包括真空室和真空泵系统,真空泵系统与真空室管道连接,真空泵系统设置在真空室侧边,真空室设置有镀膜夹具和镀膜组件,真空室还包括有高压变压器和两根放电杆,高压变压器连接两根放电杆;其能够破坏塑料制品表面的非极性组织结构,使得塑料制品表面形成新型的带极性的表面组织,大大地提高塑料制品表面的表面能量、活性和附着力,不需要对塑料制品进行表面预处理和底涂,减少工作时间,不需要使用涂镀膜油,大大降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及材料表面处理技术领域,尤其涉及一种高压离子轰击的真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机能在金属、半导体、绝缘体、塑料、纸张、织物等表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等的薄膜,其应用范围极广。
目前,真空镀膜要获得较好的附着力,需要在镀膜前进行底涂。底涂施工时无论是采用喷涂还是采用浸涂,都需要镀膜油。而镀膜油的价格较昂贵,大大增加生产成本。特别是非极性类材料的表面活性较差,表面附着力极低,需要涂较多镀膜油来增大材料的表面活性,极大地增加了生产成本。
发明内容
本实用新型提供用于一种高压离子轰击的真空镀膜机,其能够破坏塑料制品表面的非极性组织结构,形成新型的带极性的表面组织,大大地提高塑料制品表面的表面能量、活性和附着力,提高产品的性能。
一种高压离子轰击的真空镀膜机,包括真空室和真空泵系统,真空泵系统与真空室管道连接,真空泵系统设置在真空室侧边,真空室设置有镀膜夹具和镀膜组件,真空室还包括有高压变压器和两根放电杆,高压变压器连接两根放电杆。
其中,放电杆配设有半圆形的保护罩。
其中,保护罩为可活动的保护罩。
其中,高压变压器与两根放电杆电连接。
其中,放电杆为铝杆或者铜杆。
其中,真空室为两个。
其中,真空泵系统设置有三级真空泵,依次为滑阀机械泵、罗茨泵和扩散泵。
本实用新型的有益效果:其包括真空室和真空泵,真空泵系统与真空室管道连接,真空泵设置在真空室侧边,真空室设置有镀膜夹具和镀膜组件,真空室还包括有高压变压器和两根放电杆,高压变压器连接两根放电杆;其能够破坏塑料制品表面的非极性组织结构,使得塑料制品表面形成新型的带极性的表面组织,大大地提高塑料制品表面的表面能量、活性和附着力,不需要对塑料制品进行表面预处理和底涂,减少工作时间,不需要使用涂镀膜油,大大降低生产成本。
附图说明
下面利用附图来对本实用新型作进一步的说明,但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的真空泵系统的结构示意图。
图1图2的附图标记包括:
1-真空室、11-放电杆、12-镀膜组件、13-镀膜夹具、2-真空泵、21-滑阀机械泵、22-罗茨泵、23-扩散泵。
具体实施方式
见图1图 2,下面结合实施例来对本实用新型进行进一步的说明。
实施例1。
本实施例中的高压离子轰击的真空镀膜机,包括真空室1和真空泵系统2,真空泵系统2与真空室1管道连接,真空泵系统2设置在真空室1侧边,真空室1设置有镀膜夹具13和镀膜组件12,真空室1还包括有高压变压器和两根放电杆11,高压变压器连接两根放电杆11。这种真空镀膜机用在塑料制品表面镀膜时,能够破坏塑料制品表面的非极性组织结构,使得塑料制品表面形成新型的带极性的表面组织,大大地提高塑料制品表面的表面能量、活性和附着力,不需要对塑料制品进行表面预处理和底涂,减少工作时间,不需要使用涂镀膜油,大大降低生产成本。
在本实施例中,放电杆11配设有半圆形的保护罩。用以镀膜材料很多,有铝、、锡、铟、锡铟合金、铬、铜、铜合金、氧化硅、氟化物、有机硅等等。有些镀膜材料不能导电,如果镀膜过程中,不能导电的镀膜材料飞溅到放电杆11,会导致放电杆11不能导电,不能再使用。在放电杆11配设半圆形的保护罩,防止放电杆11在镀膜过程中沾上镀膜材料。
在本实施例中,保护罩为可活动的保护罩。保护罩可以活动,当需要清洗或者维修放电杆11时,可以转动保护罩,方便清洗或者维修。
在本实施例中,高压变压器与两根所述放电杆11电连接。
在本实施例中,放电杆11为铝杆或者铜杆。放电杆11为铝制的放电杆11,导电能力强,而且铝的价格比较低。当然,放电杆11也可以为铜制的放电杆11,也可以为其它可以导电的材料。
在本实施例中, 真空泵系统2设置有三级真空泵,依次为滑阀机械泵21、罗茨泵22和扩散泵23。抽真空过程分为三级,先是由滑阀机械泵21进行初抽,达到一定真空度后,真空室1内的空气较少,抽真空的速度很慢;罗茨泵22开始工作,当真空室1内的达到一定的真空度后,扩散泵23才打开,由扩散泵23来进一步提高并维持真空室1内的高真空度以满足镀膜生产的需要。
本实用新型的工作过程是:工件放入真空室1,抽真空,当真空室1的压力为3~20Pa时,停止抽真空,启动高压变压器,当高压变压器的输出电压2500~4000V,电流1~6A时,空气在辉光放电的状况下被电离成等离子,工件经等离子体进行轰击清洗活化时间为1~5分钟,关闭轰击电源;将高压离子清洗活化后的工件,在真空室1内进行真空镀膜处理,在表面制备金属镀膜。
实施例2。
本实施例与实施例1的不同之处为:真空室1为两个。其中一个真空室1在镀膜时,可以在另外一个真空室1放置好需要镀膜工件,循环镀膜,满足大批量生产。
本实施例的其它内容与实施例1相同,在此不再累赘。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (7)
1.一种高压离子轰击的真空镀膜机,包括真空室(1)和真空泵系统(2),所述真空泵系统(2)与所述真空室(1)管道连接,所述真空泵系统(2)设置在所述真空室(1)侧边,所述真空室(1)设置有镀膜夹具(13)和镀膜组件(12),其特征在于:所述真空室(1)还包括有高压变压器和两根放电杆(11),所述高压变压器连接两根放电杆(11)。
2.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述放电杆(11)配设有半圆形的保护罩。
3.根据权利要求2所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述保护罩为可活动的保护罩。
4.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述高压变压器与两根所述放电杆(11)电连接。
5.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述放电杆(11)为铝杆或者铜杆。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述真空室(1)为两个。
7.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述真空泵系统(2)设置有三级真空泵,依次为滑阀机械泵(21)、罗茨泵(22)和扩散泵(23)。
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CN103276354A (zh) * | 2013-04-22 | 2013-09-04 | 东莞市汇成真空科技有限公司 | 一种在塑料工件上真空蒸镀铝膜的方法 |
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