CN202323099U - 单晶炉热场导流筒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉热场导流筒，它包括外导流筒（1）和内导流筒（2），所述外导流筒（1）和内导流筒（2）均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒（2）位于外导流筒（1）的内部。由于使用了双层结构，氩气在通过时紊流减少径流增加，能提高热场温度梯度，更加便于拉晶操作；能使氩气流经单晶液面时间，增加氩气降温效果；能将加热器散射的辐射反射回热场内，提升热能利用率。
Description
技术领域
本实用新型涉及高温炉用设备，具体涉及单晶炉热场导流筒。
背景技术
单晶硅是光伏产业的主要原材料之一，成品单晶硅是使用单晶炉，通过籽晶引导、向上提拉的方法生产出来的。在生产过程中，高纯氩气从单晶炉顶部充入，为保证单晶硅稳定生长，在坩埚上安装有导流筒。现有的导流筒多是单层结构，氩气通过时容易产生紊流，影响单晶硅生长，氩气流经单晶液面时间很短，不能起到很好的降温作用，且加热器产生的热量通过导流筒散出，热利用率不高。
实用新型内容
本实用新型的目的即在于克服现有技术的不足，提供一种稳定气流流向，降温效果好，热利用率高的单晶炉热场导流筒。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现：
单晶炉热场导流筒，其特征在于，它包括外导流筒和内导流筒，所述外导流筒和内导流筒均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒位于外导流筒的内部。
本实用新型的有益效果是：由于使用了双层结构，氩气在通过时紊流减少径流增加，能提高热场温度梯度，更加便于拉晶操作；外导流筒能使氩气流经单晶液面时间，增加氩气降温效果；外导流筒能将加热器散射的辐射反射回热场内，提升热能利用率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图
图中，1-内外导流筒，2-内导流筒。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明，本实用新型的保护范围不限于以下所述。
如图1所示，单晶炉热场导流筒，它包括外导流筒1和内导流筒2，所述外导流筒1和内导流筒2均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒2位于外导流筒1的内部。
Claims (1)
1.单晶炉热场导流筒，其特征在于，它包括外导流筒（1）和内导流筒（2），所述外导流筒（1）和内导流筒（2）均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒（2）位于外导流筒（1）的内部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011204269428U CN202323099U (zh) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 单晶炉热场导流筒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011204269428U CN202323099U (zh) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 单晶炉热场导流筒 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202323099U true CN202323099U (zh) | 2012-07-11 |
Family
ID=46435086
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2011204269428U Expired - Fee Related CN202323099U (zh) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 单晶炉热场导流筒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202323099U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI749560B (zh) * | 2019-06-18 | 2021-12-11 | 大陸商上海新昇半導體科技有限公司 | 一種半導體晶體生長裝置 |
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2011
- 2011-11-02 CN CN2011204269428U patent/CN202323099U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120711 Termination date: 20141102 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |