CN202323004U - 立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置，包括真空腔体、导轨、传动轮组和导向轮组，所述真空腔体底面安装有导轨，所述导轨上安装有导向轮组，且导轨上按固定间距布置有传动轮组，所述传动轮组由圆柱辊轮和轴承构成，传动轮组通过联轴器与真空腔体外的磁流体一端相连接，磁流体的另一端安装有同步带轮；上述立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置采用圆柱辊轮与基片架底部平面接触的摩擦传动形式代替原有齿条传动方式，传动平稳，且将导向轮组安装于真空腔体底部的导轨上，利用真空腔体下部温度低的特点，防止了导向槽在高温下变形造成卡车的问题，结构简单，易于实现。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种立式真空连续镀膜生产线，尤其涉及一种立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置。
背景技术
目前，在立式真空连续镀膜生产线中，基片架连续运行的传输装置为齿条传动，其传动轮组的齿轮轴与基片架下端的齿条啮合，从而实现基片架的往复直线运动；然而，由于立式真空连续镀膜设备均需要加热，传动轮组在高温下轴承容易抱死，导致链条断裂，运动无法实现；传动轮组间的传动链条，在高温、无润滑情况下，链条不能自由弯折，造成与链轮啮合困难，甚至造成断链；且采用齿条传动形式，齿条制造安装复杂，基片架从一个模块向另一个模块运动中，齿条与下一个模块的第一个齿轮轴无法正常啮合，使基片架跳动过大，容易导致基片脱落；此外，基片架导向槽在高温下容易发生变形，导致固定在真空腔顶端的导向轮不能进入槽中，容易造成卡车。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置，以解决在真空环境中基片架传动过程中跳动过大，以及传统传输装置的基片架导向槽易发生变形，造成卡车的问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
一种立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置，包括真空腔体、导轨、传动轮组和导向轮组，所述真空腔体底面安装有导轨，所述导轨上安装有导向轮组，且导轨上按固定间距布置有传动轮组，所述传动轮组由圆柱辊轮和轴承构成，传动轮组通过联轴器与真空腔体外的磁流体一端相连接，磁流体的另一端安装有同步带轮。
特别的，所述导向轮组通过固定板固定于导轨上，所述固定板上横向开有长孔。
特别的，所述轴承采用高温自润滑轴承，所述圆柱辊轮由合金钢制成。
本实用新型的有益效果为，所述立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置采用圆柱辊轮与基片架底部平面接触的摩擦传动形式代替原有齿条传动方式，传动平稳，而将导向轮组安装于真空腔体底部的导轨上，利用真空腔体下部温度低的特点，防止了导向槽在高温下变形造成卡车的问题，此外，圆柱辊轮由合金钢制造并经表面处理，提高了辊轮的耐磨性，而轴承采用高温自润滑轴承防止了高温下轴承抱死的问题。
附图说明
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
图1为本实用新型立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置的结构示意图；
图2为图1所示的立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置在A-A处的剖视图；
图3为图1所示的立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置在B-B处的剖视图。
图中：
1、同步带轮；2、磁流体；3、联轴器；4、导向轮组；5、导轨；6、真空腔体；7、固定板；8、传动轮组。
具体实施方式
如图1至3所示，于本实施例中，一种立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置，包括真空腔体6、导轨5、传动轮组8和导向轮组4，所述真空腔体6底面安装有导轨5，所述导轨5上安装有导向轮组4，且导轨5上按固定间距布置有传动轮组8，所述传动轮组8由圆柱辊轮和轴承构成，传动轮组8通过联轴器3与真空腔体6外的磁流体2一端相连接，磁流体2的另一端安装有同步带轮1。
特别的，所述导向轮组4通过固定板7固定于导轨5上，所述固定板7上横向开有长孔，用于调整导向轮组4的横向间距。
特别的，所述轴承采用高温自润滑轴承，防止了高温下轴承抱死的问题，且所述圆柱辊轮由合金钢制成，提高了辊轮的耐磨性。
上述立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置采用圆柱辊轮与基片架底部平面接触的摩擦传动形式代替原有齿条传动方式，传动平稳，且将导向轮组4安装于真空腔体6底部的导轨5上，利用真空腔体6下部温度低的特点，防止了导向槽在高温下变形造成卡车的问题。
Claims (3)
1.一种立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置，包括真空腔体、导轨、传动轮组和导向轮组，其特征在于：所述真空腔体底面安装有导轨，所述导轨上安装有导向轮组，且导轨上按固定间距布置有传动轮组，所述传动轮组由圆柱辊轮和轴承构成，传动轮组通过联轴器与真空腔体外的磁流体一端相连接，磁流体的另一端安装有同步带轮。
2.根据权利要求1所述的立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置，其特征在于：所述导向轮组通过固定板固定于导轨上，所述固定板上横向开有长孔。
3.根据权利要求1所述的立式真空连续镀膜生产线的基片架传输装置，其特征在于：所述轴承采用高温自润滑轴承，所述圆柱辊轮由合金钢制成。
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| CN103046017A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-04-17 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种应用于真空镀膜领域的链传输机构 |
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