CN202297849U - 晶棒定位装置 - Google Patents

晶棒定位装置 Download PDF

Info

Publication number
CN202297849U
CN202297849U CN 201120378034 CN201120378034U CN202297849U CN 202297849 U CN202297849 U CN 202297849U CN 201120378034 CN201120378034 CN 201120378034 CN 201120378034 U CN201120378034 U CN 201120378034U CN 202297849 U CN202297849 U CN 202297849U
Authority
CN
China
Prior art keywords
crystal bar
locating device
input shaft
bar locating
shaft mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 201120378034
Other languages
English (en)
Inventor
杨永录
葛亮
贺贤汉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd filed Critical Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd
Priority to CN 201120378034 priority Critical patent/CN202297849U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202297849U publication Critical patent/CN202297849U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Abstract

本实用新型晶棒定位装置，包括：直流减速电机；晶棒定位装置输入轴机构，所述晶棒定位装置输入轴机构的一端与所述直流减速电机连接；晶棒定位装置输出轴机构，所述晶棒定位装置输出轴机构与所述晶棒定位装置输入轴机构的另外一端与连接。本实用新型晶棒定位装置摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且机构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。

Description

晶棒定位装置
技术领域
本实用新型涉及CZ法拉制单晶棒设备部件，特别是一种晶棒定位装置。
背景技术
现有生产领域使用的硅单晶炉，一般是单个上炉筒及拉晶系统，零部件数量繁多且不易加工制造，还会导致晶棒直接暴露在空气中容易氧化污染，所以上炉筒下方配备了独立的隔离阀。业内目前通常的做法是在硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，同时也不能晶棒进行有效地定位。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种机构紧凑，零部件数量少且容易加工制造，可实现晶棒有效定位的晶棒定位装置。
本实用新型晶棒定位装置，包括：直流减速电机；晶棒定位装置输入轴机构，所述晶棒定位装置输入轴机构的一端与所述直流减速电机连接；晶棒定位装置输出轴机构，所述晶棒定位装置输出轴机构与所述晶棒定位装置输入轴机构的另外一端与连接。
所述晶棒定位装置输入轴机构贯穿设置在减速箱体内。所述晶棒定位装置输入轴机构包括输入轴以及套设在所述输入轴外侧的输入轴直齿锥齿轮。所述晶棒定位装置输出轴机构的一端设置在所述减速箱体内，在所述晶棒定位装置输出轴机构设置在所述减速箱体内的一端的外侧套设一输出轴直齿锥齿轮；所述输出轴直齿锥齿轮与所述输入轴直齿锥齿轮相互啮合。
所述直流减速电机通过连接支座固定在所述减速箱体的外侧。所述直流减速电机通过联轴器与所述输入轴连接。
本实用新型晶棒定位装置摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且机构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。
附图说明
图1为本实用新型晶棒定位装置机构剖示图；
本实用新型晶棒定位装置附图中附图标记说明：
1-直流减速电机      2-连接支座            3-联轴器
4-减速箱体          5-输入轴              6-输入轴直齿锥齿轮
7-输出轴直齿锥齿轮  8-晶棒定位装置输出轴机构
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型晶棒定位装置4作进一步详细说明。
如图1所示，本实用新型晶棒定位装置，包括：直流减速电机1；晶棒定位装置输入轴机构，晶棒定位装置输入轴机构的一端与直流减速电机1连接；晶棒定位装置输出轴机构8，晶棒定位装置输出轴机构8与晶棒定位装置输入轴机构的另外一端与连接。
晶棒定位装置输入轴机构贯穿设置在减速箱体4内。晶棒定位装置输入轴机构包括输入轴5以及套设在输入轴5外侧的输入轴直齿锥齿轮6。晶棒定位装置输出轴机构8的一端设置在减速箱体4内，在晶棒定位装置输出轴机构8设置在减速箱体4内的一端的外侧套设一输出轴直齿锥齿轮7；输出轴直齿锥齿轮7与输入轴直齿锥齿轮6相互啮合。
直流减速电机1通过连接支座2固定在减速箱体4的外侧。直流减速电机1通过联轴器3与输入轴5连接。
本实用新型晶棒定位装置摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且机构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请的范围内。

Claims (6)

1.晶棒定位装置，其特征在于，包括：
直流减速电机；
晶棒定位装置输入轴机构，所述晶棒定位装置输入轴机构的一端与所述直流减速电机连接；
晶棒定位装置输出轴机构，所述晶棒定位装置输出轴机构与所述晶棒定位装置输入轴机构的另外一端与连接。
2.根据权利要求1所述的晶棒定位装置，其特征在于，所述晶棒定位装置输入轴机构贯穿设置在减速箱体内。
3.根据权利要求1所述的晶棒定位装置，其特征在于，所述晶棒定位装置输入轴机构包括输入轴以及套设在所述输入轴外侧的输入轴直齿锥齿轮。
4.根据权利要求1或2或3所述的晶棒定位装置，其特征在于，所述晶棒定位装置输出轴机构的一端设置在所述减速箱体内，在所述晶棒定位装置输出轴机构设置在所述减速箱体内的一端的外侧套设一输出轴直齿锥齿轮；所述输出轴直齿锥齿轮与所述输入轴直齿锥齿轮相互啮合。
5.根据权利要求1或2所述的晶棒定位装置，其特征在于，所述直流减速电机通过连接支座固定在所述减速箱体的外侧。
6.根据权利要求3所述的晶棒定位装置，其特征在于，所述直流减速电机通过联轴器与所述输入轴连接。
CN 201120378034 2011-10-09 2011-10-09 晶棒定位装置 Expired - Lifetime CN202297849U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201120378034 CN202297849U (zh) 2011-10-09 2011-10-09 晶棒定位装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201120378034 CN202297849U (zh) 2011-10-09 2011-10-09 晶棒定位装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202297849U true CN202297849U (zh) 2012-07-04

Family

ID=46366783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201120378034 Expired - Lifetime CN202297849U (zh) 2011-10-09 2011-10-09 晶棒定位装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202297849U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106352816A (zh) * 2016-10-30 2017-01-25 云南蓝晶科技有限公司 蓝宝石晶棒晶轴检测定位装置
CN109023507A (zh) * 2018-09-26 2018-12-18 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司 一种单晶炉晶棒定位装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106352816A (zh) * 2016-10-30 2017-01-25 云南蓝晶科技有限公司 蓝宝石晶棒晶轴检测定位装置
CN106352816B (zh) * 2016-10-30 2019-01-25 云南蓝晶科技有限公司 蓝宝石晶棒晶轴检测定位装置
CN109023507A (zh) * 2018-09-26 2018-12-18 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司 一种单晶炉晶棒定位装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202297849U (zh) 晶棒定位装置
CN202251690U (zh) 一种双输出减速器
CN201621233U (zh) 正交式谐波齿轮串联减速器
CN203582896U (zh) 包芯线喂线加入系统
CN201891799U (zh) 一种新型的换向器
CN202297845U (zh) 带有晶棒定位装置的硅单晶炉
CN202674265U (zh) 斜齿轮锥齿轮减速机
CN204961145U (zh) 一种用于起动机的减速齿轮机构
CN201858311U (zh) 同轴式四挡变速器
CN202431839U (zh) 用于减速器的三轴机构
CN202451704U (zh) 用于电动葫芦减速器的齿套机构
CN203488678U (zh) 多轴齿轮箱连接器
CN203395156U (zh) 一种rs减速机
CN201946577U (zh) 晶片腐蚀装置
CN202451765U (zh) 用于圆柱圆锥齿轮减速器的轴与齿轮轴机构
CN202531739U (zh) 用于减速器总成的输入轴与中间齿轮轴机构
CN202451803U (zh) 用于蜗轮蜗杆减速机的油尺机构
CN203768066U (zh) 用于微动力瞬分成套系统净化装置的传动机构
CN204828512U (zh) 一种机动车变速器减速副箱
CN205136772U (zh) 用于阀门电动装置的动力传动机构
CN203570938U (zh) 垂直升降低空民用旋翼机减速机结构
CN205855873U (zh) 一种悬吊薄铝板的行车
CN203035858U (zh) 用于行星传动的花键齿轮轴机构
CN202531740U (zh) 一种高速齿轮传动装置
CN203730673U (zh) 电动三轮车后桥和电动三轮车

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20120704

CX01 Expiry of patent term