CN202259215U - 一种用于单晶托加热的装置 - Google Patents

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王建锁
周为征
刘巍
李佩剑
范靖
黄计成
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Abstract

本实用新型涉及单晶硅加工领域中的一种用于单晶托加热的装置，其结构中包括托架和托盘；所述的托架为底座(1)、上架(6)和多个立柱(5)围合而成的框架结构，在相对立柱(5)的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架(7)。本实用新型设置了多层支架和托盘，可以同时加热多个单晶托，提高了工作效率；在托盘下面设置了支脚，可以方便液压堆高车进行工件的运送，实现机械操作，避免了对人的烫伤和降低了劳动强度。

Description

一种用于单晶托加热的装置
技术领域
本实用新型涉及单晶硅加工领域中的一种用于单晶托加热的装置。
背景技术
在单晶硅片生产流程中有一道工序是将玻璃板与单晶托剥离。此工序是利用加热烘箱对带有玻璃的单晶托进行加热烘烤，烘烤后取出，再利用锤子将玻璃板轻松敲下的过程。
现在，由工人将带有玻璃的单晶托放置在平板上，再将平板搬到加热烘箱中进行加热烘烤。在加热烘烤完毕后，再由工人将单晶托取出。这样，只能一件一件的进行加热，并且只能人工操作，费时费办，工作效率低下。
实用新型内容
本实用新型的所要解决的技术问题是提供一种可供多件同时加热，且工作效率高的一种用于单晶托加热的装置。
本实用新型的技术方案为：一种用于单晶托加热的装置，其结构中包括托架和托盘；所述的托架为底座、上架和多个立柱围合而成的框架结构，在相对立柱的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架。
其中，所述的托盘由平板和支脚组成，所述支脚设置于平板的下表面。
其中，所述的立柱自上至下设置有多个支架，所述的托盘为多个。
本实用新型与现有技术相比的优点为：
1、本实用新型设置了多层支架和托盘，可以同时加热多个单晶托，提高了工作效率。
2、在托盘下面设置了支脚，可以方便液压堆高车进行工件的运送，实现机械操作，避免了对人的烫伤和降低了劳动强度。
附图说明
1、图1是本实用新型的结构示意图。
其中，1、底座，2、支脚，3、平板，4、单晶托，5、立柱，6、上架，7、支架。
具体实施方式
参见图1，本实用新型的用于单晶托加热的装置，由托架和托盘组成，所述的托架为底座1、上架6和多个立柱5围合而成的框架结构，在相对立柱5的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架7。托盘由平板3和支脚2组成，所述支脚2设置于平板3的下表面。立柱5自上至下设置有6个支架7，3个托盘。
工作时，将需加热的将带有玻璃的单晶托4放置在托盘的平板3上，再用液压堆高车将托盘放置在置于烘箱内的托架的支架7上，即可进行烘烤。在加热完成后，用液压堆高车将托盘取出，再进行将玻璃板与单晶托的剥离。

Claims (3)

1.一种用于单晶托加热的装置，其特征在于：其结构中包括托架和托盘；所述的托架为底座(1)、上架(6)和多个立柱(5)围合而成的框架结构，在相对立柱(5)的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶托加热的装置，其特征在于：所述的托盘由平板(3)和支脚(2)组成，所述支脚(2)设置于平板(3)的下表面。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于单晶托加热的装置，其特征在于：所述的立柱(5)自上至下设置有多个支架(7)，所述的托盘为多个。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104526105A (zh) * 2014-11-13 2015-04-22 中国南方航空工业(集团)有限公司 钎焊辅助工装
CN110014336A (zh) * 2017-12-12 2019-07-16 株式会社迪思科 晶片生成装置和搬送托盘

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