CN202208755U - 一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置 - Google Patents
一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202208755U CN202208755U CN2011203327661U CN201120332766U CN202208755U CN 202208755 U CN202208755 U CN 202208755U CN 2011203327661 U CN2011203327661 U CN 2011203327661U CN 201120332766 U CN201120332766 U CN 201120332766U CN 202208755 U CN202208755 U CN 202208755U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- metal mask
- substrate
- protecting film
- magnetic
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种金属掩膜装置，尤其运用于真空镀膜机中形成各种图形的领域。该装置为一种自内向外依次设置有磁性保护膜、基材、金属掩膜的层状结构，金属掩膜的外表面设有电磁铁。金属掩膜及基材下面，贴上磁性保护膜，再用电磁铁来产生磁性，来控制基材与金属保护膜之间的压力。利用电流大小来控制磁性大小，而由于基材下部分是均匀的铁氧体保护膜，这样的好处是金属掩膜板和保护膜之间有相互的引力，可以控制金属掩膜板对基材之间的压力和使基材受力更均匀，消除了基材与金属掩膜板之间的缝隙或用机械方法来贴合时候可能会产生的金属掩膜板折皱。进而，所镀出来的膜的图形更清晰，精度会更好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种金属掩膜装置，尤其运用于真空镀膜机中形成各种图形的领域。
背景技术
在真空镀膜机中，常使用掩膜法来制作相应的图形，而掩膜板与基材之间固定都采用用机械式固定方法。但是很多时候掩膜的受力不均匀，会使掩膜板与基板间会存在一定的缝隙，或者是由于金属掩膜板表面会有折皱，这样会严重引起所形成的图形不清晰或所制造出来的图形或者超出标准或者边缘模糊，引起不良，特别是尺寸越大，这种不良尤为明显。
如传统方式的金属掩膜来镀薄膜的装置。由金属掩膜和基板所组成。其中如果金属掩膜和基板贴合不充分，或者压力太大的话，会产生图形模糊或者基板划伤等问题的发生。
发明内容
为了克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，本装置中膜的图形更清晰，精度会更好。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，该装置为一种自内向外依次设置有磁性保护膜、基材、金属掩膜的层状结构，金属掩膜的外表面设有电磁铁。
所述的金属掩膜的材质为磁性金属，其厚度为0.02~1.5mm。所述基材为透明基板，其厚度为0.2~3mm。 所述磁性保护膜厚度为10~300um。
本实用新型与现有技术相比有如下优点：
金属掩膜及基材下面，贴上磁性保护膜，再用电磁铁来产生磁性，来控制基材与金属保护膜之间的压力。利用电流大小来控制磁性大小，而由于基材下部分是均匀的铁氧体保护膜，这样的好处是金属掩膜板和保护膜之间有相互的引力，可以控制金属掩膜板对基材之间的压力和使基材受力更均匀，消除了基材与金属掩膜板之间的缝隙或用机械方法来贴合时候可能会产生的金属掩膜板折皱。进而，所镀出来的膜的图形更清晰，精度会更好。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型在磁控溅射镀膜机上的应用示意图。
具体实施方式
为了详细叙述本实用新型专利的上述特点，优势和工作原理，下面结合说明书附图1、2和具体实施方式对本实用新型做进一步的说明，但本实用新型所保护的范围并不局限于此。
图1是本实用新型要说明的带有磁性保护膜的金属掩膜装置。该装置为一种自内向外依次设置有磁性保护膜4、基材3、金属掩膜2的层状结构，金属掩膜2的外表面设有电磁铁1。所述的金属掩膜2的材质为磁性金属，其厚度为0.02~1.5mm。所述基材3为透明基板，其厚度为0.2~3mm。所述磁性保护膜4厚度为10~300um。其中控制电磁铁1的电流来控制掩膜2和磁性保护膜4的磁力，可以调节压力，而且金属掩膜2和磁性保护膜4之间有均匀的拉力，在任何部位受力均匀，所镀出来的图形更为清晰，进而提高镀膜图形精度。
图2是本实用新型在卷绕式磁控溅射镀膜机中的结构图。图中：带有磁性保护膜的PET卷材5、是真空镀膜室6，带有电磁铁的金属掩膜装置7。
Claims (4)
1.一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：该装置为一种自内向外依次设置有磁性保护膜（4）、基材（3）、金属掩膜（2）的层状结构，金属掩膜（2）的外表面设有电磁铁（1）。
2.根据权利要求1所述的带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：所述的金属掩膜（2）的材质为磁性金属，其厚度为0.02~1.5mm。
3. 根据权利要求1所述的带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：所述基材（3）为透明基板，其厚度为0.2~3mm。
4. 根据权利要求1所述的带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：所述磁性保护膜（4）厚度为10~300um。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011203327661U CN202208755U (zh) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011203327661U CN202208755U (zh) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202208755U true CN202208755U (zh) | 2012-05-02 |
Family
ID=45988307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011203327661U Expired - Fee Related CN202208755U (zh) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202208755U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106271167A (zh) * | 2016-09-26 | 2017-01-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种金属掩膜板焊接贴合器件及其焊接方法 |
| CN106835026A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-06-13 | 武汉华星光电技术有限公司 | 蒸镀基板及其蒸镀方法 |
| WO2020194739A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | シャープ株式会社 | 蒸着マスクおよび該蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法 |
-
2011
- 2011-09-06 CN CN2011203327661U patent/CN202208755U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106271167A (zh) * | 2016-09-26 | 2017-01-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种金属掩膜板焊接贴合器件及其焊接方法 |
| US10583534B2 (en) | 2016-09-26 | 2020-03-10 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Jointing device for metal mask plate welding and welding method thereof |
| CN106835026A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-06-13 | 武汉华星光电技术有限公司 | 蒸镀基板及其蒸镀方法 |
| CN106835026B (zh) * | 2017-02-24 | 2019-05-28 | 武汉华星光电技术有限公司 | 蒸镀基板及其蒸镀方法 |
| WO2020194739A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | シャープ株式会社 | 蒸着マスクおよび該蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108165927B (zh) | 掩膜版的吸附装置及吸附方法、蒸镀设备及蒸镀方法 | |
| CN105154830B (zh) | 一种固定方法和蒸镀方法 | |
| CN202208755U (zh) | 一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置 | |
| TWI621723B (zh) | 沈積罩幕、沈積裝置、沈積方法及有機ｅｌ顯示裝置的製造方法 | |
| US20170244271A1 (en) | Composite Magnetic Sheet and Wireless Charging Module Comprising Same | |
| WO2012114180A3 (en) | Decorative coating | |
| WO2009028522A1 (ja) | 非磁性箇所を有する鋼材およびその製造方法および回転電機コア | |
| TW200741761A (en) | Inductor element and method for production thereof, and semiconductor module with inductor element | |
| TW200637051A (en) | Mask, mask manufacturing method, pattern forming apparatus, and pattern formation method | |
| CN105555991A (zh) | 成膜掩模以及触摸面板基板 | |
| WO2013162918A3 (en) | Techniques for patterning multilayer magnetic memory devices using ion implantation | |
| JP2013522847A5 (zh) | ||
| CN105679489A (zh) | 磁性元件 | |
| TW201232759A (en) | Structure and manufacturing method for inductance element | |
| JP2021503718A (ja) | 磁性層を有する基板対応インダクタ | |
| KR20180003290A (ko) | Emi 차폐용 복합시트 및 이를 포함하는 휴대 단말기 | |
| CN102916002A (zh) | 一种具有磁屏蔽功能的半导体封装器件及其制作方法 | |
| CN109536886A (zh) | 一种蒸镀装置及oled面板蒸镀方法 | |
| JP2019030067A (ja) | 平面モータ | |
| MY177968A (en) | Laminated film and method for manufacturing same | |
| CN203543324U (zh) | 磁性颜料印刷品的磁定向装置及制造装置 | |
| CN203313591U (zh) | 用于电子设备的吸波片 | |
| CN106756801A (zh) | 一种蒸镀设备及蒸镀工艺 | |
| MY175088A (en) | Ultrathin laminates | |
| CN103258475A (zh) | 辐射自吸收式显示屏 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120502 Termination date: 20150906 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |