CN202162705U - 一种桌面式研磨抛光机的修盘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种桌面式研磨抛光机的修盘装置，解决了研磨抛光机中的修盘装置存在压力不可调节和研磨抛光剂输送不均匀的问题。包括修盘器（1）和修盘器弧形支架（3），在修盘器弧形支架（3）的两端设置有卡珠（3），修盘器（1）的盘形主体（10）的顶面中央固定设置有连接杆（4），环形加压块（5）穿过连接杆（4）活动套接在盘形主体（10）的顶面上，在盘形主体（10）的底面中央处设置有中心圆凹槽（7），在盘形主体（10）的底面边缘处设置有环形凹槽（6），在环形凹槽（6）中对称设置有修盘器底部凸台（8），修盘器底部凸台（8）的底面与盘形主体（10）的底面在同一平面上。特别适用于对研磨跑光盘的修整。

Description

一种桌面式研磨抛光机的修盘装置

技术领域

 本实用新型涉及一种桌面式研磨抛光机，特别涉及一种用于修整半导体晶体材料加工领域中的晶圆研磨抛光设备中的研磨抛光盘的修盘装置。

背景技术

桌面式研磨抛光机主要用于修整半导体晶体材料，研磨抛光机中的研磨抛光盘为关键设备。加工后晶圆的平整度一般要求很高，这就需要在晶圆加工过程中对修整研磨抛光设备的研磨抛光盘进行修盘作业，以保证研磨跑光盘的平整。目前，在国内外桌面式研磨抛光机中的修盘装置均为铸铁平板式，修盘时存在压力不可调节和研磨抛光剂输送不均匀的问题。

发明内容

本实用新型解决了现有的研磨抛光机中的修盘装置存在压力不可调节和研磨抛光剂输送不均匀的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种桌面式研磨抛光机的修盘装置，包括修盘器和修盘器弧形支架，在修盘器弧形支架的两端设置有卡珠，圆盘形的修盘器卡接在修盘器弧形支架的两端设置的卡珠之间，在所述的修盘器的盘形主体的顶面中央固定设置有连接杆，环形加压块穿过连接杆活动套接在盘形主体的顶面上，在盘形主体的底面中央处设置有中心圆凹槽，在盘形主体的底面边缘处设置有环形凹槽，在环形凹槽中对称设置有修盘器底部凸台，修盘器底部凸台的底面与盘形主体的底面在同一平面上。

在盘形主体的底面边缘处设置的环形凹槽中对称设置的修盘器底部凸台为六个。

本实用新型可将修盘过程中使用的研磨抛光液均匀覆盖在待修整盘面上，保证了研磨跑光盘的平整度。

附图说明

图1是本实用新型在修盘过程中的示意图

图2是本实用新型的修盘器的俯视图；

图3是图2中A-A向的剖面图。

具体实施方式

下面结合附图详细叙述本实用新型的具体实施方式：

一种桌面式研磨抛光机的修盘装置，包括修盘器1和修盘器弧形支架3，在修盘器弧形支架3的两端设置有卡珠3，圆盘形的修盘器1卡接在修盘器弧形支架3的两端设置的卡珠3之间，在所述的修盘器1的盘形主体10的顶面中央固定设置有连接杆4，环形加压块5穿过连接杆4活动套接在盘形主体10的顶面上，在盘形主体10的底面中央处设置有中心圆凹槽7，在盘形主体10的底面边缘处设置有环形凹槽6，在环形凹槽6中对称设置有修盘器底部凸台8，修盘器底部凸台8的底面与盘形主体10的底面在同一平面上。

在盘形主体10的底面边缘处设置的环形凹槽6中对称设置的修盘器底部凸台8为六个。

可以通过改变环形加压块5的重量或块数来调节修盘器1对研磨抛光盘9的压力，在修盘器1的底部进行开槽，制造出相应的凸台，使得研磨抛光剂在研磨抛光盘的离心力作用下，通过开槽孔均匀地覆盖在整个盘面上，在环形加压块5的压力控制下，同时配合调节研磨抛光剂的浓度和研磨抛光盘的转速，来加快整个修盘速度。

Claims (2)

1.一种桌面式研磨抛光机的修盘装置，包括修盘器（1）和修盘器弧形支架（3），在修盘器弧形支架（3）的两端设置有卡珠（3），圆盘形的修盘器（1）卡接在修盘器弧形支架（3）的两端设置的卡珠（3）之间，其特征在于，在所述的修盘器（1）的盘形主体（10）的顶面中央固定设置有连接杆（4），环形加压块（5）穿过连接杆（4）活动套接在盘形主体（10）的顶面上，在盘形主体（10）的底面中央处设置有中心圆凹槽（7），在盘形主体（10）的底面边缘处设置有环形凹槽（6），在环形凹槽（6）中对称设置有修盘器底部凸台（8），修盘器底部凸台（8）的底面与盘形主体（10）的底面在同一平面上。

2.根据权利要求1所述的一种桌面式研磨抛光机的修盘装置，其特征在于，在盘形主体（10）的底面边缘处设置的环形凹槽（6）中对称设置的修盘器底部凸台（8）为六个。

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