CN202078883U - 一种锗烷发生系统中恒定流量滴加料液的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种锗烷发生系统中恒定流量滴加料液的装置。加料装置由配料储液罐、压力表、搅拌器、平衡槽、浮球阀、计量泵、通气管、料液管组成。配料储液罐（1）上部有配料口（9）、搅拌器（10）和压力表（11），且经由通气管（5）连通平衡槽（2），下部由料液管（8）接到平衡槽（2）；料液管（8）在平衡槽（2）出液口与浮球阀（3）相连；平衡槽（2）底部由料液管连到计量泵（4），料液由计量泵（4）输出进入锗烷发生系统。使用所述装置实现了供给锗烷发生系统的料液流量恒定，保证了锗烷生产的稳定，且避免了空气从加料液装置进入锗烷发生系统影响锗烷纯度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种在生产锗烷产品中，锗烷发生系统恒定流量滴加料液的装置。属专用设备领域。
背景技术
锗烷是一种重要的电子气体，主要用于化学气相沉积，是制造各类含锗薄膜材料的重要原料。
锗烷发生有几类方法：锗合金与酸或氨水解法；电解二氧化锗的酸性或碱性溶液的电解法；锗盐或锗的氧化物的还原法，其中还原法主要是液液反应的方式进行，这就要求反应中料液滴加流量需要稳定，以使锗烷发生反应平稳进行，得到稳定的气流以利于提纯和收集。
实用新型内容
针对现有技术中存在的不足，本实用新型的目的在提供一种在锗烷生产中给锗烷发生系统恒定流量滴加料液的装置，该装置可使供给发生系统的料液流量恒定，产生的气体量平稳，且可避免空气从加料液装置进入锗烷发生系统。
实现本实用新型目的所采用的技术方案为：一种锗烷发生系统恒定流量滴加料液的装置，其特征在于：所述加料装置是由配料储液罐1、搅拌器10、压力表11、平衡槽2、计量泵4组成；所述配料储液罐1上部设有配料口9，所述搅拌器10和压力表11安装于配料储液罐1上，所述配料储液罐1上部经由通气管5连通平衡槽2，下部经由料液管8接到平衡槽2；平衡槽2底部由料液管8连到计量泵4，料液由计量泵4输送进入锗烷发生系统。
上述的锗烷发生系统恒定流量滴加料液的装置，其进一步特征在于：所述配料储液罐1上部还设有进气管6和出气管7，所述料液管8在平衡槽2出液口与浮球阀3相连；所述平衡槽2可以为多个，每个平衡槽2都有配套的浮球阀3、料液管8、通气管5和计量泵4，多个平衡槽2共用一台配料储液罐1为多套锗烷发生系统供料液。
本实用新型的有益效果在于：供给锗烷发生系统的料液流量恒定，产生的气体量平稳，保证了生产的稳定，且避免了空气从加料液装置进入锗烷发生系统影响锗烷纯度。本装置结构简单，实用方便。
附图说明
图1是本实用新型加料装置的结构示意图。
图中：1、配料储液罐，2、平衡槽，3、浮球阀，4、计量泵，5、通气管，6、进气管，7、出气管，8、料液管，9、配料口，10、搅拌器，11、压力表。
具体实施方式
下面结合本实用新型的附图，进一步详细说明其具体实施方式。
如图1所示，本实施例的加料装置由配料储液罐1、压力表11、搅拌器10、平衡槽2、浮球阀3、计量泵4、通气管5、料液管8组成。配料储液罐1上部有配料口9、搅拌器10和压力表11，且经由通气管5连通平衡槽2，下部由料液管8接到平衡槽2；料液管8在平衡槽2出液口与浮球阀3相连；平衡槽2底部由料液管8连到计量泵4，料液由计量泵4输出进入锗烷发生系统。
使用时，从配料口9加入所需原料，封好加料口9，开启搅拌器10配匀料液；进气管6接氮气，出气管7接真空泵，用氮气置换装置内气氛后保持0.02~0.05MPa正压；使料液流入平衡槽2，液位由浮球阀3控制，开启计量泵4并调好流量，料液以恒定流量输入锗烷发生系统。
加料液过程始终在可控气氛保护下进行，从而避免了空气从加料液装置进入锗烷发生系统。
本装置可根据情况，由多个平衡槽2共用一台配料储液罐1为多套锗烷发生系统供料液。
虽然本发明创造已以较佳实施例公开如上，但实施例和附图并不是用来限定本发明创造，任何熟悉此技艺者，在不脱离本发明创造之精神和范围内，自当可作各种变化或润饰，但同样在本发明创造的保护范围之内。因此本发明创造的保护范围应当以本申请的权利要求所界定的为准。
Claims (3)
1.一种锗烷发生系统恒定流量滴加料液的装置，其特征在于：所述加料装置是由配料储液罐（1）、搅拌器（10）、压力表（11）、平衡槽（2）、计量泵（4）组成；所述配料储液罐（1）上部设有配料口（9），所述搅拌器（10）和压力表（11）安装于配料储液罐（1）上，所述配料储液罐（1）上部经由通气管（5）连通平衡槽（2），下部经由料液管（8）接到平衡槽（2）；平衡槽（2）底部由料液管（8）连到计量泵（4），料液由计量泵（4）输送进入锗烷发生系统。
2.根据权利要求1所述的锗烷发生系统恒定流量滴加料液的装置，其特征在于：所述配料储液罐（1）上部还设有进气管（6）和出气管（7），所述料液管（8）在平衡槽（2）出液口与浮球阀（3）相连。
3.根据权利要求2所述的锗烷发生系统恒定流量滴加料液的装置，其特征在于：所述平衡槽（2）为多个，每个平衡槽（2）都有配套的浮球阀（3）、料液管（8）、通气管（5）和计量泵（4），多个平衡槽（2）共用一台配料储液罐（1）为多套锗烷发生系统供料液。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN106237932A (zh) * | 2016-08-22 | 2016-12-21 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种液体药剂自动添加装置及控制方法 |
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2011
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