CN202008614U - 一种刻蚀机射频功率的控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种刻蚀机射频功率的控制系统，包括控制单元、开关控制器、射频电源、预热设定器、功率输出单元和高频激励装置，所述控制单元、射频电源、功率输出单元和高频激励装置依次连接在一起，所述开关控制器设置在控制单元和射频电源之间，所述预热设定器设置在射频电源和功率输出单元之间，所述控制系统还包括用于反馈射频功率输出值的反馈装置，所述功率输出单元、反馈装置和控制单元依次连接在一起，形成闭环控制环节。本实用新型可检测射频功率的大小，并在射频功率异常时反馈异常信号。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种刻蚀机的辉光控制技术，具体是一种控制硅太阳能电池制造工段刻蚀机射频电源输出功率的控制系统。
背景技术
目前国内的所有刻蚀机的辉光控制方面的工艺步骤都是由以下几个部分组成：控制单元、开关控制器、射频电源、预热设定器、功率输出单元和高频激励装置，如图1所示，控制单元是整台刻蚀机的控制中心，控制单元收集各种信号综合比较，在条件允许的情况下输出功率供给信号，经过开关控制射频电源是否输出，得到输出信号后射频电源在经过足够的预热步骤后，就可以输出射频功率，通过该射频功率的输出，高频激励产生辉光放电进行硅太阳能电池片周边等离子体的刻蚀。这种刻蚀机在整个工艺过程中采用了开环控制方式，在自动运行过程中，按照程序设定好的步骤逐步进行工艺，这样就存在两个问题：
(1)在运行过程中，在控制单元和开关控制都正常的情况下，如果射频电源出现故障，故障后没有射频功率的输出，控制单元继续执行工艺步骤，造成产品的工艺品质异常，需要工作人员确认其状态正常，增加了劳动时间；
(2)在控制单元和开关控制都正常时，射频电源输出射频功率，如果在整个工艺过程中对射频功率的自动缓慢衰减及突然的功率异常无法检测，同样会造成产品的工艺品质异常，此类异常在工艺过程中不易由工作人员发现，且不利于刻蚀工艺流程的顺畅进行。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种刻蚀机射频功率的控制系统，可检测射频功率的大小，并在射频功率异常时反馈异常信号。
本实用新型实现上述目的的技术解决方案是：一种刻蚀机射频功率的控制系统，包括控制单元、开关控制器、射频电源、预热设定器、功率输出单元和高频激励装置，所述控制单元、射频电源、功率输出单元和高频激励装置依次连接在一起，所述开关控制器设置控制单元和射频电源之间，所述预热设定器设置在射频电源和功率输出单元之间，所述控制系统还包括用于反馈射频功率输出值的反馈装置，所述功率输出单元、反馈装置和控制单元依次连接在一起，形成闭环控制环节。
本实用新型所述反馈装置包括用于检测射频功率模拟信号的检测装置，用于将模拟信号转换为数字信号并将其输入控制单元的模数转换器，所述功率输出单元、检测装置、模数转换器和控制单元依次连接在一起。
本实用新型所述控制系统还包括用于射频功率异常输出报警的报警装置，所述报警装置与控制单元连接。
本实用新型所述控制单元内设置有用于将射频功率输出值与设定值进行比较的比较模块。
本实用新型所述控制单元内还设置有用于输出射频功率异常报警信号的异常信号输出模块，该模块与所述报警装置连接。
与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：
(1)本实用新型通过反馈装置来检测射频功率的大小并反馈到控制单元，从而避免了因为射频功率异常造成的产品品质的异常，增强了设备工艺运行的稳定性，也降低了因为品质异常造成的资金浪费。
(2)本实用新型的整个系统采用了闭环式控制方式，检测装置会检测整个工艺过程，并将检测的信号供给控制单元，可以设置功率的波动范围，在发生异常时会发生报警，增强了设备的稳定性。
(3)本实用新型的系统组成结构简单，易于实施，可保证刻蚀工业流程顺畅进行。
附图说明
图1为现有的刻蚀机的辉光控制的系统结构图；
图2为本实用新型具体实施方式的系统结构图。
具体实施方式
本实用新型实施例提供的一种刻蚀机射频功率的控制系统，如图2所示，包括控制单元、开关控制器、射频电源、预热设定器、功率输出单元和高频激励装置，所述控制单元、射频电源、功率输出单元和高频激励装置依次连接在一起，所述开关控制器设置控制单元和射频电源之间，所述预热设定器设置在射频电源和功率输出单元之间，所述控制系统还包括用于反馈射频功率输出值的反馈装置和用于射频功率异常输出报警的报警装置，所述功率输出单元、反馈装置和控制单元依次连接在一起，所述报警装置与控制单元连接，形成闭环控制环节。
本实用新型所述反馈装置包括用于检测射频功率模拟信号的检测装置，用于将模拟信号转换为数字信号并将其输入控制单元的模数转换器，所述功率输出单元、检测装置、模数转换器和控制单元依次连接在一起。在刻蚀机进行刻蚀工艺时，控制单元控制整个工艺过程中的设置以及输入输出，开关打开以后射频电源经过足够的预热以后正常输出功率，通过在功率的输出环节增加的在线功率检测装置，该装置会一直检测功率的变化，检测到的信号供给模数转换模块，经转换后的信号反馈到控制单元，这样就把原来的功率控制方式由开环控制方式改变为闭环控制方式，增强了整个工艺过程中的可控性，提高了设备的稳定性。
在控制单元内设置有用于将射频功率输出值与设定值进行比较的比较模块，可以根据实际的需要设定射频功率的大小，该功率存在一定的变化，为了避免因为功率的波动造成的品质异常，同时增加对波动范围的设置，在整个工艺过程中检测射频功率实际的输出值，将收集到的实际输出值与设定值进行比较，实际输出值大于或小于设定值但在允许的波动范围以内，继续进行工艺；控制单元内还设置有用于输出射频功率异常报警信号的异常信号输出模块，该模块与上述报警装置连接，当实际射频功率的波动范围超出设定的范围以后，就会有射频功率的异常报警信号输出，通过报警装置提醒操作员进行相应的异常处理，避免了因为检测不到或检测的不及时给硅太阳能电池片刻蚀时带来的不良影响。
本实用新型的实施方式不限于此，在本实用新型上述基本技术思想前提下，按照本领域的普通技术知识和惯用手段对本实用新型内容所做出其它多种形式的修改、替换或变更，均在本实用新型权利保护范围之内。
Claims (5)
1.一种刻蚀机射频功率的控制系统，包括控制单元、开关控制器、射频电源、预热设定器、功率输出单元和高频激励装置，所述控制单元、射频电源、功率输出单元和高频激励装置依次连接在一起，所述开关控制器设置在控制单元和射频电源之间，所述预热设定器设置在射频电源和功率输出单元之间，其特征在于：所述控制系统还包括用于反馈射频功率输出值的反馈装置，所述功率输出单元、反馈装置和控制单元依次连接在一起，形成闭环控制环节。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机射频功率的控制系统，其特征在于：所述反馈装置包括用于检测射频功率模拟信号的检测装置，用于将模拟信号转换为数字信号并将其输入控制单元的模数转换器，所述功率输出单元、检测装置、模数转换器和控制单元依次连接在一起。
3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机射频功率的控制系统，其特征在于：所述控制系统还包括用于射频功率异常输出报警的报警装置，所述报警装置与控制单元连接。
4.根据权利要求3所述的一种刻蚀机射频功率的控制系统，其特征在于：所述控制单元内设置有用于将射频功率输出值与设定值进行比较的比较模块。
5.根据权利要求4所述的一种刻蚀机射频功率的控制系统，其特征在于：所述控制单元内还设置有用于输出射频功率异常报警信号的异常信号输出模块，该模块与所述报警装置连接。
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Country Status (1)
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2010
- 2010-12-24 CN CN2010206787484U patent/CN202008614U/zh not_active Expired - Lifetime
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