CN201859859U - 一种硅片筛选装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种硅片筛选装置，包括盘体，支架，所述盘体安装在所述支架上，其中，所述盘体表面上设有涂层，由于所述盘体表面上设有涂层，可防止硅片由于静电而粘附在盘体上，从而，方便了使用；另外，通过涂层保持硅片的清洁度，盘体的材料就可不受限制，可采用金属材料制成，避免损坏。

Description

一种硅片筛选装置

技术领域

本实用新型涉及一硅片筛选装置，属于硅片加工技术领域。

背景技术

硅片生产过程中，由于多种因素，常有不合格产品，所以要对硅片进行筛选。现有技术中，通常应用托盘进行硅片筛选，由于加工后的硅片厚度较薄，体积小，因此，需要在托盘上覆盖黑色布料或黑皮，以方便进行硅片筛选，但由于布料或皮料容易产生细屑，影响硅片的表面。

为了解决上述技术问题，近来，出现了一种硅钢片筛选装置，该装置包括盘体、支架，所述盘体安装在支架上，该盘体采用深色玻璃制作而成，该结构的筛选装置，虽然保证了硅片的清洁度，但由于玻璃表面平滑，硅片容易粘附在上面，使用不方便；且玻璃容易损坏。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种使用方便、结构简单的硅片筛选装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型一种硅片筛选装置，包括盘体，支架，所述盘体安装在所述支架上，其中，所述盘体表面上设有涂层。

上述一种硅片筛选装置，其中，所述盘体边缘设有挡边。

本实用新型可实现以下有益效果：

1、由于所述盘体表面上设有涂层，可防止硅片由于静电而粘附在盘体上，从而，方便了使用；另外，通过涂层保持硅片的清洁度，盘体的材料就可不受限制，可采用金属材料制成，避免损坏。

2、由于盘体边缘设有挡边，可避免硅片掉落。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

为了解决上述技术问题，本实用新型一种硅片筛选装置，包括盘体1，支架2，所述盘体1安装在所述支架2上，其中，所述盘体1表面上设有涂层3，由于所述盘体1表面上设有涂层3，可防止硅片由于静电而粘附在盘体1上，从而，方便了使用；另外，通过涂层3保持硅片的清洁度，盘体1的材料就可不受限制，可采用金属材料制成，避免损坏。为了防止硅片掉落，可在所述盘体1边缘设有挡边11。

综上所述，本实用新型与现有技术相比，具有结构简单、使用方便的优点。

这里本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上述实施例中，因此，本实用新型不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本实用新型保护的范围内。 

Claims (2)

1.一种硅片筛选装置，包括盘体，支架，所述盘体安装在所述支架上，其特征在于，所述盘体表面上设有涂层。

2.如权利要求1所述一种硅片筛选装置，其特征在于，所述盘体边缘设有挡边。

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