CN201859844U - 一种气压驱动式热油循环装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种气压驱动式热油循环装置，与机台通过管路连通，包括：热交换器，与所述机台通过管路连通；供应热油箱，与所述热交换器通过管路连通；至少两个并联的循环热油箱，分别与所述供应热油箱、所述热交换器以及所述机台通过管路连通；驱动气源，与每个所述循环热油箱均通过气路连通。综上所述，本实用新型通过提供一种利用气压驱动的热油循环装置，解决现有技术中磨损严重、热油使用寿命短的问题，达到了无磨损的热量传递、减少浪费、方便维护且延长热油的使用寿命的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体工艺制造装置，尤其涉及一种气压驱动式热油循环装置。
背景技术
在半导体生产加工过程中，薄膜扩散炉管机台由于其工艺要求，在机台内要求温度稳定在180度左右，图1为现有技术中泵驱动式热油循环装置的结构示意图，如图1所示，泵驱动式热油循环装置包括储油箱20中的热油经过管路流入加热箱11在加热箱中被加热器加热到预定温度后，在油泵30的推动下流入机台40，在机台40进行热交换后，流经热交换器13最终回流到加热箱11，其中在油泵30和机台40之间还设置有温度传感器21以确保流入机台的热油的温度，在交换机13和加热箱11之间还设置有一管路，在热交换器13上还设置有冷却水循环管路，包括冷却水源50以及用于控制水流的控制阀17、19，其中所述油泵30是整个装置中热油运动的源泉，为了使循环装置具有良好的密封性，所述油泵30中的叶轮与腔体需要密封接触，则在长时间运转后叶轮与腔体的磨损十分严重，产生大量的铁或铜碎屑，进入到热油中，同时油泵30中的叶轮支撑轴承使用的石墨套，长时间运行也会磨损更为严重，大量石墨进入热油中，使热油变为黑色，并含有很多杂质。更为严重的是，如果叶片泵中途损坏的话，热油在无压力的情况下，运行速度改变，则热油的温度会发生变化，直接影响产品膜厚度造成的机台停止工作甚至产品报废的情况。
并且现有技术中泵驱动式热油循环装置每半年需要更换一次油泵，每个油泵的价格在1000美元以上，并且每半年需要更换4桶介质煤油在1500美元以上，成本高，耗费巨大。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，提供一种利用气压驱动的热油循环装置，从而解决现有技术中磨损严重、热油使用寿命短的问题。
为解决上述问题，本实用新型提供一种气压驱动式热油循环装置，与机台通过管路连通，包括：
热交换器，与所述机台通过管路连通；
供应热油箱，与所述热交换器通过管路连通；
至少两个并联的循环热油箱，所述循环热油箱与所述机台、所述热交换器构成循环，所述循环热油箱还与所述供应热油箱通过管路连通；
驱动气源，与每个所述循环热油箱均通过气路连通。
进一步的，所述热交换器与每个所述循环热油箱之间均设置有单向阀。
进一步的，每个所述循环热油箱与所述供应热油箱、所述热交换器以及所述机台连通的管路上均设置有电磁控制阀。
可选的，每个所述循环热油箱与所述驱动气源之间设置有电磁控制阀。
进一步的，所述热交换器包括冷却管道和加热管道。
进一步的，所述热交换器设有温度检测装置。
可选的，所述驱动气源供应的气体为压缩空气或氮气。
综上所述，本实用新型通过提供一种利用气压驱动的热油循环装置，解决现有技术中磨损严重、热油使用寿命短的问题，达到了无磨损的热量传递、减少浪费、方便维护且延长热油的使用寿命的目的。
附图说明
图1为现有技术中泵驱动式热油循环装置的结构示意图。
图2为本实用新型一实施例中气压驱动式热油循环装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。
其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。
本实用新型的核心思想是：通过提供一种气压驱动式热油循环装置，所述循环装置包括热交换器和至少两个并联的循环热油箱，所述循环热油箱与驱动气源气路相通，在驱动气源的气体压力下，热油在所述循环装置内循环流动，从而达到通过气压的热量传递方式，避免使用油泵引起的磨损、方便维护且延长热油的使用寿命的目的。
图2为本实用新型一实施例中气压驱动式热油循环装置的结构示意图，请参考图2，本实用新型提供一种气压驱动式热油循环装置，与机台100通过管路连通，包括热交换器200，与所述机台100通过管路连通；供应热油箱201，与所述热交换器200通过管路连通；至少两个并联的循环热油箱，在本实施例中，包括第一循环热油箱202、第二循环热油箱203，所述循环热油箱与所述机台100、所述热交换器200构成循环，所述循环热油箱还与所述供应热油箱201通过管路连通；驱动气源207，与每个所述循环热油箱，包括第一循环热油箱202、第二循环热油箱203均通过气路连通。
所述供应热油箱201中存有多余的热油，当循环装置内部油量较低时，供应热油箱201向热交换器200中补充热油，保证循环装置的正常工作。在本实施例中，第一循环热油箱202与第二循环热油箱203并联，且交替使用，例如当第一循环热油箱202使用时，第二循环热油箱203停止工作，所述热油在热交换器200中加热到指定温度后流经第一循环热油箱202，在驱动气源207的压力作用下热油流入机台进行热交换，完成热交换后流回热交换器200中进行加热。当第一循环热油箱202的液位降到低位时，第二循环热油箱203开始工作，循环往复。所述循环热油箱202、203与所述供应热油箱201管路相通可以将循环热油箱202、203中多余的热油或热油蒸汽排入供应热油箱201中，保证循环装置的正常工作，本实用新型中采用气压驱动的热油循环装置，达到了无磨损的热量传递，从而减少浪费、且方便维护且延长热油的使用寿命的目的。此外，所述循环热油箱还可以包括两个以上，多个循环热油箱交替使用也在本实用新型的思想范围内。
进一步的，所述热交换器200与每个所述循环热油箱202、203之间均设置有单向阀205。做定向调节使用，只能一个方向流通，反向自动截止从而防止反向流动造成的工作失误。
进一步的，每个所述循环热油箱202、203与所述供应热油箱201、所述热交换器200以及所述机台100连通的管路上均设置有电磁控制阀207。所述电磁控制阀207控制装置内油路的通断。所述电磁控制阀207有利于实现自动控制通电，实现自动开启或关闭，便于操作。可选的，每个所述循环热油箱202、203与所述驱动气源207之间设置有电磁控制阀。
进一步的，所述热交换器200包括冷却管道208和加热管道209。所述热交换器200设有温度检测装置210。所述温度检测装置210时刻监测从热交换器200流出的热油的温度，若热油温度过高，则冷却管道208工作，降低热油的温度直至达到预设温度，若热油温度过低，则加热管道209工作，升高热油的温度直至达到预设温度，从而保证流入机台100的热油的温度恒定且为预设温度，保证机台100的正常工作。
可选的，所述驱动气源207供应的气体为压缩空气或氮气。压缩空气与氮气为常见气源，便于获得且不易发生反应。
综上所述，本实用新型通过提供一种利用气压驱动的热油循环装置，解决现有技术中磨损严重、热油使用寿命短的问题，达到了无磨损的热量传递、减少浪费、方便维护且延长热油的使用寿命的目的。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
Claims (7)
1.一种气压驱动式热油循环装置，与机台通过管路连通，其特征在于，包括热交换器，与所述机台通过管路连通；
供应热油箱，与所述热交换器通过管路连通；
至少两个并联的循环热油箱，所述循环热油箱与所述机台、所述热交换器构成循环，所述循环热油箱还与所述供应热油箱通过管路连通；
驱动气源，与每个所述循环热油箱均通过气路连通。
2.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述热交换器与每个所述循环热油箱之间均设置有单向阀。
3.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，每个所述循环热油箱与所述供应热油箱、所述热交换器以及所述机台连通的管路上均设置有电磁控制阀。
4.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，每个所述循环热油箱与所述驱动气源之间设置有电磁控制阀。
5.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述热交换器包括冷却管道和加热管道。
6.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述热交换器设有温度检测装置。
7.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述驱动气源供应的气体为压缩空气或氮气。
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| CN109742903A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-05-10 | 河南科技大学 | 车辆及其轮毂电机散热系统、轮毂电机散热方法 |
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