CN201840951U

CN201840951U - 新风过滤器

Info

Publication number: CN201840951U
Application number: CN2010205168843U
Authority: CN
Inventors: 崔津生
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2010-09-03
Filing date: 2010-09-03
Publication date: 2011-05-25
Anticipated expiration: 2020-09-03

Abstract

本实用新型涉及一种过滤器。这种新风过滤器，包括机架和用于过滤新风的过滤棉、主动轴和被动轴，所述主动轴和被动轴分别枢接于所述机架的两侧，所述过滤棉的一端绕置在被动轴上，另一端绕置在用于回收过滤棉的主动轴上，所述机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置。本实用新型新风过滤器，结构简单、使用方便，通过在现有的新风过滤器的机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置，可以在一定程度上清洁过滤棉，延长过滤棉的使用寿命。另外，通过将真空抽吸装置设置成自动的真空抽吸装置，不但可以减小操作人员的工作量，提高工作效率，而且可以降低新风风量波动，从而降低新风风量波动对FAB温湿度的影响，保证生产工艺顺利进行。

Description

新风过滤器

技术领域

本实用新型涉及一种过滤器。

背景技术

目前，在半导体芯片厂(FAB)的空调系统通常采用新风初效过滤器。现有的新风初效过滤器，请参见图1，包括机架1和用于过滤新风的过滤棉2、主动轴3和被动轴4，所述主动轴2和被动轴4分别枢接于所述机架1的两侧，所述过滤棉2的一端绕置在被动轴4上，另一端绕置在用于回收过滤棉的主动轴3上。

当过滤棉2使用一段时间后，过滤棉2脏了以后，就需要人工手动转动主动轴3，从而将脏的过滤棉部分回收卷在主动轴上，使得干净的过滤棉部分进入过滤状态。当过滤棉的所有部分脏了以后，该过滤棉就失效并需要更换新的过滤棉。如此，会造成材料及人力浪费。

另外，由于现有的新风初效过滤器的运行特点是一定周期(即从过滤棉开始使用至过滤棉脏度到不能达到要求时)才更新，由于过滤棉先后清洁度的变化幅度很大，因而会造成新风风量周期大幅波动，进而影响FAB温湿度的大幅波动，从而影响生产工艺，导致产品良率下降。

因此，如何提供一种减小过滤棉浪费的新风过滤器是本领域亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新风过滤器，可以减少过滤棉的使用量，从而减少耗材消耗并有利于环境保护。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种新风过滤器，包括机架、用于过滤新风的过滤棉、主动轴和被动轴，所述主动轴和被动轴分别枢接于所述机架的两侧，所述过滤棉的一端绕置在被动轴上，另一端绕置在主动轴上，所述机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置。

在上述的新风过滤器中，所述真空抽吸装置包括驱动部件、真空吸槽和导轨，所述真空吸槽外接真空源，所述导轨固设于机架上，所述驱动部件驱动真空吸槽沿所述导轨移动。

在上述的新风过滤器中，所述导轨包括两根，两根导轨的上、下端分别通过上限位支架和下限位支架固定于所述机架。

在上述的新风过滤器中，所述真空吸槽上设有抽吸口，所述抽吸口设于所述真空吸槽靠近过滤棉的那侧，所述抽吸口的周缘设有用于密封的软性橡胶。

在上述的新风过滤器中，所述软性橡胶的宽度在0.5-2mm之间。

在上述的新风过滤器中，所述真空吸槽的长度大于所述过滤棉的宽度。

在上述的新风过滤器中，所述驱动部件包括手柄和齿轮，所述齿轮通过手柄带动，所述导轨是齿条，所述齿轮和所述齿条啮合，所述齿轮与真空吸槽固定连接。

在上述的新风过滤器中，所述驱动部件包括第一电机和齿轮，所述齿轮由第一电机带动，所述导轨是齿条，所述齿轮和所述齿条啮合，所述齿轮与真空吸槽固定连接。

在上述的新风过滤器中，所述真空抽吸装置还包括用于控制主动轴运动的总控制器、用于控制第一电机的第一控制器、用于监测过滤棉脏度的压差传感器和用于限制真空吸槽移动位置的位置传感器，所述总控制器设于机架上，所述第一控制器、压差传感器和位置传感器分别与所述总控制器连接。

在上述的新风过滤器中，所述机架上还设有报警装置，所述报警装置和所述总控制器电连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型新风过滤器，结构简单、使用方便，通过在现有的新风过滤器的机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置，可以在一定程度上清洁过滤棉，延长过滤棉的使用寿命。另外，通过将真空抽吸装置设置成自动的真空抽吸装置，不但可以减小操作人员的工作量，提高工作效率，而且可以降低新风风量波动，从而降低新风风量波动对FAB温湿度的影响，保证生产工艺顺利进行。

附图说明

本实用新型的新风过滤器由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的新风过滤器的结构示意图；

图2是实施例1的新风过滤器的结构示意图；

图3是实施例2的新风过滤器的底板的结构示意图；

图中，1-机架、2-过滤棉、3-主动轴、4-被动轴、51-手柄、51’-第一电机、52-真空吸槽、521-真空接口、53-齿条(或导轨)、54-第一控制器、55-压差传感器、56-位置传感器、61-上限位支架、62-下限位支架。

具体实施方式

以下将对本实用新型的新风过滤器作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

实施例1

请参阅图2，这种新风过滤器，包括机架1、用于过滤新风的过滤棉2、主动轴3和被动轴4。所述主动轴3和被动轴4分别枢接于所述机架1的两侧。所述过滤棉2的一端绕置在被动轴4上，另一端绕置在用于回收过滤棉的主动轴3上。所述机架1上设有用于清洁过滤棉2的真空抽吸装置。所述真空抽吸装置包括驱动部件、真空吸槽52和导轨53，所述真空吸槽52外接真空源，所述导轨53固设于机架1上。所述导轨53有两根，左右对称设置，两根导轨53的上端通过上限位支架61连接固定于机架1，两根导轨的下端通过下限位支架62连接固定于机架1。所述驱动部件驱动真空吸槽52沿导轨53移动。其中，所述驱动部件包括手柄51和齿轮(图中未示意)，所述齿轮通过手柄51带动，所述导轨是齿条53，所述齿轮和所述齿条53啮合，所述齿轮与真空吸槽52固定连接。所述真空吸槽是一矩形框。为了使真空吸槽52能够清洁过滤棉2的左右边缘，所述真空吸槽52的长度应大于所述过滤棉2的宽度。即所述矩形框的长边大于所述过滤棉2的宽度(即横向宽度)。所述真空吸槽52上设有抽吸口，所述抽吸口设于所述真空吸槽52靠近过滤棉2的那侧，所述抽吸口的周缘设有密封用的软性橡胶。所述软性橡胶的宽度在0.5-2mm之间，也就是说当真空吸槽工作的时候，所述真空吸槽52和所述过滤棉2之间的距离在0.5-2mm为宜。本实施例中，所述软性橡胶的宽度是1.5mm。所述真空吸槽52上还设有用于外接真空源的真空接口521。

使用时，请参阅图2，当操作人员看见过滤棉2的进行过滤的部分比较脏时，将真空吸槽52接通外部的真空源。同时，通过手柄51正向转动转动齿轮或反向转动齿轮，使得来带动真空吸槽52向上或向下运动，从而在真空吸槽52移动的过程中抽吸过滤棉2，实现清洁的功能，从而一定程度上延长过滤棉2的使用寿命。另外，由于可以及时用真空吸槽抽吸过滤棉，使过滤棉的清洁度的保持在一定范围内，因而，可以有效降低新风风量波动，从而降低新风风量波动对FAB温湿度的影响，保证生产工艺顺利进行。

实施例2

请参阅图3，本实施例与实施例1的区别在于：所述真空抽吸装置是自动真空抽吸装置。所述驱动部件包括第一电机51’和齿轮(图中未示意)，所述齿轮由第一电机51’带动，所述导轨是齿条53，所述齿轮和所述齿条53啮合，所述齿轮与真空吸槽52固定连接。所述自动真空抽吸装置还包括用于控制主动轴3运动的总控制器(图中未示意)、用于控制第一电机51’的第一控制器54、用于监测过滤棉2脏度的压差传感器55和用于限制真空吸槽52移动位置的位置传感器56，所述第一控制器54、压差传感器55和位置传感器56分别与所述总控制器连接。所述总控制器设于机架1上。所述位置传感器56共两个，分别设于所述上限位支架61和下限位支架62上。所述压差传感器55设于所述真空吸槽52靠近过滤棉2的那一端。

使用方法如下：请参阅图3，首先，压差传感器55实施监测过滤棉2脏度，并将该信息传递到总控制器进行处理。如果过滤棉2脏度达到一定程度，则真空吸槽52连通真空源；同时总控制器命令第一控制器54驱动第一电机51’，使得第一电机51’带动真空吸槽52沿导轨向上或向下移动，直到过滤棉2的清洁度达标。如果真空吸槽52在上、下限位支架61、62之间往返三次后，过滤棉2的清洁度还未达标，则总控制器将自动通过其对应的电机驱动主动轴3，回收该段过滤棉2并释放新过滤棉2。所述机架1上还设有报警装置(图中未示意)，所述报警装置也和总控制器电连接。当上述某个环节未执行或出现异常情况时，报警装置报警，以便及时通知操作人员进行检修。通过将真空抽吸装置设置成自动的真空抽吸装置，不但可以减小操作人员的工作量，提高工作效率，由于可以及时用真空吸槽抽吸过滤棉，使过滤棉的清洁度的保持在一定范围内，因而，可以有效降低新风风量波动，从而降低新风风量波动对FAB温湿度的影响，保证生产工艺顺利进行。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种新风过滤器，包括机架、用于过滤新风的过滤棉、主动轴和被动轴，所述主动轴和被动轴分别枢接于所述机架的两侧，所述过滤棉的一端绕置在被动轴上，另一端绕置在主动轴上，其特征在于，所述机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置。

2.如权利要求1所述的新风过滤器，其特征在于，所述真空抽吸装置包括驱动部件、真空吸槽和导轨，所述真空吸槽外接真空源，所述导轨固设于机架上，所述驱动部件驱动真空吸槽沿所述导轨移动。

3.如权利要求2所述的新风过滤器，其特征在于，所述导轨包括两根，两根导轨的上、下端分别通过上限位支架和下限位支架固定于所述机架。

4.如权利要求2所述的新风过滤器，其特征在于，所述真空吸槽上设有抽吸口，所述抽吸口设于所述真空吸槽靠近过滤棉的那侧，所述抽吸口的周缘设有用于密封的软性橡胶。

5.如权利要求4所述的新风过滤器，其特征在于，所述软性橡胶的宽度在0.5-2mm之间。

6.如权利要求2所述的新风过滤器，其特征在于，所述真空吸槽的长度大于所述过滤棉的宽度。

7.如权利要求2所述的新风过滤器，其特征在于，所述驱动部件包括手柄和齿轮，所述齿轮通过手柄带动，所述导轨是齿条，所述齿轮和所述齿条啮合，所述齿轮与真空吸槽固定连接。

8.如权利要求2所述的新风过滤器，其特征在于，所述驱动部件包括第一电机和齿轮，所述齿轮由第一电机带动，所述导轨是齿条，所述齿轮和所述齿条啮合，所述齿轮与真空吸槽固定连接。

9.如权利要求8所述的新风过滤器，其特征在于，所述真空抽吸装置还包括用于控制主动轴运动的总控制器、用于控制第一电机的第一控制器、用于监测过滤棉脏度的压差传感器和用于限制真空吸槽移动位置的位置传感器，所述总控制器设于机架上，所述第一控制器、压差传感器和位置传感器分别与所述总控制器连接。

10.如权利要求9所述的新风过滤器，其特征在于，所述机架上还设有报警装置，所述报警装置和所述总控制器电连接。