CN201834966U - 一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层 - Google Patents
一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型为金属有机物化学气相沉积设备中在高温及真空状态下分隔Ⅲ族和Ⅴ族气体所用的水冷夹层。在本实用新型中采用了一种加工制造相对简单的方法实现了上述功能。其结构特点是，所述水冷夹层由上隔板(1)、下隔板(2)、内环(3)、外环(4)构成主体。水冷管(5)、进水水管(6)、出水水管(7)、中间水道隔板(9)、边缘水道隔板(10)构成水冷结构。O型圈(8)密封周边。通过此结构实现了在高温及真空状态下上层反应气体均匀通过夹层，且夹层本身满足密封及水冷的要求。
Description
技术领域：
本实用新型涉及金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备中一种多区金属有机物化学气相沉积设备用水冷夹层。
背景技术：
MOCVD是适合生长半导体照明用LED材料外延片的良好技术。也是一种工业化的经济实用技术，其生长原理是：在一块加热适当温度的衬底上，含有Ⅲ族和Ⅴ族元素的气态化合物有控制的输送到衬底表面，生长出有特定组分、特定厚度、特定电学和光学参数的薄膜沉积材料。在水平式金属有机物化学气相沉积设备中Ⅲ族和Ⅴ族气体需要在到达反应室后才可以混合。而且两种气体需均匀混合反应室为高温及真空状态，因此在保证气体通过的情况下需要水冷并且密封。现有金属有机物化学气相沉积设备中的水冷夹层采用双层气体通路，在两层之间布置导通管结构。上下层之间通冷却水，可实现夹层在高温下通气并保证冷却，但制造困难且价格十分昂贵。本实用新型采用了一种加工制造相对简单的方法实现了上述功能。
发明内容：
本实用新型主要解决金属有机物化学气相沉积设备中在高温及真空状态下分隔Ⅲ族和Ⅴ族气体所用的水冷夹层加工制造困难的问题。
本实用新型主要解决的技术问题是，真对现有金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层加工制造困难而设计的一种新型水冷夹层。其特点为：1.由上下隔板构成的夹层结构，水冷管布置在夹层中间。2.进出水分区布置，水冷管环形等距间隔的布置在每个分区内。3.每个分区有一个进水口及出水口。4.通气孔均匀的布置在水冷管的空隙处。5.外圈布置O型与腔体密封。
本实用新型的技术解决方案是，所述多区金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其结构特点是，所述水冷夹层由上隔板、下隔板、内环、外环、水冷管、中间水道隔板、边缘水道隔板及O型圈组成。
以下做出进一步说明。参见图1、图2。本实用新型主要由以下部分构成，上隔板1，下隔板2，构成水冷夹层的主体。上隔板稍薄便于加工，下隔板稍厚增加夹层强度。内环3，外环4，与上隔板和下隔板构成封闭空间。中间水道隔板9，边缘水道隔板10将水冷夹层分为八个等分的区域。水冷管5，布置在已分割好的每个区域内等距排布。每个区域由进水水管6进水，出水水管7出水。在上隔板1，下隔板2，内环3，外环4，上布置安装螺钉孔11。通气孔12打在水冷管5的间隙内。每两根管之间打两个孔，以下隔板2为基准垂直且均匀排布。在外环4上开有密封沟槽，安装O型圈8，用来保证水冷夹层与腔体之间的密封。
本实用新型的工作原理是：反应气体分别从夹层的上下两侧进入反应腔，上侧反应气体在水冷夹层与顶盖之间通过通气孔排向水冷夹层下侧，与下侧的气体反应。周向排布的通气孔可保证反应气体均匀的排向下侧。O型圈和在水冷夹层中心的固定环可保证上侧的反应气体不会窜到下层。冷却水由进水口流入夹层由出水口排出夹层，在此过程中冷却夹层。水冷管伸出顶盖，与冷却水系统连接。水冷管的长度过长会导致温差过大，在排布的时候采用八分之一为一区的分布。
附图说明：
图1为本实用新型一种金属有机物化学气相沉积设备用水冷夹层剖面图
图2为本实用新型一种金属有机物化学气相沉积设备用水冷夹层的俯视图
具体实施方式：
1.制作八分之一分区水冷管的工装，将水冷管按照图示的排布与边缘水道隔板焊接好。边缘水道隔板上开孔与水冷管相对应。
2.加工好下隔板、内环、外环。
3.上隔板先加工水冷管与边缘水道隔板之间的部分，再加工中间水道隔板与边缘水道隔板之间的部 分。
4.在下隔板上定位内环、外环再将步骤1中焊好的八分之一分区在下隔板上均匀的排布好。然后再上面焊接上隔板。
5.加工外环上的O型圈沟槽及水冷夹层的定位孔。
6.焊接进出水管。
Claims (5)
1.一种金属有机物化学气相沉积设备中在高温及真空状态下分隔Ⅲ族和Ⅴ族气体所用的水冷夹层，其特征在于由上下隔板构成的夹层结构，水冷管布置在夹层中间。
2.根据权利要求1所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于进出水分区布置，水冷管环形等距间隔的布置在每个分区内。
3.根据权利要求1、2所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于每个分区有一个进水口及出水口。
4.根据权利要求1、2、3所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于通气孔均匀的布置在水冷管的空隙处。
5.根据权利要求1、2、3、4所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于外圈布置O型与腔体密封。
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| CN115161764B (zh) * | 2022-06-23 | 2024-02-06 | 江苏天芯微半导体设备有限公司 | 一种控温装置及其外延设备 |
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| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Shanghai Yongsheng Semiconductor Equipment Co.,Ltd. Assignor: Shanghai Lanbao Photoelectric Materials Co., Ltd. Contract record no.: 2011310000179 Denomination of utility model: Water-cooling sandwich of metal organic chemical vapor deposition equipment Granted publication date: 20110518 License type: Exclusive License Record date: 20110831 |
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