CN201797485U - 射频匹配器的控制电路 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种射频匹配器的控制电路，其特征在于：包括放大电路，该放大电路将接收到的直流驱动信号进行放大后输出；所述的控制模块还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用，本实用新型具有快速、可靠、高效、准确、节省人力和时间等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种射频匹配器的控制电路。
背景技术
射频匹配器的应用广泛，主要的具体领域为：半导体生产领域、等离子刻蚀、真空镀膜、PECVD、等离子清洗、物理气象沉积(PVD)、化学气象沉积(CVD)、射频溅射等等。目前市场上的射频匹配器多为手动射频匹配器，使用起来十分不便，在系统设备启动后要不断地手动调整匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求，无法实现应用系统的全自动控制，同时调节匹配的时间长、工作效率低、设备使用费用高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：提供一种用于射频匹配器的控制电路，该控制电路可以实现输出信号功能，为射频匹配器实现自动门匹配提供基础。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
射频匹配器的控制电路，包括放大电路，该放大电路将接收到的直流驱动信号进行放大后输出；还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用。
所述放大电路包括第一放大器，与该第一放大器连接的第二放大器，以及该第二增益放大器连接的功率放大电路。
所述第一放大器和第二放大器均为增益放大器。
所述功率放大电路第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管以及第四晶体管构成，第二晶体管的基极连接第一晶体管的基极，第二晶体管的发射极连接第一晶体管的发射极，第二晶体管的集电极连接第三晶体管的集电极，第三晶体管的发射极连接第四晶体管的发射极，第三晶体管的基极连接第四晶体管的基极。
第一晶体管和第四晶体管均为NPN型的晶体管，第二晶体管和第三晶体管均为PNP型的晶体管。
所述保护模块包括可调电位器，该可调电位器用于获知阻抗匹配器的调整情况，并将该调整情况转换为电压信号输出；
以及与可调电位器连接的比较器，该比较器将来自于可调电位器的电压信号与该比较器设定的电压进行比较后输出一个控制信号；
以及与比较器连接的控制开关，该控制开关接收比较器输出的控制信号后使所述放大电路失去放大作用。
所述比较器包括用于阻抗匹配器的最大值比较器，以及用于阻抗匹配器的最小值比较器。
所述的射频匹配器的控制电路，还包括显示阻抗匹配器容量的容量显示器，该容量显示器与连接在可调电位器的输出端。
上述方案中信号经一级放大器初级放大，再由二级放大器再次放大以驱动三级放大器对信号进行第三次放大后驱动直流电机转动。直流电动机可带动真空电容和可调电位器进行转动。当可调电位器转动时，会反馈一个电压信号给比较器，当可调电位器的反馈电压信号达到极限时，则输出一个低电平到控制开关，这时，二级放大器失去放大作用，功率放大电路得不到足够的驱动信号，直流电机停止转动，此时真空电容达到最大容量值，上述可调电位器的反馈电压信号可通过容量显示器显示出来。通过直流电机的转动，可以带动真空电容转动，以实现容量值的改变，从而达到调节阻抗的目的，快速、可靠、高效、准确、节省人力和时间。
附图说明
图1为本实用新型的原理图
图2为本实用新型的电路图
1为第一放大器，2为第二放大器，3为功率放大电路，31为第一晶体管，32为第二晶体管，33为第三晶体管，34为第四晶体管，4为可调电位器，5为比较器，51为最大值比较器，52为最小值比较器，61为第一控制开关，62为第二控制开关，7为容量显示器，8为直流电机。
具体实施方式
参考附图1至2所示，射频匹配器的控制电路，包括放大电路，该放大电路将接收到的直流驱动信号进行放大后输出；还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用。
所述放大电路包括第一放大器1，与该第一放大器连接的第二放大器2，以及该第二增益放大器连接的功率放大电路3，第一放大器1和第二放大器2均为增益放大器，功率放大电路第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体管33以及第四晶体34管构成，第二晶体管32的基极连接第一晶体管31的基极，第二晶体管32的发射极连接第一晶体管31的发射极，第二晶体管32的集电极连接第三晶体管33的集电极，第三晶体管33的发射极连接第四晶体管34的发射极，第三晶体管33的基极连接第四晶体管34的基极，第一晶体管31和第四晶体管34均为NPN型的晶体管，第二晶体管32和第三晶体管33均为PNP型的晶体管。
所述保护模块包括可调电位器4，该可调电位器用于获知阻抗匹配器的调整情况，并将该调整情况转换为电压信号输出；以及与可调电位器连接的比较器5，该比较器5将来自于可调电位器4的电压信号与该比较器5设定的电压进行比较后输出一个控制信号；以及与比较器5连接的控制开关6，该控制开关6接收比较器5输出的控制信号后使所述放大电路3失去放大作用，比较器包括用于阻抗匹配器的最大值比较器51，以及用于阻抗匹配器的最小值比较器52。所述的射频匹配器的控制电路，还包括显示阻抗匹配器容量的容量显示器7，该容量显示器7与连接在可调电位器4的输出端。
信号经一级放大器1初级放大，再由二级放大器2再次放大，以驱动功率 放大电路3，第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体管33以及第四晶体管34对信号进行放大后可驱动直流电机8。可调电位器4转动时，会反馈一个电压信号给三级放大器，当可调电位器4的反馈电压信号为达到最大值比较器51极限时，会输出一个低电平到第一控制开关61，这时二级放大器2失去放大作用，第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体管33和第四晶体管34得不到足够的驱动信号，则直流电机8停止转动，此时真空电容达到最大容量值，并在容量显示器7上显示出来，同样，当可调电位器4的反馈电压信号为达到最小值比较器52极限时，会输出一个低电平到第一控制开关62，这时二级放大器2失去放大作用，第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体管33和第四晶体管34得不到足够的驱动信号，则直流电机8停止转动，此时真空电容达到最大容量值，并在容量显示器7上显示出来。
Claims (8)
1.射频匹配器的控制电路，其特征在于：包括放大电路，该放大电路将接收到的直流驱动信号进行放大后输出；还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用。
2.根据权利要求1所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于：所述放大电路包括第一放大器，与该第一放大器连接的第二放大器，以及该第二放大器连接的功率放大电路。
3.根据权利要求2所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于：所述第一放大器和第二放大器均为增益放大器。
4.根据权利要求2所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于：所述功率放大电路由第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管以及第四晶体管构成，第二晶体管的基极连接第一晶体管的基极，第二晶体管的发射极连接第一晶体管的发射极，第二晶体管的集电极连接第三晶体管的集电极，第三晶体管的发射极连接第四晶体管的发射极，第三晶体管的基极连接第四晶体管的基极。
5.根据权利要求4所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于：第一晶体管和第四晶体管均为NPN型的晶体管，第二晶体管和第三晶体管均为PNP型的晶体管。
6.根据权利要求1所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于：所述保护模块包括可调电位器，该可调电位器用于获知阻抗匹配器的调整情况，并将该调整情况转换为电压信号输出；
以及与可调电位器连接的比较器，该比较器将来自于可调电位器的电压信号与该比较器设定的电压进行比较后输出一个控制信号；
以及与比较器连接的控制开关，该控制开关接收比较器输出的控制信号后使所述放大电路失去放大作用。
7.根据权利要求6所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于：所述比较器包括用于阻抗匹配器的最大值比较器，以及用于阻抗匹配器的最小值比较器。
8.根据权利要求6所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于：还包括显示阻抗匹配器容量的容量显示器，该容量显示器与连接在可调电位器的输出端。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107797085A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-03-13 | 北京普源精电科技有限公司 | 快沿信号控制电路及其有源前端、测试系统 |
| CN113075439A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-07-06 | 深圳市鼎阳科技股份有限公司 | 一种数字示波器的输入阻抗保护电路、方法和数字示波器 |
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- 2010-06-01 CN CN2010202172762U patent/CN201797485U/zh not_active Expired - Fee Related
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