CN201793744U - 太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板 - Google Patents

太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板 Download PDF

Info

Publication number
CN201793744U
CN201793744U CN2010205483852U CN201020548385U CN201793744U CN 201793744 U CN201793744 U CN 201793744U CN 2010205483852 U CN2010205483852 U CN 2010205483852U CN 201020548385 U CN201020548385 U CN 201020548385U CN 201793744 U CN201793744 U CN 201793744U
Authority
CN
China
Prior art keywords
cover plate
exhaust pipe
pipe orifice
chain type
type wet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2010205483852U
Other languages
English (en)
Inventor
蔡霞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Trina Solar Energy Co Ltd
Original Assignee
Changzhou Trina Solar Energy Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Trina Solar Energy Co Ltd filed Critical Changzhou Trina Solar Energy Co Ltd
Priority to CN2010205483852U priority Critical patent/CN201793744U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201793744U publication Critical patent/CN201793744U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Weting (AREA)

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备技术领域，特别是一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板。排风管口盖板为弧形，排风管口处为弧面的最高点。通过改变排风管口盖板的形状，使得酸气聚集成液滴后可延盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽中，目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1％左右。本设计可减少刻蚀槽液滴滴落到硅片扩散面上的几率，从而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。

Description

太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备技术领域，特别是一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板。
背景技术
现有太阳能电池链式湿法刻蚀设备如RENA Inoxside机台的排风管口盖板的形状设计为平面形。在生产过程中，由于酸气的挥发，较长时间后便会在盖板处聚集众多液滴。当液体聚集到一定量后，由于自身重力，将低落到正常生产时经过的硅片扩散面上，从而造成扩散面异常，形成不良片。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：避免排风管口盖板上的液滴滴落在硅片扩散面上，从而减少出现液滴片的概率，降低不良片发生几率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板，排风管口盖板为弧形，排风管口处为弧面的最高点。
本实用新型的有益效果是：通过改变排风管口盖板的形状，将平面形盖板设计成弧面形，使得酸气聚集成液滴后可延盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽中，目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1％左右。本设计可减少刻蚀槽液滴滴落到硅片扩散面上的几率，从而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是本实用新型的排风管口盖板的结构示意图；
其中：1.排风管口盖板，2.排风管口，3.液滴，4.刻蚀槽，5.酸气。
具体实施方式
现在结合附图1对本实用新型作进一步详细的说明。该附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板，排风管口盖板1为弧形，排风管口2处为弧面的最高点，使得液滴3顺着弧形面流回到刻蚀槽4内；
以多晶太阳能电池RENA Inoxside设备中排风管口盖板为例，通过将其设计成带有一定角度的圆弧，当挥发的酸气5聚集到一定程度后，形成大的液滴3将顺着弧形面流回到刻蚀槽4内。改善了电池的良率。

Claims (1)

1.一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板，其特征是：所述的排风管口盖板(1)为弧形，排风管口(2)处为弧面的最高点。
CN2010205483852U 2010-09-29 2010-09-29 太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板 Expired - Fee Related CN201793744U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010205483852U CN201793744U (zh) 2010-09-29 2010-09-29 太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010205483852U CN201793744U (zh) 2010-09-29 2010-09-29 太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201793744U true CN201793744U (zh) 2011-04-13

Family

ID=43848664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010205483852U Expired - Fee Related CN201793744U (zh) 2010-09-29 2010-09-29 太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201793744U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109166809A (zh) * 2018-07-12 2019-01-08 深圳市华星光电技术有限公司 湿蚀刻设备

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109166809A (zh) * 2018-07-12 2019-01-08 深圳市华星光电技术有限公司 湿蚀刻设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103996746B (zh) 一种可量产的perl晶体硅太阳电池的制作方法
CN101794843A (zh) 一种降低多晶制绒反射率的方法
CN102339902A (zh) 掩膜扩散法制备p型太阳能电池的方法及其结构
CN102185033A (zh) 选择性发射极高效晶体硅太阳能电池的制备工艺
CN102185030A (zh) 基于n型硅片的背接触式hit太阳能电池制备方法
CN201793744U (zh) 太阳能电池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板
CN201796935U (zh) 单面腐蚀酸制绒设备
CN202585426U (zh) 一种晶体硅太阳电池
CN202076297U (zh) 基于p型硅片的背接触式hit太阳能电池结构
CN202540939U (zh) 一种太阳能电池丝网印刷前硅片清理装置
CN103346172A (zh) 异质结太阳能电池及其制备方法
CN103078004A (zh) 一种选择性发射结与背面点接触结合的太阳能电池的制备方法
CN201809440U (zh) 太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板
CN205159295U (zh) 一种用于硅片清洗的大花篮
CN203150564U (zh) 一种太阳能电池正面栅线分段电池片
CN102185031B (zh) 基于p型硅片的背接触式hit太阳能电池制备方法
CN203674241U (zh) 一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置
CN204558510U (zh) 一种降低多晶硅太阳能电池制绒后滚轮印的装置
CN102912450A (zh) 一种单晶硅制绒添加剂
CN202585452U (zh) 三合一太阳能电池组件
CN202855722U (zh) 湿法刻蚀机
CN202712194U (zh) 一种有自我清洁功能的太阳能电池板
CN202519366U (zh) 多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路
CN202888143U (zh) 一种传送滚轮及化学腐蚀装置
CN203325917U (zh) 可改善电池片的电性能及可靠性的太阳能电池栅线

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110413

Termination date: 20130929