CN201793733U - 沉积舟 - Google Patents
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Abstract
沉积舟涉及LTO膜加工专用的沉积舟。既能保证气体进入舟体中，又能提高舟体强度的。包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖和下盖，所述上盖和下盖的柱面上均布若干圆形通孔。本实用新型将以往长方形的槽该为圆形的通气孔，这样即保证了LTO膜厚的均匀度，也由于在舟上开孔的面积相对减少而提高了舟强度，进而提高了其的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及低压化学气相沉积工艺中的晶片承载工具，尤其涉及LTO膜加工专用的沉积舟。
背景技术
半导体芯片由几大部分组成：PN结，SIPOS膜(只有SIPOS产品才有)，玻璃，LTO膜(Low Temperature Oxide的缩写，意思为低温的氧化膜。主要成分是SiO2)，镀金的焊接面。LTO膜起是一层绝缘层覆盖在玻璃，增加玻璃的绝缘效果，避免玻璃上镀上镍和金并且在晶粒组装时阻止焊料流至玻璃上，导致电性不良。
目前很多半导体分立器件都通过在玻璃上长一层LTO膜来保护玻璃，本申请人也是遵循惯例通过LPVCD系统在玻璃上长一层LTO膜，由于LTO炉特殊的结构，通气体时同时从炉前和炉后通入，为了使膜厚沉积的更加均匀，
为此，晶片生产者提供了一种加工LTO膜晶片时用于承载晶片基体的沉积舟，它由半圆柱体形的上、下盖构成，合起呈卧式的圆柱体形。如图3、4所示，上盖10、下盖11的柱面上设若干长槽3，设置长槽的原因是：两端采用两个半圆片，中间固定连接若干长片，长片之间留通气的槽。但该种结构形式的沉积舟在长期使用中经常出现长片断裂的情况，严重影响了生产的正常进行。
发明内容
本实用新型针对以上问题，提供了一种既能保证气体进入舟体中，又能提高舟体强度的沉积舟。
本实用新型的技术方案是：包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖和下盖，所述上盖和下盖的柱面上均布若干圆形通孔。
本实用新型将以往长方形的槽该为圆形的通气孔，这样即保证了LTO膜厚的均匀度，也由于在舟上开孔的面积相对减少而提高了舟强度，进而提高了其的使用寿命。
附图说明
图1是本实用新型中上盖的结构示意图
图中10是上盖，2是通孔；
图2是本实用新型中下盖的结构示意图
图中11是下盖；
图3是本实用新型背景技术的上盖的示意图
图中3是长槽。
图4是本实用新型背景技术的下盖的示意图
具体实施方式
本实用新型如图1、2所示，包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖10和下盖11，所述上盖10和下盖11的柱面上均布若干圆形通孔2。
Claims (1)
1.沉积舟，包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖和下盖，其特征在于，所述上盖和下盖的柱面上均布若干圆形通孔。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2010205365447U CN201793733U (zh) | 2010-09-19 | 2010-09-19 | 沉积舟 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2010205365447U CN201793733U (zh) | 2010-09-19 | 2010-09-19 | 沉积舟 |
Publications (1)
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| CN201793733U true CN201793733U (zh) | 2011-04-13 |
Family
ID=43848653
Family Applications (1)
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| CN2010205365447U Expired - Fee Related CN201793733U (zh) | 2010-09-19 | 2010-09-19 | 沉积舟 |
Country Status (1)
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106328571A (zh) * | 2015-07-02 | 2017-01-11 | 无锡华润华晶微电子有限公司 | 一种用于在晶圆上生长二氧化硅的笼舟及生长方法 |
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2010
- 2010-09-19 CN CN2010205365447U patent/CN201793733U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106328571A (zh) * | 2015-07-02 | 2017-01-11 | 无锡华润华晶微电子有限公司 | 一种用于在晶圆上生长二氧化硅的笼舟及生长方法 |
| CN106328571B (zh) * | 2015-07-02 | 2019-05-24 | 无锡华润华晶微电子有限公司 | 一种用于在晶圆上生长二氧化硅的笼舟及生长方法 |
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