CN201729437U

CN201729437U - 一种排压装置及带排压装置的化学药品储存装置

Info

Publication number: CN201729437U
Application number: CN2010202465072U
Authority: CN
Inventors: 吴良辉; 汪亚军; 何显双
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2010-06-30
Filing date: 2010-06-30
Publication date: 2011-02-02
Anticipated expiration: 2020-06-30

Abstract

本实用新型公开了一种排压装置，该排压装置包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀，当所述压力测量仪测量的压力过大时，所述阀控制器控制所述第一充气阀打开，从而排出密闭容器内的气体或液体，降低密闭容器内的压力，避免其因压力过大而爆炸；同时，本实用新型还提供一种带排压装置的化学药品储存装置，该化学药品储存装置包括所述排压装置，从而避免储存的化学药品分解产生气体，导致化学罐内气压过大而造成化学罐爆炸，提高了化学药品储存装置的安全性。

Description

一种排压装置及带排压装置的化学药品储存装置

技术领域

本实用新型涉及一种化学药品储存领域，尤其涉及一种危险易分解的化学药品的排压装置及带排压装置的化学药品储存装置。

背景技术

随着超大规模集成电路的发展，集成度的不断提高，线宽的不断减小，对硅片的质量要求也越来越高，特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严。这主要是因为抛光片表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。在目前的集成电路生产中，由于硅抛光片表面沾污问题，仍有大量的材料被损失掉。在硅晶体管和集成电路生产中，几乎每道工序都有硅片清洗的问题，硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响，处理不当，可能使全部硅片报废，做不出管子来，或者制造出来的器件性能低劣，稳定性和可靠性很差。

而在硅片的清洗过程中以及集成电路产品的制造过程中，需使用大量的化学药品，这些化学药品一般是由厂务通过管道注入到化学罐中，由化学罐进行储存，需使用化学药品时，再从化学罐中将该化学药品通入到处理罐中，接着进行相应的处理程序。通常来说储存化学药品的化学罐装在一个匣子里，该匣子集成在半导体制造机台中。

请参考图1，图1为现有的化学药品储存装置的结构示意图，由图1可知，现有的化学药品储存装置包括化学罐10、进液管路20、进液气压平衡管路30以及出液管路；所述进液管路20上设有第二充气阀21，所述进液管路20与厂务相应化学药品设备相连，以便从所述厂务注入化学药品至所述化学罐10中；所述进液气压平衡管路30上设置有第三充气阀31，以便在厂务向所述化学罐10内注入化学药品时，排出所述化学罐10内的气体，使所述化学罐10内的气压与外界气压相等，从而使化学药品能顺利注入到所述化学罐10内；所述出液管路包括控制管路41及液体管路42，所述控制管路41的一端插入所述化学罐10的上部，另一端与一氮气瓶相连，所述控制管路41上设置有第四充气阀411及气体流量控制器412；所述液体管路42的一端插入所述化学罐10的底部，另一端流出化学药品供使用，所述液体管路42上设置有液体流量控制器421、第五充气阀422以及过滤器423。

同时，所述化学罐10上从下向上依次设置有第一液位监测传感器50、第二液位监测传感器51以及第三液位监测传感器52，以监测所述化学罐10内的液位，以便厂务及时向所述化学罐10内注入化学药品。

并且，现有的化学药品储存装置还包括匣子60、排气管道70、泄露监测传感器80以及清洗管路90；所述化学罐10设置于所述匣子60中，所述匣子60设置于半导体制造机台中；所述排气管道70设置于所述匣子60上，以保持所述匣子60内部的气压与外界大气压相等；所述泄露监测传感器80设置于所述匣子60的底部，以监测所述化学罐10是否发生泄露；所述清洗管路90与所述化学罐10相连，向所述化学罐10内注入去离子水，以便对所述化学罐10及其相关管路进行清洗和维护，并且所述清洗管路上设置有第六充气阀91。

然而，由于有些化学药品性质不稳定，容易分解产生气体，从而造成化学罐2内的气压升高。例如双氧水，容易发生如下分解反应：2H₂O₂＝2H₂O+O₂，产生水和氧气，所产生的氧气导致化学罐2内的气压升高，当化学罐2内的气压升高到一定程度时，容易导致爆炸等危险，从而造成损失。

因此，有必要对现有的化学药品储存装置进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种排压装置及带排压装置的化学药品储存装置，以解决现有技术中的化学药品储存装置没有设置排压装置，从而在储存易分解的化学药品时，容易导致化学罐内的气压过高而导致爆炸，造成损失的问题。

为解决上述问题，本实用新型提出一种排压装置，用于排放密闭容器内的液体或气体，以避免所述密闭容器内的压力过大，该排压装置包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀，所述压力测量仪与所述密闭容器相连；所述阀控制器的一端与所述压力测量仪相连，另一端与所述第一充气阀相连，控制所述第一充气阀的开关；所述第一充气阀设置于一第一管道上，所述第一管道与所述密闭容器相连。

可选的，该排压装置还包括手动阀及第二管道，所述手动阀设置在所述第二管道上，所述第二管道并联在所述第一充气阀的两端，且所述第二管道与所述第一管道连通。

可选的，该排压装置还包括废弃容器，所述第一管道的一端与所述密闭容器相连，另一端与所述废弃容器相连。

为解决上述问题，本实用新型还提出一种化学药品储存装置，该化学药品储存装置包括化学罐、进液管路、进液气压平衡管路、出液管路以及排压装置；所述进液管路、所述进液气压平衡管路以及所述出液管路分别与所述化学罐相连；所述排压装置包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀，所述压力测量仪与所述化学罐相连；所述阀控制器的一端与所述压力测量仪相连，另一端与所述第一充气阀相连，控制所述第一充气阀的开关；所述第一充气阀设置于一第一管道上，所述第一管道与所述化学罐相连。

可选的，所述排压装置还包括手动阀及第二管道，所述手动阀设置在所述第二管道上，所述第二管道并联在所述第一充气阀的两端，且所述第二管道与所述第一管道连通。

可选的，所述排压装置还包括废弃容器，所述第一管道的一端与所述化学罐相连，另一端与所述废弃容器相连。

可选的，所述进液管路上设置有第二充气阀。

可选的，所述进液气压平衡管路上设置有第三充气阀。

可选的，所述出液管路包括控制管路及液体管路，所述控制管路的一端插入所述化学罐的上部，另一端与一氮气瓶相连，所述液体管路的一端插入所述化学罐的底部，另一端流出化学药品供使用。

可选的，所述压力测量仪设置在所述液体管路上，通过所述液体管路与所述化学罐相连，所述第一管道与所述液体管路相连。

可选的，所述控制管路上设置有第四充气阀及气体流量控制器。

可选的，所述液体管路上设置有液体流量控制器、第五充气阀以及过滤器。

可选的，该化学药品储存装置还包括第一液位监测传感器、第二液位监测传感器以及第三液位监测传感器，所述第一液位监测传感器、第二液位监测传感器以及第三液位监测传感器从下至上依次设置于所述化学罐上。

可选的，该化学药品储存装置还包括匣子，所述化学罐设置于所述匣子中。

可选的，该化学药品储存装置还包括排气管道，所述排气管道设置于所述匣子上。

可选的，该化学药品储存装置还包括泄露监测传感器，所述泄露监测传感器设置于所述匣子的底部。

可选的，该化学药品储存装置还包括清洗管路，所述清洗管路与所述化学罐相连，向所述化学罐内注入去离子水，所述清洗管路上设置有第六充气阀。

与现有技术相比，本实用新型提供的排压装置包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀，当所述压力测量仪测量的压力过大时，所述阀控制器控制所述第一充气阀打开，从而排出密闭容器内的气体或液体，降低密闭容器内的压力，避免其因压力过大而爆炸；本实用新型提供的带排压装置的化学药品储存装置包括排压装置，从而避免储存的化学药品分解产生气体，导致化学罐内气压过大而造成化学罐爆炸，提高了化学药品储存装置的安全性。

附图说明

图1为现有的化学药品储存装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的排压装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的带排压装置的化学药品储存装置结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的排压装置及带排压装置的化学药品储存装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，提供一种排压装置，以在密闭容器内的气压过大时及时排出密闭容器内的液体或气体，减小密闭容器内的气压，防止其因气压过大而爆炸。同时还提供一种化学药品储存装置，所述化学药品储存装置包括所述排压装置，从而避免储存的化学药品分解产生气体，导致化学罐内气压过大而造成化学罐爆炸，提高了化学药品储存装置的安全性。

请参考图2，图2为本实用新型实施例提供的排压装置的结构示意图，如图2所示，该排压装置100包括压力测量仪101、阀控制器102以及第一充气阀103，所述压力测量仪101与密闭容器200相连，测量所述密闭容器200内的气压；所述阀控制器102的一端与所述压力测量仪101相连，另一端与所述第一充气阀103相连，控制所述第一充气阀103的开关；所述第一充气阀103设置于一第一管道104上，所述第一管道104与所述密闭容器200相连，正常情况下，所述充气阀103处于关闭状态，当所述压力测量仪101测量出所述密闭容器200内的气压超过警戒气压值时，所述阀控制器102控制所述第一充气阀103，使其打开，从而所述密闭容器200内的液体或气体通过所述第一管道104及所述第一充气阀103排出所述密闭容器200，其中，所述警戒气压值为1.5～2.1个大气压。

进一步地，该排压装置100还包括手动阀105及第二管道106，所述手动阀105设置在所述第二管道106上，所述第二管道106并联在所述第一充气阀103的两端，且所述第二管道106与所述第一管道104连通；所述手动阀105用于在所述密闭容器200内的气压过大，且所述第一充气阀103或所述阀控制器102处于异常的情况下控制所述第二管道106的通断，排出所述密闭容器200内的液体或气体。

进一步地，该排压装置100还包括废弃容器107，所述第一管道104的一端与所述密闭容器200相连，另一端与所述废弃容器107相连，避免排出的液体或气体为有毒有害液体或气体时对环境造成污染。

请继续参考图3，图3为本实用新型实施例提供的带排压装置的化学药品储存装置结构示意图，如图3所示，本实用新型实施例提供的化学药品储存装置包括化学罐10、进液管路20、进液气压平衡管路30、出液管路以及排压装置100；所述进液管路20、所述进液气压平衡管路30以及所述出液管路分别与所述化学罐10相连；所述排压装置100包括压力测量仪101、阀控制器102以及第一充气阀103，所述压力测量仪101与所述化学罐10相连；所述阀控制器102的一端与所述压力测量仪101相连，另一端与所述第一充气阀103相连，控制所述第一充气阀103的开关；所述第一充气阀103设置于一第一管道104上，所述第一管道104与所述化学罐相连。

进一步地，所述排压装置100还包括手动阀105及第二管道106，所述手动阀105设置在所述第二管道106上，所述第二管道106并联在所述第一充气阀103的两端，且所述第二管道106与所述第一管道104连通。

进一步地，所述排压装置100还包括废弃容器107，所述第一管道104的一端与所述化学罐10相连，另一端与所述废弃容器107相连。

进一步地，所述进液管路20上设有第二充气阀21，所述进液管路20与厂务相应化学药品设备相连，以便从所述厂务注入化学药品至所述化学罐10中，所述第二充气阀21控制所述进液管路20的通断。

进一步地，所述进液气压平衡管路30上设置有第三充气阀31，以便在厂务向所述化学罐10内注入化学药品时，排出所述化学罐10内的气体，使所述化学罐10内的气压与外界气压相等，从而使化学药品能顺利注入到所述化学罐10内。

进一步地，所述出液管路包括控制管路41及液体管路42，所述控制管路41的一端插入所述化学罐10的上部，另一端与一氮气瓶相连，所述控制管路41上设置有第四充气阀411及气体流量控制器412，以便控制所述控制管路的通断及所述氮气的流量；所述液体管路42的一端插入所述化学罐10的底部，另一端流出化学药品供使用，所述液体管路42上设置有液体流量控制器421、第五充气阀422以及过滤器423；所述液体流量控制器421控制所述化学药品的流量，所述第五充气阀422控制所述液体管路42的通断，所述过滤器423对所述化学药品进行过滤，去掉其中的颗粒杂质。

进一步地，所述压力测量仪101设置在所述液体管路42上，通过所述液体管路42与所述化学罐10相连，所述第一管道104与所述液体管路42相连。

进一步地，该化学药品储存装置还包括第一液位监测传感器50、第二液位监测传感器51以及第三液位监测传感器52，所述第一液位监测传感器50、第二液位监测传感器51以及第三液位监测传感器52从下至上依次设置于所述化学罐10上，以监测所述化学罐10内的液位，以便厂务及时向所述化学罐10内注入化学药品，并且当化学罐10内的化学药品达到一定量时及时关闭进液管路20。

进一步地，该化学药品储存装置还包括匣子60，所述化学罐10设置于所述匣子60中，所述匣子60设置于半导体制造机台中，防止所述化学罐10内的化学药品泄露对机台产生影响。

进一步地，该化学药品储存装置还包括排气管道70，所述排气管道70设置于所述匣子60上，以保持所述匣子60内部的气压与外界大气压相等。

进一步地，该化学药品储存装置还包括泄露监测传感器80，所述泄露监测传感器80设置于所述匣子60的底部，以监测所述化学罐10是否发生泄露。

进一步地，该化学药品储存装置还包括清洗管路90，所述清洗管路90与所述化学罐10相连，向所述化学罐10内注入去离子水，以便对所述化学罐10及其相关管路进行清洗和维护，并且所述清洗管路上设置有第六充气阀91，所述第六充气阀91控制所述清洗管路90的通断。

本实用新型实施例提供的带排压装置的化学药品储存装置的使用方法为：

当所述第一液位监测传感器50监测到所述化学罐10内的化学药品量过少时，所述第二充气阀21打开，厂务通过所述向所述进液管路20向所述化学罐10内注入化学药品，同时所述第三充气阀31打开，所述进液气压平衡管路30排出所述化学罐10内的气体，使所述化学罐10内的气压与外界气压相等，从而使化学药品能顺利注入到所述化学罐10内；当所述第二液位监测传感器51监测到所述化学罐10内的化学药品量达到正常值时，所述第二充气阀21关闭，所述第三充气阀31关闭，停止向所述化学罐10内注入化学药品；并且，在所述第二液位监测传感器51出现异常的情况下，所述第三液位传感器52监测到所述化学罐10内的化学药品量过高时，所述第二充气阀21关闭，所述第三充气阀31关闭，停止向所述化学罐10内注入化学药品；当所述化学罐10破裂而导致化学药品泄露时，所述泄露监测传感器80监测到泄露状况，所述第二充气阀21关闭，所述第三充气阀31关闭，停止向所述化学罐10内注入化学药品；

当需使用化学药品时，所述第四充气阀411打开，所述第五充气阀422打开，所述控制管路41开启，向所述化学罐10内冲入氮气，所述气体流量控制器412调整所述氮气的流量，在氮气的压力下，所述化学药品通过所述液体管路42流出，以供使用，所述液体流量控制器421调节所述化学药品的流量，所述过滤器423对所述化学药品进行过滤，去掉其中的颗粒杂质；

当所述化学药品长期未使用，并且分解产生大量的气体导致所述化学罐10内的气压过大，且所述压力测量仪101测量出所述化学罐10内的气压超过警戒气压值时，所述阀控制器102控制所述第一充气阀103，使其打开，从而所述化学罐10内的液体通过所述第一管道104及所述第一充气阀103排出至所述废弃容器107中，并且当所述阀控制器102或所述第一充气阀103处于异常时，手动打开所述手动阀105，从而将所述化学罐10内的液体通过所述第二管道106排出至所述废弃容器107内；

当所述化学药品储存装置需清洗维护时，开启所述第四充气阀411、所述第一充气阀103以及所述手动阀105，排出所述化学罐10内的化学药品；当所述化学药品排尽后，关闭所述第四充气阀411，开启所述第六充气阀91，向所述化学罐10内通入去离子水，当所述去离子水达到一定量时，开启所述第四充气阀411、所述第一充气阀103以及所述手动阀105，排出所述去离子水；反复几次注入并排出去离子水，直至冲洗干净。

综上所述，本实用新型提供了一种排压装置，该排压装置包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀，当所述压力测量仪测量的压力过大时，所述阀控制器控制所述第一充气阀打开，从而排出密闭容器内的气体或液体，降低密闭容器内的压力，避免其因压力过大而爆炸；同时，本实用新型还提供一种带排压装置的化学药品储存装置，该化学药品储存装置包括所述排压装置，从而避免储存的化学药品分解产生气体，导致化学罐内气压过大而造成化学罐爆炸，提高了化学药品储存装置的安全性。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种排压装置，用于排放密闭容器内的液体或气体，其特征在于，包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀，所述压力测量仪与所述密闭容器相连；所述阀控制器的一端与所述压力测量仪相连，另一端与所述第一充气阀相连，控制所述第一充气阀的开关；所述第一充气阀设置于一第一管道上，所述第一管道与所述密闭容器相连。

2.如权利要求1所述的排压装置，其特征在于，还包括手动阀及第二管道，所述手动阀设置在所述第二管道上，所述第二管道并联在所述第一充气阀的两端，且所述第二管道与所述第一管道连通。

3.如权利要求1所述的排压装置，其特征在于，还包括废弃容器，所述第一管道的一端与所述密闭容器相连，另一端与所述废弃容器相连。

4.一种化学药品储存装置，其特征在于，包括化学罐、进液管路、进液气压平衡管路、出液管路以及排压装置；所述进液管路、所述进液气压平衡管路以及所述出液管路分别与所述化学罐相连；所述排压装置包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀，所述压力测量仪与所述化学罐相连；所述阀控制器的一端与所述压力测量仪相连，另一端与所述第一充气阀相连，控制所述第一充气阀的开关；所述第一充气阀设置于一第一管道上，所述第一管道与所述化学罐相连。

5.如权利要求4所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述排压装置还包括手动阀及第二管道，所述手动阀设置在所述第二管道上，所述第二管道并联在所述第一充气阀的两端，且所述第二管道与所述第一管道连通。

6.如权利要求4所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述排压装置还包括废弃容器，所述第一管道的一端与所述化学罐相连，另一端与所述废弃容器相连。

7.如权利要求4至6中任一项所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述进液管路上设置有第二充气阀。

8.如权利要求4至6中任一项所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述进液气压平衡管路上设置有第三充气阀。

9.如权利要求4至6中任一项所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述出液管路包括控制管路及液体管路，所述控制管路的一端插入所述化学罐的上部，另一端与一氮气瓶相连，所述液体管路的一端插入所述化学罐的底部，另一端流出化学药品供使用。

10.如权利要求9所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述压力测量仪设置在所述液体管路上，通过所述液体管路与所述化学罐相连，所述第一管道与所述液体管路相连。

11.如权利要求9所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述控制管路上设置有第四充气阀及气体流量控制器。

12.如权利要求9所述的化学药品储存装置，其特征在于，所述液体管路上设置有液体流量控制器、第五充气阀以及过滤器。

13.如权利要求4至6中任一项所述的化学药品储存装置，其特征在于，还包括第一液位监测传感器、第二液位监测传感器以及第三液位监测传感器，所述第一液位监测传感器、第二液位监测传感器以及第三液位监测传感器从下至上依次设置于所述化学罐上。

14.如权利要求4至6中任一项所述的化学药品储存装置，其特征在于，还包括匣子，所述化学罐设置于所述匣子中。

15.如权利要求14所述的化学药品储存装置，其特征在于，还包括排气管道，所述排气管道设置于所述匣子上。

16.如权利要求14所述的化学药品储存装置，其特征在于，还包括泄露监测传感器，所述泄露监测传感器设置于所述匣子的底部。

17.如权利要求4至6中任一项所述的化学药品储存装置，其特征在于，还包括清洗管路，所述清洗管路与所述化学罐相连，向所述化学罐内注入去离子水，所述清洗管路上设置有第六充气阀。