CN201648566U

CN201648566U - 单晶炉炉体电动旋转机构

Info

Publication number: CN201648566U
Application number: CN2010201637495U
Authority: CN
Inventors: 杨金海
Original assignee: Ningxia Rijing Electronic Science & Technology Co Ltd
Current assignee: Ningxia Rijing New Energy Euipment Co., Ltd.
Priority date: 2010-04-20
Filing date: 2010-04-20
Publication date: 2010-11-24
Anticipated expiration: 2020-04-20

Abstract

本实用新型涉及一种非金属晶体的制造设备，尤其设及一种单晶炉炉体电动旋转机构。一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱、传感器支座、固定块、旋转轴、轴承挡环、丝杆、升降电机、上炉体、提升架、连接板和丝杆螺母；所述炉体电动旋转机构还包括减速马达、小齿轮、大齿轮和导向键，所述的减速马达固定安装在立柱侧壁上端，减速马达输出端固定安装有小齿轮，所述旋转轴上端开有导向槽，旋转轴通过导向槽内的导向键与大齿轮连接，大齿轮与减速马达输出端的小齿轮啮合连接。在单晶炉上炉体转动时，用机械自动化代替人力，降低了劳动强度，提高了作业安全，单晶生长结束后，实现了匀速平缓运动，解决了原手动作业产生的晶棒容易脱落现象。

Description

单晶炉炉体电动旋转机构

技术领域

本实用新型涉及一种非金属晶体的制造设备，尤其设及一种单晶炉炉体电动旋转机构。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

单晶炉的上炉筒旋转功能的作用如下：在硅单晶拉制完成后，上炉体需要升起然后转出，便于取下生成的单晶硅晶体。现有的上炉体转出功能，都是采用手动转动的，比较费力，而且转动不平稳，容易发生单晶硅晶体掉落等现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉炉体电动旋转机构，通过该电动旋转机构可以方便、准确、灵活地控制单晶炉上炉体的旋转作业，解决单晶炉上炉体手动旋转作业的劳动强度大，转动不平稳，晶棒容易发生掉落等现象。

本实用新型是这样实现的：一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱、传感器支座、固定块、旋转轴、轴承挡环、丝杆、升降电机、上炉体、提升架、连接板和丝杆螺母；立柱侧壁固定安装有传感器支座，传感器支座内套装有旋转轴，旋转轴内部设有丝杆，丝杆下端设有与丝杆相配合的丝杆螺母，丝杆螺母的上端通过轴承挡环与旋转轴的下端相连，所述提升架的一端通过固定块固定连接在旋转轴中部，提升架的另一端通过连接板与上炉体固定连接，所述升降电机固定在立柱下端，升降电机的输出端与丝杆下端相连，所述炉体电动旋转机构还包括减速马达、小齿轮、大齿轮和导向键，所述的减速马达固定安装在立柱侧壁上端，减速马达输出端固定安装有小齿轮，所述旋转轴上端开有导向槽，旋转轴通过导向槽内的导向键与大齿轮连接，大齿轮与减速马达输出端的小齿轮啮合连接。

所述的炉体电动旋转机构还包括旋转限位机构，旋转限位机构包括大齿轮端盖和限位板，所述的大齿轮上端固定安装有大齿轮端盖，大齿轮端盖成“凸”形，凸肩两侧设有用于控制大齿轮端盖和大齿轮旋转角度的限位板，限位板固定在旋转轴上端的传感器支座上。

所述传感器支座中设有限位开关，限位开关控制上炉体的上升位置。

所述升降电机下端还设有用于支撑升降电机的升降电机板，升降电机板与立柱侧壁固定连接。

所述升降电机为蜗轮升降电机。

本实用新型在单晶炉上炉体向上运动时，设在导向槽内的导向键避免了旋转轴在上升过程中的转动，确保了上炉体上升高度的精确性。单晶炉上炉体转动时，采用机械自动化代替人力，降低了劳动强度；在转动过程中，通过机械运动，极大提高了作业安全；单晶生长结束后，通过机械自动化运动，实现了匀速平缓运动，彻底解决了原手动作业产生的晶棒容易脱落现象。

附图说明

图1为本实用新型单晶炉炉体电动旋转机构结构示意图；

图2为图1的左视示意图；

图3为图2的局部放大示意图；

图4为图2的B-B向剖视示意图。

图中：1立柱、2传感器支座、3固定块、4旋转轴、5轴承挡环、6丝杆、7升降电机、8减速马达、9大齿轮、10限位板、11上炉体、12提升架、13连接板、14丝杆螺母、15升降电机板、16小齿轮、17大齿轮端盖、18导向键。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参见图1、图2，一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱1、传感器支座2、固定块3、旋转轴4、轴承挡环5、丝杆6、升降电机7、上炉体11、提升架12、连接板13和丝杆螺母14；立柱1侧壁固定安装有传感器支座2，所述传感器支座2中设有限位开关，传感器支座2内套装有旋转轴4，旋转轴4内部设有丝杆6，丝杆6下端设有与丝杆6相配合的丝杆螺母14，丝杆螺母14的上端通过轴承挡环5与旋转轴4的下端相连，所述提升架12的一端通过固定块3固定连接在旋转轴4中部，提升架12的另一端通过连接板13与上炉体11固定连接，所述升降电机7固定在立柱1下端，所述升降电机7为蜗轮升降电机。升降电机7的输出端与丝杆6下端相连，所述升降电机7下端还设有用于支撑升降电机7的升降电机板15，升降电机板15与立柱1侧壁固定连接。所述炉体电动旋转机构还包括减速马达8、小齿轮16、大齿轮9和导向键，所述的减速马达8固定安装在立柱1侧壁上端，减速马达8输出端固定安装有小齿轮16，所述旋转轴4上端开有导向槽，旋转轴4通过导向槽内的导向键18与大齿轮9连接，大齿轮9与减速马达8输出端的小齿轮16啮合连接。

所述的炉体电动旋转机构还包括旋转限位机构。参见图3、图4，旋转限位机构包括大齿轮端盖17和限位板10，所述的大齿轮9上端固定安装有大齿轮端盖17，大齿轮端盖17成“凸”形，凸肩两侧设有用于控制大齿轮端盖17和大齿轮9旋转角度的限位板10，限位板10固定在旋转轴4上端的传感器支座2上。

本实用新型是这样工作的：仍参见图1至图3，升降电机7通过作用丝杆6，使与丝杆6相固定的丝杆螺母14向上运动，丝杆螺母14带动旋转轴4、固定块3、提升架12和连接板13一起向上运动，从而带动上炉体11向上运动，上炉体11向上运动时，设在导向槽内的导向键18避免了旋转轴4在上升过程中的转动，确保了上炉体11上升高度的精确性，传感器支座2中设有限位开关，限位开关控制上炉体11的上升位置，当上炉体11上升一定高度后，减速马达8启动，减速马达8输出端的小齿轮16带动大齿轮9转动，大齿轮9带动旋转轴4转动，旋转轴4带动固定块3、提升架12和连接板13一起转动，从而带动上炉体11转动，当大齿轮9转动一定角度后，固定在大齿轮9上的大齿轮端盖17与限位板13相接触，通过限位板13的安装位置，即可控制上炉体11的转动角度。

上述实施例仅供说明本实用新型之用，而并非是对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此，所有等同的技术方案也应属于本实用新型的范畴。

Claims

1.一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱、传感器支座、固定块、旋转轴、轴承挡环、丝杆、升降电机、上炉体、提升架、连接板和丝杆螺母；

立柱侧壁固定安装有传感器支座，传感器支座内套装有旋转轴，旋转轴内部设有丝杆，丝杆下端设有与丝杆相配合的丝杆螺母，丝杆螺母的上端通过轴承挡环与旋转轴的下端相连，所述提升架的一端通过固定块固定连接在旋转轴中部，提升架的另一端通过连接板与上炉体固定连接，所述升降电机固定在立柱下端，升降电机的输出端与丝杆下端相连，其特征是：

所述炉体电动旋转机构还包括减速马达、小齿轮、大齿轮和导向键，所述的减速马达固定安装在立柱侧壁上端，减速马达输出端固定安装有小齿轮，所述旋转轴上端开有导向槽，旋转轴通过导向槽内的导向键与大齿轮连接，大齿轮与减速马达输出端的小齿轮啮合连接。

2.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是：所述的炉体电动旋转机构还包括旋转限位机构，旋转限位机构包括大齿轮端盖和限位板，所述的大齿轮上端固定安装有大齿轮端盖，大齿轮端盖成“凸”形，凸肩两侧设有用于控制大齿轮端盖和大齿轮旋转角度的限位板，限位板固定在旋转轴上端的传感器支座上。

3.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是：所述传感器支座中设有限位开关，限位开关控制上炉体的上升位置。

4.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是：所述升降电机下端还设有用于支撑升降电机的升降电机板，升降电机板与立柱侧壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是：所述升降电机为蜗轮升降电机。