CN201632469U - 硅片清洗设备的抽风通道 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片清洗设备的抽风通道，包括设置在设备箱体内部上方的抽风道，和穿透设备箱体上壁与抽风道连通的抽风口法兰；在抽风道侧壁上设有多个抽风孔及分别与抽风孔配合的风量调节板。本实用新型在抽风口法兰连接相应抽气设备后，抽风装置通过清洗槽面上方的抽风孔把操作区域的废气经抽风道及时抽走，补充新鲜空气进入设备内部；抽风道后部开有风道清理窗口，能满足人工清理整个抽风道内的结晶或粉尘的要求；另外，抽风通道内设有喷淋管，可自动定时清洗抽风道，废水由排放管道进入用户废水处理系统。

Description

硅片清洗设备的抽风通道

技术领域

本实用新型涉及一种硅片清洗设备，尤其涉及硅片清洗设备的抽风通道。

背景技术

近年来太阳能产业作为一种新能源技术得到快速发展，但作为新兴的技术密集型产业，其在诸多技术环节还存在不足。其中在太阳能电池片制备过程，需要对硅片进行清洗。在清洗设备中，各种酸性或碱性清洗剂会产生有害气体，如果不及时抽走有害气体，对设备和操作人员有较大的危害。

发明内容

本实用新型为了解决现有硅片清洗设备中，各种酸性或碱性清洗剂会产生有害气体，危害设备和操作人员的缺陷，提供一种硅片清洗设备的抽风通道，其能在硅片清洗过程中及时抽走有害气体。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种硅片清洗设备的抽风通道，包括设置在设备箱体内部上方的抽风道，和穿透设备箱体上壁与抽风道连通的抽风口法兰；在抽风道侧壁上设有多个抽风孔及分别与抽风孔配合的风量调节板。

所述抽风道内部还设有喷淋管，在抽风道底部设有连通到设备箱体外部的废水排放管路。

所述在抽风口法兰上还设有调节阀，调节阀包括位于抽风口法兰外部的旋钮和位于抽风口法兰内部的挡风板；调节阀设置位置高于设备箱体上壁平面。

所述设备箱体内带有清洗处理工作面，抽风道设置在临近清洗处理工作面处；抽风道靠近清洗处理工作面一侧的抽风孔为前部抽风孔，抽风道远离清洗处理工作面一侧的抽风孔为后部抽风孔。

所述抽风道远离清洗处理工作面一侧偏下方处还设有风道清理窗口。

所述风量调节板上带有跟抽风孔相对应的开孔，每个风量调节板上设有至少两枚与抽风道侧壁螺纹配合的调节螺栓；风量调节板与调节螺栓配合处为条形孔，故风量调节板与调节螺栓滑配。

本实用新型通过设置抽风道和抽风口法兰，并在抽风道侧壁设置抽风孔和风量调节板构成抽风装置；在抽风口法兰连接相应抽气设备后，这种抽风装置通过清洗槽面上方的抽风孔把操作区域的废气经抽风道及时抽走，补充新鲜空气进入设备内部；抽风道后部开有风道清理窗口，能满足人工清理整个抽风道内的结晶或粉尘的要求；另外，抽风通道内设有喷淋管，可自动定时清洗抽风道，废水由排放管道进入用户废水处理系统。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明：

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

如图1所示一种硅片清洗设备的抽风通道，包括设置在设备箱体11内部上方的抽风道2，和穿透设备箱体11上壁与抽风道2连通的抽风口法兰7；在抽风道2侧壁上设有多个抽风孔及分别与抽风孔配合的风量调节板8。其中抽风道2优选为不规则的多边形通道。所述抽风道2内部还设有喷淋管4，在抽风道2底部设有连通到设备箱体11外部的废水排放管路5。喷淋管4是用来清洗抽风道，故喷口朝向抽风道2侧壁，喷淋只在需要的时候开启。在抽风口法兰7上还设有调节阀6，调节阀6包括位于抽风口法兰7外部的旋钮和位于抽风口法兰7内部的挡风板；调节阀6设置位置高于设备箱体11上壁平面。所述设备箱体11内带有清洗处理工作面10，抽风道2设置在临近清洗处理工作面10处；抽风道2靠近清洗处理工作面10一侧的抽风孔为前部抽风孔9，抽风道2远离清洗处理工作面10一侧的抽风孔为后部抽风孔1。设备后部抽风孔1可抽走设备后部泄露的酸、碱等气体，防止设备后部元器件腐蚀。在抽风道2远离清洗处理工作面10一侧偏下方处还设有风道清理窗口3。所述风量调节板8上带有跟抽风孔相对应的开孔，每个风量调节板8上设有至少两枚与抽风道2侧壁螺纹配合的调节螺栓；风量调节板8与调节螺栓配合处为条形孔，故风量调节板8与调节螺栓滑配。拉动调节螺栓使抽风孔与风量调节板8上孔错开，减少风量。相反，使抽风孔与风量调节板8上空重合，风量最大。风量调节板8设置后，可根据实际抽风需要调节风量大小，满足设备抽风量的要求。

参照图1，实施时更具体的抽风口法兰7与设备放置车间的抽风管道相连，通过抽风管道对设备内部进行抽风，调节阀6和风量调节板8可调节风量大小。抽风道2内可设有喷淋管由气动阀控制，可以自动或手动在PLC中控制开启喷淋管4进行自动清洗，废水由废水排放管路5进入用户废水处理系统。所述风道清理窗口3在抽风道后部，均匀分布，可手动打开，人工对抽风道进行清理。前部抽风孔9开在临近清洗处理工作面10的上部，设备内部废气通过抽风孔进入抽风道，实现对设备内部的通风。当然前述抽风道2形状的变更和变化应落入本抽风道专利的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：包括设置在设备箱体(11)内部上方的抽风道(2)，和穿透设备箱体(11)上壁与抽风道(2)连通的抽风口法兰(7)；在抽风道(2)侧壁上设有多个抽风孔及分别与抽风孔配合的风量调节板(8)。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述抽风道(2)内部还设有喷淋管(4)，在抽风道(2)底部设有连通到设备箱体(11)外部的废水排放管路(5)。

3.根据权利要求1或2所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述在抽风口法兰(7)上还设有调节阀(6)，调节阀(6)包括位于抽风口法兰(7)外部的旋钮和位于抽风口法兰(7)内部的挡风板；调节阀(6)设置位置高于设备箱体(11)上壁平面。

4.根据权利要求3所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述设备箱体(11)内带有清洗处理工作面(10)，抽风道(2)设置在临近清洗处理工作面(10)处；抽风道(2)靠近清洗处理工作面(10)一侧的抽风孔为前部抽风孔(9)，抽风道(2)远离清洗处理工作面(10)一侧的抽风孔为后部抽风孔(1)。

5.根据权利要求4所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述抽风道(2)远离清洗处理工作面(10)一侧偏下方处还设有风道清理窗口(3)。

6.根据权利要求5所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述风量调节板(8)上带有跟抽风孔相对应的开孔，每个风量调节板(8)上设有至少两枚与抽风道(2)侧壁螺纹配合的调节螺栓；风量调节板(8)与调节螺栓配合处为条形孔，故风量调节板(8)与调节螺栓滑配。