CN211261107U - 一种硅片切割车间空气净化系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅片切割车间空气净化系统,包括安装在车间内的回风风机和PM2.5检测仪,回风风机连接水帘处理箱,水帘处理箱内设置水帘喷管,水帘处理箱连接水箱,水帘处理箱还通过引风机连接水雾处理设备,水雾处理设备从下至上依次水雾处理室、脱水处理室和活性炭吸附室,水雾处理室内包括若干层水雾喷管,水雾喷管均连接若干水雾喷头,脱水处理室内设置螺旋片,脱水处理室的侧壁设置过滤层,过滤层设置排水管,活性炭吸附室内设置活性炭层,水雾处理设备连接紫外线杀菌箱,紫外线杀菌箱通过新风系统连接车间,所述硅片切割车间空气净化系统,净化车间工业废气和切片产生的微小颗粒粉尘漂浮物,保证车间内空气洁净,改善工人工作环境。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片制造设备,尤其涉及一种硅片切割车间空气净化系统。
背景技术
本公司硅片车间采用封闭车间,其优点在于温度得到了保证,缺点是车间工业废气和切片产生的微小颗粒粉尘漂浮物得不到有效的处理排放。
实用新型内容
本申请人针对以上缺点,进行了研究改进,提供一种硅片切割车间空气净化系统。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种硅片切割车间空气净化系统,包括安装在车间内的回风风机和PM2.5 检测仪,所述回风风机连接水帘处理箱,所述水帘处理箱内设置水帘喷管,所述水帘处理箱通过回水管连接水箱,所述水帘处理箱还通过引风机连接水雾处理设备,所述水雾处理设备从下至上依次水雾处理室、脱水处理室和活性炭吸附室,所述水雾处理室内包括若干层水雾喷管,所述水雾喷管均连接若干水雾喷头,所述脱水处理室内设置螺旋片,所述脱水处理室的侧壁设置过滤层,所述过滤层设置排水管,所述活性炭吸附室内设置活性炭层,所述水雾处理设备连接紫外线杀菌箱,所述紫外线杀菌箱通过新风系统连接车间。
作为上述技术方案的进一步改进:
所述水帘处理箱内设置三条水帘喷管。
所述水雾处理室内设置三层水雾喷管。
本实用新型的有益效果如下:所述硅片切割车间空气净化系统,回风风机排出工业废气和切片产生的微小颗粒粉尘漂浮物,通过水帘处理箱、水雾处理设备、紫外线杀菌箱和滤袋处理箱处理后排放,降低污染,实现绿色生产。
附图说明
图1为本实用新型提供的硅片切割车间空气净化系统的结构示意图。
图中:1、水帘处理箱;11、水帘喷管;12、回水管;2、水箱;3、引风机;4、水雾处理设备;41、水雾处理室;411、水雾喷管;412、水雾喷头;42、脱水处理室;421、螺旋片;422、过滤层;423、排水管;43、活性炭吸附室;431、活性炭层;5、回风风机;6、紫外线杀菌箱。
具体实施方式
下面结合附图,说明本实施例的具体实施方式。
如图1所示,本实施例的硅片切割车间空气净化系统,包括安装在车间内的回风风机和PM2.5检测仪,回风风机连接水帘处理箱1,水帘处理箱1内设置三条水帘喷管11,可在水帘处理箱1内形成三条水帘,水帘处理箱1通过回水管12连接水箱2,水帘处理箱1还通过引风机3连接水雾处理设备4,水雾处理设备4从下至上依次水雾处理室41、脱水处理室42和活性炭吸附室43,水雾处理室41内包括三层水雾喷管411,水雾喷管411均连接若干水雾喷头 412,脱水处理室42内设置螺旋片421,脱水处理室42的侧壁设置过滤层422,过滤层422设置排水管423,活性炭吸附室43内设置活性炭层431,水雾处理设备4连接紫外线杀菌箱6,所述紫外线杀菌箱6通过新风系统连接车间。
本实施例的硅片切割车间空气净化系统使用时,当PM2.5检测仪检测车间内PM2.5超标,则回风风机启动,将车间内含有工业废气和切片产生的微小颗粒粉尘漂浮物的空气一起排出车间,空气先进入水帘处理箱1,空气穿过水帘处理箱1的三层水帘,进行初步处理,废水从回水管12排出水帘处理箱1进入水箱2,初步处理的空气,再通过引风机3送入空气送入水雾处理设备4,先进入水雾处理室41,水雾喷头412喷出水雾与空气接触处理,通过多层雾化喷淋压覆后,进入脱水处理室42,空气螺旋上升,空气与侧壁碰撞,液体截留在侧壁上,进行气液分离,液体进入过滤层422过滤后,从而排水管423排出,空气继续上升进入活性炭吸附室43,通过活性炭层431空气进行活性炭吸附处理,活性炭吸附处理完后空气排出水雾处理设备4,进入紫外线杀菌箱6进行紫外线杀菌处理,紫外线杀菌处理完成后,再并入新风系统重新进入车间。
以上描述是对本实用新型的解释,不是对实用新型的限定,本实用新型所限定的范围参见权利要求,在不违背本实用新型的基本结构的情况下,本实用新型可以作任何形式的修改。
Claims (3)
1.一种硅片切割车间空气净化系统,其特征在于:包括安装在车间内的回风风机(5)和PM2.5检测仪,所述回风风机连接水帘处理箱(1),所述水帘处理箱(1)内设置水帘喷管(11),所述水帘处理箱(1)通过回水管(12)连接水箱(2),所述水帘处理箱(1)还通过引风机(3)连接水雾处理设备(4),所述水雾处理设备(4)从下至上依次水雾处理室(41)、脱水处理室(42)和活性炭吸附室(43),所述水雾处理室(41)内包括若干层水雾喷管(411),所述水雾喷管(411)均连接若干水雾喷头(412),所述脱水处理室(42)内设置螺旋片(421),所述脱水处理室(42)的侧壁设置过滤层(422),所述过滤层(422)设置排水管(423),所述活性炭吸附室(43)内设置活性炭层(431),所述水雾处理设备(4)连接紫外线杀菌箱(6),所述紫外线杀菌箱(6)通过新风系统连接车间。
2.根据权利要求1所述的硅片切割车间空气净化系统,其特征在于:所述水帘处理箱(1)内设置三条水帘喷管(11)。
3.根据权利要求1所述的硅片切割车间空气净化系统,其特征在于:所述水雾处理室(41)内设置三层水雾喷管(411)。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
CN114608112A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-06-10 | 泉州市颖秀科技发展有限公司 | 一种车间除絮状漂浮物用空气净化装置 |
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2019
- 2019-12-25 CN CN201922370540.XU patent/CN211261107U/zh active Active
Cited By (2)
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CN114608112A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-06-10 | 泉州市颖秀科技发展有限公司 | 一种车间除絮状漂浮物用空气净化装置 |
CN114608112B (zh) * | 2022-05-13 | 2023-06-20 | 泉州市颖秀科技发展有限公司 | 一种车间除絮状漂浮物用空气净化装置 |
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