CN201607100U - 一种硅片烘干隧道 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片烘干隧道,应用于硅片湿法处理清洗设备,它包括中空的干燥箱体,所述干燥箱体内上方为设有箱体进风口和多个加热管,干燥箱体内下方设有箱体出风口;在干燥箱体两左右两端设有相贯通的开口,穿过两开口设有延伸至干燥箱体左侧和右侧的输送链条。本实用新型使工件在清洗之后既能达到充分干燥的效果,且风干过程中无剧烈运动避免了硅片碎裂。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片湿法处理清洗设备,尤其涉及起干燥作用的一种硅片烘干隧道。
背景技术
近年来太阳能产业作为一种新能源技术得到快速发展,但作为新兴的技术密集型产业,其在诸多技术环节还存在不足。其中,在太阳能电池片湿法处理设备中,为使硅片表面干燥,大多采用甩干机除去清洗后硅片表面水分,容易使硅片破碎。
发明内容
本实用新型为了解决现有甩干机干燥硅片容易使硅片破碎的缺陷,提供一种硅片烘干隧道它能在干燥硅片同时,避免硅片剧烈运动,防止硅片破碎。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种硅片烘干隧道,包括中空的干燥箱体,所述干燥箱体内上方为设有箱体进风口和多个加热管,干燥箱体内下方设有箱体出风口;在干燥箱体左右两端设有相贯通的开口,穿过两开口设有延伸至干燥箱体左侧和右侧的输送链条。
所述干燥箱体外部还设有风机和相应风管;箱体进风口通过风管与风机的吹风口相连;箱体出风口与风机吸风口相连,此处相连风管上还设有新风入口,用于补充烘干过程中的风量损失。
所述多个加热管横向并排排列,且位于箱体进风口的下方。
所述干燥箱体、风机及相应风管均设置在一封闭机箱内,所述输送链条左右侧分别穿透封闭机箱的两侧。
烘干隧道在烘干过程中,输送链条将待烘干的清洗篮输(硅片的载体)送进隧道内,风机产生的冷风从上部进箱体风口进入箱体,经过上部排列的加热管时,加热管将冷风加热,热风吹过下方工件,从而达到工件的烘干效果。
本实用新型通过将干燥箱体连接风机,并在箱体上设置加热管和输送链条等元件,使工件在清洗之后既能达到充分干燥的效果,且风干过程中链条输送无剧烈运动避免了硅片碎裂。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明:
图1为本实用新型主视方向剖视结构示意图;
图2为图1左视方向剖视结构示意图。
具体实施方式
如图1、图2所示一种硅片烘干隧道,其结构为:烘干隧道主要由干燥箱体1、风机8,加热管4和输送链条5等部分组成。干燥箱体1两端开口,分别为清洗篮3的进口和出口,开口之间部分贯通,清洗篮3的进出由输送链条5输送。干燥箱体1上方为箱体进风口2和加热管4,下方为箱体出风口9。干燥箱体1外部,箱体进风口2通过风管6与风机8的吹风口相连,箱体出风口9与风机吸风口相连,此处相连风管设有新风入口7,用于补充烘干过程中的风量损失。优选方案中所述多个加热管4横向并排排列,且位于箱体进风口2的下方。干燥箱体1、风机8及相应风管6均设置在一封闭机箱内,所述输送链条5左右侧分别穿透封闭机箱的两侧。本专利产品硅片烘干隧道在烘干过程中,输送链条5将待烘干的清洗篮3输送进隧道内,风机8产生的冷风从上部进箱体风口2进入箱体,经过上部排列的加热管4时,加热管4将冷风加热,热风吹过下方工件,从而达到工件的烘干效果。
Claims (4)
1.一种硅片烘干隧道,包括中空的干燥箱体(1),其特征在于:所述干燥箱体(1)内上方为设有箱体进风口(2)和多个加热管(4),干燥箱体(1)内下方设有箱体出风口(9);在干燥箱体(1)左右两端设有相贯通的开口,穿过两开口设有延伸至干燥箱体(1)左侧和右侧的输送链条(5)。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干隧道,其特征在于:所述干燥箱体(1)外部还设有风机(8)和相应风管(6);箱体进风口(2)通过风管(6)与风机(8)的吹风口相连;箱体出风口(9)与风机(8)吸风口相连,此处相连风管上还设有新风入口(7)。
3.根据权利要求1或2所述的硅片烘干隧道,其特征在于:所述多个加热管(4)横向并排排列,且位于箱体进风口(2)的下方。
4.根据权利要求2所述的硅片烘干隧道,其特征在于:所述干燥箱体(1)、风机(8)及相应风管(6)均设置在一封闭机箱内,所述输送链条(5)左右侧分别穿透封闭机箱的两侧。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104048491A (zh) * | 2014-06-26 | 2014-09-17 | 潘磊 | 铝合金板材清洗以及烘干设备 |
CN108592597A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-09-28 | 连云港科拓信息科技有限公司 | 一种石英管生产用烘干装置 |
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- 2010-01-15 CN CN2010200566219U patent/CN201607100U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20101013 Termination date: 20170115 |