CN201569494U - 多维精控红外测温装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多维精控红外测温装置，包括红外测温装置、用于与所测设备连接的底座结合装置，该底座结合装置至少带有一腔体底座连接板；支撑棒底板，该支撑棒底板上具有直立的支撑棒；夹持器，具有能套设在支撑棒上且可控夹紧度的单元结构；所述的红外测温装置通过一具有仰角的连接架固定在一主工作台上，该主工作台由下至上依次安装纵向精密平移台、横向精密平移台和精密角度位移台；主工作台坐落在一支撑连接装置的底板尾端，该连接装置与夹持器固定连接。其方便与被测设备的连接固定，且能从正面工作位90°旋转到侧面空位隐蔽位，同时能进行横向、纵向、前后角度的精确调控；结构牢固稳定、操作快捷方便。

Description

多维精控红外测温装置

技术领域

本实用新型涉及一种多维精控红外测温装置，主要适用于真空镀膜设备中温度点的精确定位和温度测量。

背景技术

现有的红外测温仪安装在活动三角支架上，在测定某点温度的实际操作中有如下不足：

(1)不能精确地横向和纵向移动；

(2)不能精确地调整角度；

(3)三脚支架在调整和操作过程中极易受到碰触等人为因素影响而导致测量距离、测量角度的变化，造成测温仪聚焦点的位移，偏离实际需测的温度点；

(4)定位操作非常复杂。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种多维精控红外测温装置，它能够精确控制测温点横向、纵向和前后的移动，结构稳固，不需受外力的影响，操作简易方便。

为实现上述目的，本实用新型采取以下设计方案：

一种多维精控红外测温装置，包括一红外测温装置，其还包括：

一用于与所测设备连接的底座结合装置，该底座结合装置至少带有一腔体底座连接板；

一支撑棒底板，该支撑棒底板上具有直立的支撑棒；

一夹持器，具有能套设在支撑棒上且可控夹紧度的单元结构；

所述的红外测温装置通过一具有仰角的连接架固定在一主工作台上，该主工作台由下至上依次安装纵向精密平移台、横向精密平移台和精密角度位移台；所述的主工作台坐落在一支撑连接装置的底座尾端，该支撑连接装置与夹持器固定连接。

其中，该底座结合装置还包括有一组用于调节与对接的工作台面保持一定间隙的调整块，该组调整块位于底座连接板与支撑棒底板间，其作用是保持。

为了在真空镀膜设备上方便、准确地实施定点测温操作，本实用新型多维精控红外测温装置对原有红外测温仪进行了结构的改良，设计出一种新型的多维红外测温装置，可以在真空镀膜设备上，或其他需要进行红外测温的装置上，方便、准确地实施定点测温操作；其结构不仅适用于本实用新型涉及的实施例，也适用于需要多维方位可调进行红外测温的装置。

本实用新型的优点是：

1、用腔体底座连接板两端的螺孔与腔体底座原有螺孔连接，避免了在腔体上进行各种加工的麻烦和弊端，省时省力省工，保证了腔体的完整无损。

2、采用支撑棒与夹持器的连接方式，使得该测温装置能从正面工作位90°旋转到侧面空位隐蔽位，这样既不影响工作人员的正面操作，又很好地保护了测温仪。

3、该测温仪能进行横向、纵向、前后角度的精确调控。

4、本技术克服了红外测温仪使用三脚支架所引发的诸如不够稳定、无法进行多维调整、不适用于每次都要复位于固定一点的缺陷，且结构牢固稳定、操作快捷方便。

附图说明

图1为本实用新型多维精控红外测温装置结构示意图(主视图)

图2为本实用新型多维精控红外测温装置结构示意图(俯视图)

具体实施方式

如图1、图2所示，本实用新型多维精控红外测温装置包括一红外测温装置7，还包括：一用于与所测设备连接的底座结合装置1、一支撑棒底板3、一夹持器5和一红外测温装置的支撑连接装置6。

所述的红外测温装置7可以采用现有技术中的同类各种型号的红外测温测试仪，此处不一一列举。

所述的底座结合装置至少带有一腔体底座连接板，图1所示实施例结构是为了实现与真空镀膜设备的连接，该腔体底座连接板两端开设螺孔，该螺孔与真空镀膜设备腔体底座原有的螺孔可实现螺栓等固定连接，不需在真空镀膜设备腔体上再进行各种加工。另外，该底座结合装置还可包括有调整块2，其可用于调节与对接的工作台面保持一定的间隙，该组调整块2位于底座连接板与支撑棒底板间。

所述的支撑棒底板3上具有直立的支撑棒4。

所述的夹持器5具有能套设在支撑棒4上且可控夹紧度的单元结构，本实施例中，该夹持器5结构设计是：具有一直立的背部连接板，其前带有两个具有凸耳的半环夹手，各半环夹手的凸耳上对应开设一用于供锁紧螺栓穿过的螺孔；锁紧螺栓穿过两个半环夹手凸耳上的螺孔实施夹紧，可调节夹紧度。

本实用新型承载红外测温装置7的主工作台由下至上依次安装纵向精密平移台11、横向精密平移台10和精密角度位移台9，由于真空镀膜设备的腔门(是指本申请人的真空设备)垂直线下方的观察窗与腔门成25°夹角，而精密角度位移台的角度调整范围只有10°，因此还特设计制作了一个具有25°仰角的连接架8，既解决了精密角度位移台9与红外测温仪7之间无法连接固定的难题，又加大了角度调整范围，将红外测温仪7安装固定在连接架8上，参见图1所示。

所述的主工作台坐落在一支撑连接装置6的底板尾端上，该支撑连接装置6与夹持器5固定连接，其具体形状不受限制，主要能完成与夹持器的连接及支撑主设备的功能即可，如图1、图2所示，本实施中，将该支撑连接装置设计为一直角固定块，该直角固定块由前直立板与两侧直角板及底板围成。

为实现主机的定位，本实施中，在夹持器或底座连接板间设有一可锁定夹持器位置的定位柱12，其可采用固定螺栓，一端螺接固定，另一端可有螺母锁定。该定位柱可以保证该测温装置每次由空位隐蔽状态(将本装置回位到一个非测量位置，红外测温仪在该位置停放不影响对真空设备的任何操作，且能很准确地回到测量位置)，转至正面工作状态，时刻都能保持在同一位置上。

本实用新型提供的多维精控红外测温装置可与真空镀膜设备相配合，能够精确控制测温点横向、纵向和前后的移动，结构稳固，不需受外力的影响，操作简易方便，并且能作90°旋转至空位隐蔽，以免影响工作人员对真空镀膜设备的其他操作。

本实用新型提供的多维精控红外测温装置中的腔体底座连接板1与支撑棒4紧配固定，夹持器5与直角固定块6连接后套入支撑棒，使得可以支撑棒4为转轴实现转动，由定位柱12限定其左(如定位柱12设置在另一侧，则为右)旋的最终到达位置。

本实施例中，具体实施连接如下：

腔体底座连接板1与腔体前左右底座用螺栓固定连接，设计加工要保证腔体底座连接板1两端的螺孔孔距孔径与腔体前左右底座间的孔距孔径相同，其中心位置用螺栓通过调整块2与支撑棒底板3固定连接；夹持器5与直角固定块6用四个紧固螺栓连接固定，中下部的一个加长螺栓(即可同时作为定位柱12)用于本装置从空位态旋转至工作态时的定位；在直角固定块6的前沿由下至上依次安装纵向精密平移台11、横向精密平移台10和精密角度位移台9；本实用新型根据改变直角固定块6的长短和连接架8的角度，可以使用不同红外测距和测角的需求。

本实用新型改善了红外测温仪使用三脚架支撑的各种缺点，具有结构牢固紧凑、便于组合安装、定位精确稳定(测温点的定位误差＜1mm)、操作简便快捷(由空置态转至工作态只需1-2s)等优点。

上述各实施例可在不脱离本实用新型的范围下加以若干变化，故以上的说明所包含及附图中所示的结构应视为例示性，而非用以限制本实用新型的申请专利范围。

Claims (5)

1.一种多维精控红外测温装置，包括一红外测温装置，其特征在于还包括：

一用于与所测设备连接的腔体底座结合装置，该底座结合装置至少带有一底座连接板；

一支撑棒底板，该支撑棒底板上具有直立的支撑棒；

一夹持器，具有能套设在支撑棒上且可控夹紧度的单元结构；

所述的红外测温装置通过一具有仰角的连接架固定在一主工作台上，该主工作台由下至上依次安装纵向精密平移台、横向精密平移台和精密角度位移台；所述的主工作台坐落在一支撑连接装置的底板尾端，该支撑连接装置与夹持器固定连接。

2.根据权利要求1所述的多维精控红外测温装置，其特征在于：该底座结合装置还包括有一组用于调节与对接的工作台面保持一定间隙的调整块，该组调整块位于底座连接板与支撑棒底板间。

3.根据权利要求1所述的多维精控红外测温装置，其特征在于：所述的夹持器由一直立的连接板与前带有的两个具有凸耳的半环夹手构成，一锁紧螺栓穿过两个半环夹手凸耳上的螺孔实施夹紧度的可控。

4.根据权利要求1所述的多维精控红外测温装置，其特征在于：还具有可锁定夹持器位置的定位柱。

5.根据权利要求4所述的多维精控红外测温装置，其特征在于：所述可锁定夹持器位置的定位柱为一将夹持器或底座连接板连接固定的螺栓。

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