CN201532522U - 曝光底片的对位靶标图样 - Google Patents
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Abstract
一种曝光底片的对位靶标图样，是令上、下曝光底片的对位靶标图样，一为环形靶标而另一为圆形靶标，且于该环形靶标至少形成有一贯通环内与环外的断环留白区，借以将该环形靶标的环内留白区与环外留白区连接。本实用新型令所有的光阻膜固化物都固着于基板上，具有不会形成脱离基板的光阻膜固化物的功效。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种曝光底片的对位靶标图样。
背景技术
电路板的曝光程序，是令放置于曝光框的曝光底片及待曝光基板，先于曝光机外部的对位区进行对位的工作，然后再将曝光框送入曝光机内部的曝光室，把曝光底片的电路图样借由曝光的过程，复制到待曝光基板；其中，对位工作如图1所示，乃于上、下曝光玻璃11、12吸附上、下底片21、22，然后将上、下层贴附有上、下光阻干膜32、33的基板30，放置于上、下底片21、22之间，让对位光源所发散的对位光线，经上底片21的环形靶标211、基板30的对位孔31及下底片22的圆形靶标221，而由摄影机40撷取对位影像，进而控制基板30调整其相对于上、下底片21、22的位置，完成对位的工作。
次按，曝光后的基板送至显影槽，将该上、下光阻干膜32、33未被曝光光源照射而固化的部分溶解，让电路图样显现出来；然而，如图2所示，由于现有曝光底片的对位靶标图样，一为环形靶标211而另一为圆形靶标221，故当进行显影工作时，该上光阻干膜32被环形靶标211所覆盖的区域，因未被曝光光源照射固化而溶解，但该上光阻干膜32位于环形靶标211环内与环外的区域，皆因已被曝光光源照射而固化，乃形成未被溶解的环内固化物321与环外固化物323，但因环内固化物321未与环外固化物323连接在一起，而脱离基板漂浮在显影槽中，其可能阻塞显影槽或黏附于基板上，造成显影制程的困扰或基板的瑕疵。
实用新型内容
本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种曝光底片的对位靶标图样，令所有的光阻膜固化物都固着于基板上，具有不会形成脱离基板的光阻膜固化物的功效。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种曝光底片的对位靶标图样，其特征在于，是令上、下曝光底片的对位靶标图样，一为环形靶标而另一为圆形靶标，且于该环形靶标至少形成有一贯通环内与环外的断环留白区，借以将该环形靶标的环内留白区与环外留白区连接。
本实用新型的有益效果是，令所有的光阻膜固化物都固着于基板上，具有不会形成脱离基板的光阻膜固化物的功效。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是电路板对位工作的示意图。
图2是使用现有曝光底片所形成的环内固化物会脱离基板的示意图。
图3是本实用新型的对位靶标图样示意图。
图4是使用本实用新型所形成的环内固化物会与环外固化物连接的示意图。
图中标号说明：
11 上曝光玻璃
12 下曝光玻璃
21 上底片
211、211’ 环形靶标
212 环内留白区
213 断环留白区
214 环外留白区
22 下底片
221 圆形靶标
30 基板
31 对位孔
32 上光阻干膜
321 环内固化物
322 连接固化物
323 环外固化物
33 下光阻干膜
40 摄影机
具体实施方式
首先，请参阅图3、图4所示，本实用新型是令上、下曝光底片的对位靶标图样，一为环形靶标211’而另一为圆形靶标221，且于该环形靶标211’至少形成有一贯通环内与环外的断环留白区213，借以将该环形靶标211’的环内留白区212与环外留白区214连接。
基于如上构成，本实用新型于该环形靶标211’形成的断环留白区213，可将该环形靶标211’的环内留白区212与环外留白区214连接；故当完成曝光工作时，位于该环内留白区212、断环留白区213与环外留白区214等区域的上光阻干膜32，在受到曝光光源的照射后，乃会在显影的过程中，让相对环内留白区212所形成的环内固化物321，借由相对断环留白区213所形成的连接固化物322，与环外留白区214所形成的环外固化物323连接在一起，而令所有的光阻膜固化物都固着于基板上，具有不会形成脱离基板的光阻膜固化物的功效。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
综上所述，本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上，完全符合产业发展所需，且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造，具有新颖性、创造性、实用性，符合有关新型专利要件的规定，故依法提起申请。
Claims (1)
1.一种曝光底片的对位靶标图样，其特征在于，是令上、下曝光底片的对位靶标图样，一为环形靶标而另一为圆形靶标，且于该环形靶标至少形成有一贯通环内与环外的断环留白区，借以将该环形靶标的环内留白区与环外留白区连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2009202162306U CN201532522U (zh) | 2009-09-18 | 2009-09-18 | 曝光底片的对位靶标图样 |
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| CN2009202162306U CN201532522U (zh) | 2009-09-18 | 2009-09-18 | 曝光底片的对位靶标图样 |
Publications (1)
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| CN201532522U true CN201532522U (zh) | 2010-07-21 |
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Family Applications (1)
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| CN2009202162306U Expired - Fee Related CN201532522U (zh) | 2009-09-18 | 2009-09-18 | 曝光底片的对位靶标图样 |
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| CN (1) | CN201532522U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102109774A (zh) * | 2011-03-04 | 2011-06-29 | 胜宏科技（惠州）有限公司 | 曝光底片上ccd对位读取点的设计方法 |
| CN106527067A (zh) * | 2016-09-27 | 2017-03-22 | 昆山维嘉益材料科技有限公司 | 一种三明治对位图形转移工艺 |
| CN109195342A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-01-11 | 奥士康精密电路（惠州）有限公司 | 一种防膜碎产生及提高效率的方法 |
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2009
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Granted publication date: 20100721 Termination date: 20180918 |
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