CN201531097U - 高架地板 - Google Patents

Abstract

一种高架地板，其适于装设在无尘室，此高架地板包括多个适于架设于无尘室地面的地板支撑架、一第一支撑板件及一第二支撑板件。其中，第一支撑板件配置于这些地板支撑架上，以与地面距离一预定高度。第二支撑板件则配置于第一支撑板件上，且第二支撑板件的厚度小于第一支撑板件的厚度。

Description

高架地板

技术领域

本实用新型实用新型涉及一种高架地板(raised floor)，尤其涉及一种装设在无尘室的高架地板。

背景技术

随着科技的进步，在高制造质量的需求下，无尘室(clean room)的要求标准越来越高。无尘室更是半导体制造业不可或缺的重要设施，且与产品的质量、可靠性及良率息息相关。

承上所述，目前乱流型侧回风式无尘室的地板多是先在自平水泥地板涂布一层具防水功能的环氧(epoxy)材料层，若有自动行走车(AGV)行走的需求则再于环氧材料层上铺设厚度较厚的铁板，并通过螺丝将铁板螺接于无尘室地面。其中，随着半导体制程越来越精密，半导体设备也随之精密化、自动化而有大型化的趋势，无尘室地板的负荷重量大幅提升。以面板厂的自动行走车为例，大型面板厂之自动行走车重约3.2吨以上，自动行走车在铁板上之运行容易对铁板造成挤压，造成铁板凹陷。因此，面板厂常需更换铁板，以保持无尘室地板的平整度。

然而，在更换铁板时，也需连带地移除涂布于地板的环氧材料层，此移除作业会产生大量粉尘，并会对无尘室造成污染，且此移除作业需较长的施工时间。如此，不仅影响无尘室之作业环境，也影响到无尘室的生产效率。另一方面，由于铁板与环氧材料层有不同的材料特性，铁板与环氧材料层的组装精度不佳，且铁板与环氧材料层的接触面容易有间隙存在，更容易导致无尘室地板在自动行走车运行之后产生平整度不佳的情况。

实用新型内容

本实用新型提供一种高架地板，其有较佳的组装精度。

本实用新型提供一种高架地板，其后续维护时有较佳的扩充性、较低之施工成本及较短之施工时间。

本实用新型提出一种高架地板，其适于装设在无尘室，此高架地板包括多个适于架设于无尘室地面的地板支撑架、一第一支撑板件及一第二支撑板件。其中，第一支撑板件配置于这些地板支撑架上，以与地面距离一预定高度。第二支撑板件则配置于第一支撑板件上，且第二支撑板件的厚度小于第一支撑板件的厚度。

在本实用新型的一实施例中，每一个地板支撑架包括一支撑部与一承载部，支撑部固定于无尘室地面，而第一支撑板件固定于承载部。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括至少一调整垫片，配置于每一个地板支撑架与无尘室地面之间。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括多个第一固定螺栓，螺接于地板支撑架与无尘室地面之间。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括多个第二固定螺栓，螺接于第一支撑板件与第二支撑板件之间。

在本实用新型的一实施例中，高架地板更包括多个第三固定螺栓，螺接于第一支撑板件、第二支撑板件以及地板支撑架之间。

在本实用新型的一实施例中，第一支撑板件的材质为钢。

在本实用新型的一实施例中，第二支撑板件的材质为不锈钢。

基于上述，本实用新型是在地板支撑架上铺设一第一支撑板件以及一厚度小于该第一支撑板件厚度的第二支撑板件。其中，由于第一支撑板件与第二支撑板件的材质相同，因此第一支撑板件与第二支撑板件间有良好的接触关系，进而使得本实用新型的高架地板有较佳的平整性。此外，在进行无尘室地板之后续维护工程时，仅需更换厚度较薄的第二支撑板件。如此，能有效地缩短施工时间，且不易造成大量的粉尘污染。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的高架地板的示意图；

图2为本实用新型另一实施例的高架地板的示意图。

具体实施方式

由于无尘室内之机台有大型化的趋势，因此本实用新型提出一种高架地板，其可提供较高的承载力、稳定性以及后续维护的扩充性以满足无尘室的需求。

图1为本实用新型一实施例的高架地板的示意图。请参考图1，本实施例的高架地板100适于装设在乱流型侧回风式无尘室。高架地板100主要包括多个适于架设于无尘室地面G的地板支撑架110、一第一支撑板件120及一第二支撑板件130。其中，地板支撑架110、第一支撑板件120及第二支撑板件130的材质例如是钢或是其他硬度较高的刚性材质。此外，每一个地板支撑架110例如是由一承载部112与一支撑部114所组成，支撑部114是固定于无尘室地面G，第一支撑板件120则是固定于承载部112，而第二支撑板件130则是配置于第一支撑板件120上。

承上所述，本实用新型例如是先通过多个第一固定螺栓140来将地板支撑架110固定于无尘室地面G。其中，第一固定螺栓140是穿过地板支撑架110的支撑部114，并锁固于无尘室地面G。此外，第一支撑板件120与第二支撑板件130例如是预先通过多个第二固定螺栓150来相互结合。之后，第一支撑板件120与第二支撑板件130之组合再铺设至地板支撑架110上，并藉由多个第三固定螺栓160来固定于支撑架110的承载部112。

在本实施例中，第二支撑板件130的厚度小于第一支撑板件120的厚度。第一支撑板件120例如是厚度为10t的钢板(1t＝1mm)，而第二支撑板件130例如是厚度为2t的不锈钢板。此外，配置于这些地板支撑架110上的第一支撑板件120与地面距离一预定高度H，第一支撑板件120下方的空间可作为机台之布线空间S。预定高度H的高低视无尘室的设计而定，本实用新型在此并不做任何限制。另外，本实用新型在此仅限制第二支撑板件130的厚度小于第一支撑板件120的厚度，至于第一支撑板件120与第二支撑板件130的实际厚度，本实用新型在此也不做任何限制。

值得一提的是，由于第一支撑板件120与第二支撑板件130的材质均为刚性较佳的材质，因此第一支撑板件120与第二支撑板件130间有良好的接触关系，即第一支撑板件120与第二支撑板件130间有良好的组装精度，进而提升高架地板100之承载力及稳定性，使得高架地板100在长时间承载机台或其他重量较重之移动载具后仍有足够的平整度。

另一方面，如无尘室欲进行地板维护作业，以更进一步提升高架地板100的平整度时，维护人员仅需移除厚度较薄的第二支撑板件130，并更换平整度更为良好额另一第二支撑板件130即可。相较于现有技术在每次进行地板维护作业时均需将整个环氧材料层以及铺设于环氧材料层上厚度较厚的铁板移除，而导致大量粉尘，本实用新型的维护作业并不会造成大量的粉尘污染。因此，应用本实用新型高架地板100的无尘室在进行地板维护作业时仍能维持适当的作业环境质量。此外，上述地板维护作业能有效地缩短施工时间，进而提升无尘室的生产效率。

再者，相较于习知技术在每次进行地板维护作业时需将铺设于环氧材料层上的整个铁板移除，本实用新型在进一步提升高架地板100的平整度时，由于维护人员仅需移除厚度较薄的第二支撑板件130，第二支撑板件130之厚度较现有技术的铁板薄，第二支撑板件130的成本即较低廉，因此本实用新型即有较低额施工成本。此外，本实用新型的高架地板也可方便无尘室的地板进行任何扩充作业。

图2为本实用新型另一实施例的高架地板的示意图。请参考图2，本实施例的高架地板200与上述实施例的高架地板100相似，二者差异在于本实施例的高架地板200更包括多个调整垫片210，每一调整垫片210分别配置于所对应的地板支撑架110与无尘室地面G之间。除此之外，并无任何差异。详细地说，高架地板200可通过调整垫片210来调整预定高度H’之大小，以使高架地板200能符合各家厂商的无尘室设计。当然，本实施例的其他优点与上述实施例的优点相同，故在此并不做任何赘述。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许之更动与润饰，因此本实用新型之保护范围当以权利要求所界定的为准。

Claims (8)

1.一种高架地板，适于装设在无尘室，其特征在于，包括：

多个地板支撑架，适于架设于无尘室地面；

一第一支撑板件，配置于该些地板支撑架上，以与地面距离一预定高度；以及

一第二支撑板件，配置于该第一支撑板件上，其中该第二支撑板件的厚度小于该第一支撑板件的厚度。

2.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，其中各该地板支撑架包括一支撑部与一承载部，该支撑部固定于无尘室地面，而该第一支撑板件固定于各该承载部。

3.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括至少一调整垫片，配置于各该地板支撑架与无尘室地面之间。

4.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括多个第一固定螺栓，螺接于该地板支撑架与无尘室地面之间。

5.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括多个第二固定螺栓，螺接于该第一支撑板件与该第二支撑板件之间。

6.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，更包括多个第三固定螺栓，螺接于该第一支撑板件、该第二支撑板件以及该地板支撑架之间。

7.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，其中第一支撑板件的材质为钢。

8.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，其中第二支撑板件的材质为不锈钢。

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