CN201491393U - 一种应用于等离子体的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于等离子体的装置，它由内腔相互隔离的第一瓶柜和第二瓶柜组成，其中第一瓶柜顶部设有带控制阀的抽气管，且第一瓶柜与第二瓶柜柜体底部上分别设有固定件。本实用新型的优点是：可以防止气瓶因滑动、倾倒产生的碰撞，并能有效的将氢气和氧气隔离，且抽气管可以将柜体内气瓶泄漏出的氢气抽出，避免了可能的事故。

Description

一种应用于等离子体的装置

技术领域

本实用新型涉及一种应用于等离子体的装置。

背景技术

随着电子产品轻薄短小化的发展，印制线路板必然向HDI高密度积层印制板方向发展，层数越来越高，线宽间距越来越小，孔径越来越微小化，新材料(如高Tg、Teflon和陶瓷基等)的应用越来越广泛。传统工艺出现了技术瓶颈：线宽间距越来越小，显影后易产生余胶(夹膜)，从而导致开路或短路缺陷；孔径越来越小，传统湿法(高锰酸钾化学工艺处理)处理钻孔后的孔壁钻污不再有效；传统表面粗化方法难以对一些新材料如PTFE，进行表面粗化、润湿，影响结合力。

等离子体工艺为以上问题提供了有效的解决方案。等离子体指电离的气体，是由离子、电子、自由基、游离基团和紫外线辐射粒子组成的集合，整体上呈电中性，是一种带电粒子组成的电离状态。等离子体有着特有的穿透性能和精确的工艺控制能力，能进行多种表面处理，包括表面活化、沾污的去除、横向耦合和蚀刻，在印制板生产中有着广泛的应用。

目前等离子体主要应用于去除孔壁钻污，薄膜表面处理(清洗、粗化)，清除铜面或导体间残余光致抗蚀膜与有机污染物，层压前微粗化树脂面，涂覆阻焊剂前的清洗印制板外层表面，清洗阻焊剂表面，提高后续印刷的标记文字表面附着力，HDI高密度积层印制板中微小互连孔或盲孔的蚀刻等。

等离子体应用于印制线路板的清洗蚀刻的反应气体主要有N₂，Ar，He，O₂，CF₄，H₂等。众所周知，H₂是一种可燃性气体，燃烧时会放出大量的热量，空气里如果混入氢气的体积达到总体积的4％～74.2％，遇火时就会发生爆炸。因此，当H₂和O₂发生泄漏时，一旦遇上火源、火星，则会发生爆炸。并且，气体瓶的形状结构导致其被轻微碰撞就极易倾倒，从而发生砸伤人员、设备或者气体泄漏或爆炸等安全事故。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种可以安全使用等离子气体的应用于等离子体的装置。

本实用新型的技术解决方案是：一种应用于等离子体的装置，它由内腔相互隔离的第一瓶柜和第二瓶柜组成，其中第一瓶柜顶部设有带控制阀的抽气管，且第一瓶柜与第二瓶柜柜体底部上分别设有固定件。

第一瓶柜和第二瓶柜内腔之间隔离，可以将氢气和氧气分开存放，且抽气管可以将柜体内气瓶泄露出的氢气抽出，避免了可能的事故，同时，柜体底部上设置的固定件可以将柜内的气瓶固定位，防止其意外滚动，避免出现碰撞引起火花或泄漏。

所述固定件为中空圆筒形，可以套设在气瓶外，配合紧密，固定效果好。

所述固定部由固设在柜体底面上的固定部和铰接在固定部上的活动部组成，其中固定部和活动部的水平截面分别为半圆形，固定件由相互铰接的两个半圆结合而成，方便取放气瓶，减少意外发生。

所述第一瓶柜的顶面与背面之间的夹角为60-70度，顶部倾斜，有利于密度较轻的气体通过抽气管排出，保证排气效果。

所述第一瓶柜和第二瓶柜分别设有柜门，保护内部存放的气瓶，提高安全性。

所述第二瓶柜内设有平行的间隔挡杆，在第二瓶柜内存放多瓶气体时，可以起到间隔的作用，避免瓶体之间的碰撞。

本实用新型的优点是：可以防止气瓶因滑动、倾倒产生的碰撞，并能有效的将氢气和氧气隔离，且抽气管可以将柜体内气瓶泄露出的氢气抽出，避免了可能的事故。

附图说明

附图1为本实用新型实施例的结构示意图；

附图2为本实用新型实施例中第一瓶柜的主视图；

附图3为本实用新型实施例中第一瓶柜的侧视图；

附图4为本实用新型实施例中固定部的结构示意图；

1、第一瓶柜，2、第二瓶柜，3、抽气管，4、控制阀，5、柜门，6、柜门，7、固定件，8、间隔挡杆，9、顶面，10、背面，11、固定部，12、活动部。

具体实施方式

实施例：

参阅图1-4，一种应用于等离子体的装置，它由内腔相互隔离的第一瓶柜1和第二瓶柜2组成，其中第一瓶柜1顶部设有带控制阀4的抽气管3，其底部设有固定件7，第二瓶柜2底部设有5个固定件，可以存放五个气瓶，相邻气瓶之间通过平行的间隔挡杆8隔开。第一瓶柜1和第二瓶柜2分别设有柜门5和柜门6。

参阅图2和3，所述第一瓶柜1的顶面9与背面10之间的夹角a为60-70度，第一瓶柜1的顶部倾斜，有利于密度较轻的气体通过抽气管排出，保证排气效果。

参阅图4，固定件7为中空圆筒形，由固设在柜体底面上的固定部11和铰接在固定部11上的活动部12组成，其中固定部11和活动部12的水平截面分别为半圆形，固定件由相互铰接的两个半圆结合而成，方便取放气瓶，减少意外发生。固定件的直径取值的范围为d+5cm，其中d为气瓶的直径。

第一瓶柜1和第二瓶柜2内腔之间隔离，可以将氢气和氧气分开存放，且抽气管可以将柜体内气瓶泄露出的氢气抽出，避免了可能的事故，同时，柜体底部上设置的固定件可以将柜内的气瓶固定住，防止其意外滚动，避免出现碰撞引起火花或泄漏。

本实施例中，第一瓶柜内存放氢气瓶，第二瓶柜内存放氮气瓶、氩气瓶、氦气瓶、四氟化碳瓶和氧气瓶。为了方便操作，第一瓶柜高度是h+8cm，其中h是氢气瓶高度。考虑到第二瓶柜内气瓶较多，为方便操作，间隔挡杆的高度为0.6h-0.75h，其中h为气瓶高度。

第一瓶柜上设置的抽气管选用机械强度高、耐腐蚀、耐磨且具有阻燃性能的材料制作，如PVC材料。抽气管上的控制阀可以直接与等离子体处理设备电控关联，或者通过单设PLC控制器连接等离子体处理设备，这样在等离子处理设备启动时，自动打开控制阀，开始抽气，当等离子体处理设备关闭后，同时或者延时关闭控制阀。

上列详细说明是针对本实用新型之一可行实施例的具体说明，该实施例并非用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型所为的等效实施或变更，均应包含于本案的专利范围中。

Claims (6)

1.一种应用于等离子体的装置，其特征在于：它由内腔相互隔离的第一瓶柜和第二瓶柜组成，其中第一瓶柜顶部设有带控制阀的抽气管，且第一瓶柜与第二瓶柜柜体底部上分别设有固定件。

2.根据权利要求1所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述固定件为中空圆筒形。

3.根据权利要求2所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述固定部由固设在柜体底面上的固定部和铰接在固定部上的活动部组成，其中固定部和活动部的水平截面分别为半圆形。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述第一瓶柜的顶面与背面之间的夹角为60-70度。

5.根据权利要求4所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述第一瓶柜和第二瓶柜分别设有柜门。

6.根据权利要求4所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述第二瓶柜内设有平行的间隔挡杆。

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