CN201455812U - 简易式研磨液供应系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种简易式研磨液供应系统，包括泵和过滤器，通过导液管相连，所述泵的出口和所述过滤器的入口相连，供应桶，通过导液管和所述过滤器的出口以及所述泵的入口相连，机台，和所述过滤器的出口相连，本实用新型结构简单、方便使用。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体工艺中的装置，尤其涉及一种简易式研磨液供应系统。
背景技术
IC制造工艺中平坦化技术已成为与光刻和刻蚀同等重要且相互依赖的不可缺少的关键技术之一。而化学机械抛光(CMP)工艺便是目前最有效、最成熟的平坦化技术。化学机械抛光系统是集清洗、干燥、在线检测、终点检测等技术于一体的化学机械平坦化技术。CMP清洗的重点是去除研磨过程中带来的所有污染物。研磨过程中晶圆会接触到腐蚀性化学品并承受较大的外界压力，导致其表面或次表面区域发生变形或破坏，将影响到器件的稳定性，所以CMP清洗的主要目的是去除研磨剂残留、金属污染物以及游离态离子，去除硅片表面的污染物，首先要通过机械方法克服范德华力或者用化学腐蚀污染物表面以减小污染物与基底的接触，然后通过改变表面电荷性能以避免颗粒重新粘附到硅片表面。
研磨液是化学机械研磨工艺中一项关键的消耗品，在芯片化学机械研磨过程中起着重要的作用，为了满足化学机械研磨工艺中不同制程的需要，越来越多的研磨液被开发并投入使用，而每种研磨液的物理化学性质个个不同，因此，如何运输和储藏，特别是供应这些研磨液也就格外重要，为了适应化学机械研磨制程的需要，同一个化学机械研磨机台可能需要几种不同的研磨液，因此出现了各式各样的研磨液供应系统，为了评估新的种类的研磨液，或者是为了评估新的产品和新的制程，研磨液只需要简易的供应装置来供应即可，即在评估阶段，无需采用结构复杂，功能齐全的研磨液供应系统，因为完整的研磨液供应系统结构复杂，占用空间大，接头拐点多，有可能破坏研磨液的一些特性。
实用新型内容
为了解决以上所提到的研磨液系统过于复杂而使用不方便的问题，本实用新型提供一种结构简单、使用方便的研磨液供应系统。
为了达到上述目的，本实用新型提出一种简易式研磨液供应系统，包括：泵和过滤器，通过导液管相连，所述泵的出口和所述过滤器的入口相连；供应桶，通过导液管和所述过滤器的出口以及所述泵的入口相连；机台，和所述过滤器的出口相连。
可选的，所述泵和所述过滤器固定于一箱体内。
可选的，所述箱体材料为非金属。
可选的，在连接所述过滤器和所述供应桶的导液管上，还装有一流量调节阀，所述流量调节阀用于控制研磨液流入所述机台的压力的大小。
可选的，所述供应桶放置于一水盘上。
可选的，所述水盘放置于一测重仪上。
本实用新型简易式研磨液供应系统的有益效果为：本系统所包含的装置少，相互之间的连接关系也比较简单，整个系统拆卸方便，占用空间小，另外由于简易式供应系统总体管路短，接头拐点少，不容易破坏研磨液的特性，因此，保证了研磨液测试的可靠性。
附图说明
图1是本实用新型简易式研磨液供应系统的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式对本实用新型简易式研磨液供应系统作进一步的详细说明。
请参考图1，图1是本实用新型简易式研磨液供应系统的结构示意图，从图上可以看出，该简易式研磨液供应系统，包括：泵13和过滤器14，所述泵13的出口和所述过滤器14的入口通过导液管22相连；供应桶12，通过导液管22和所述过滤器14的出口以及所述泵13的入口相连，通过泵13可以从供应桶12中抽取研磨液，由于所述泵13的出口连着所述过滤器14，因此所述泵13从供应桶12抽取出的研磨液就直接进入所述过滤器14中进行过滤；机台15，和所述过滤器14的出口相连，经过过滤器14过滤后的研磨液便进入机台15，做试验或者测试，用于评估新的种类的研磨液的属性或者评估新的产品或新的制程。另外，所述泵13和所述过滤器14固定于一箱体18内，所述箱体18材料为非金属，这样设计是为了便于放置所述泵13和所述过滤器14，不会显得过于凌乱，而且也起到了保护泵13和过滤器14的作用，使用非金属，为的是使得整个箱体18的重量减轻，便于搬运。
在连接所述过滤器14出口和所述供应桶12的导液管22上，还装有一流量调节阀16，所述流量调节阀16用于控制研磨液流入所述机台15的压力的大小，所述供应桶12放置于一水盘11上，所述水盘11向所述供应桶12供应水，另外所述水盘11放置于一测重仪17上，所述测重仪17用于测量研磨液和水的重量，这样便于确定研磨液和水的混合比例，一般是先测定研磨液的重量，然后根据之前设定好的混合比例，计算出所需要水的重量，然后在测重仪17上测出，和研磨液混合。
实际使用时，先在供应桶12中放置研磨液，用测重仪17称其重量，然后设定研磨液和水的混合比例，比如设定为1∶4，1份的研磨液配4份的水，这里的比例为液体质量比，设定好后从水盘11中往供应桶12中添加4倍于研磨液的水，待混合均匀后，开动泵13，从供应桶12中抽取调好的研磨液，将研磨液抽取至过滤器14中过滤，过滤器14的出口连着机台15，直接将过滤后的研磨液送往机台15做试验或测试，在导液管22上放置有一个流量调节阀16，用于调节送往机台15的研磨液的供应的压力的大小，若是要减小供应的压力，则将流量调节阀16开大些，将更多的研磨液回流入供应桶12中，若是要增加供应的压力，则将流量调节阀16开小些，减少研磨液回流供应桶12，这样便达到了控制研磨液供应压力的大小的目的。回流入供应桶12的研磨液和原先的研磨液混合在一起，再次的被泵13抽取，实现一个循环。
本实用新型简易式研磨液供应系统相比于原先的研磨液供应系统占用空间小，拆卸方便，而且，总体管路短，接头拐点少，不容易破坏研磨液的特性。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
Claims (6)
1.一种简易式研磨液供应系统，其特征在于包括：
泵和过滤器，通过导液管相连，所述泵的出口和所述过滤器的入口相连；
供应桶，分别通过导液管和所述过滤器的出口以及所述泵的入口相连；
机台，和所述过滤器的出口相连。
2.根据权利要求1所述的一种简易式研磨液供应系统，其特征在于所述泵和所述过滤器固定于一箱体内。
3.根据权利要求2所述的一种简易式研磨液供应系统，其特征在于所述箱体材料为非金属。
4.根据权利要求1所述的一种简易式研磨液供应系统，其特征在于在连接所述过滤器的出口和所述供应桶的导液管上，还装有一流量调节阀，所述流量调节阀用于控制研磨液流入所述机台的压力的大小。
5.根据权利要求1所述的一种简易式研磨液供应系统，其特征在于所述供应桶放置于一水盘上。
6.根据权利要求5所述的一种简易式研磨液供应系统，其特征在于所述水盘放置于一测重仪上。
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