CN111420919A - 一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法，该装置包括研磨液柜体；研磨液进液控制阀组件，所述的研磨液进液控制阀组件进口输入研磨液，出口连接于研磨液柜体的接口；超纯水进液控制阀组件，所述的超纯水进液控制阀组件进口输入超纯水，其出口连接于研磨液柜体的接口；喷雾清洗部件，所述的喷雾清洗部件包括：喷雾头、高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀，所述的喷雾头设置于研磨液柜体顶部内侧，所述的高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀并联后连接于喷雾头；出液控制阀，其进口连接研磨液柜体的出口。本发明能够减小研磨液柜体清洗时间，并提高清洁效果，并可以节约超纯水的使用量，有利于节省运营成本。
Description
技术领域
本发明涉及半导体清洗领域，特别涉及一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法。
背景技术
传统的研磨液柜体的清洗工作中，打开连接研磨液柜体的超纯水控制阀，当柜体中的超纯水达到一定高度后，开启搅拌器，利用扰流清洗，需要一定时间后才能排液，清洗过程漫长，效果差。
发明内容
本发明的目的是提供一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法，减小研磨液柜体清洗时间，并提高清洁效果，并可以节约超纯水的使用量，有利于节省运营成本。
为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的：
一种研磨液喷雾清洗装置，其特点是，包括：
研磨液柜体；
研磨液进液控制阀组件，所述的研磨液进液控制阀组件进口输入研磨液，出口连接于研磨液柜体的接口；
超纯水进液控制阀组件，所述的超纯水进液控制阀组件进口输入超纯水，其出口连接于研磨液柜体的接口；
喷雾清洗部件，所述的喷雾清洗部件包括：喷雾头、高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀，所述的喷雾头设置于研磨液柜体顶部内侧，所述的高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀并联后连接于喷雾头；
出液控制阀，其进口连接研磨液柜体的出口。
所述的研磨液进液控制阀组件包括一对相互并联连接的研磨液控制阀，一对所述的研磨液控制阀并联后连接于研磨液柜体的接口，且两个研磨液控制阀互为备用。
所述的超纯水进液控制阀组件包括一对相互并联连接的第二超纯水控制阀，一对所述的第二超纯水控制阀并联后连接于研磨液柜体的接口，且两个第二超纯水控制阀互为备用。
所述的研磨液柜体顶部设有一盖板，所述的喷雾头设置于盖板的内侧。
该研磨液喷雾清洗装置还包括一搅拌器，其垂直设置于盖板上，用于搅拌研磨液柜体中的液体。
所述的研磨液柜体采用HDPE材质制成。
所述的研磨液控制阀和高纯氮气控制阀均为气动隔膜阀，并采用PFA材质。
所述的第一超纯水控制阀和第二超纯水控制阀均为气动隔膜阀，并采用PFA材质。
所述的研磨液柜体设置于磅秤上。
一种采用上述的研磨液喷雾清洗装置的清洗方法，其特点是，该方法包括：
步骤S1，打开高纯氮气控制阀，使得高纯氮气进入喷雾头，对研磨液柜体内壁或搅拌器进行吹扫，清除掉研磨液柜体内壁上的残渣；
步骤S2，打开第一超纯水控制阀，使得超纯水进入喷雾头，对研磨液柜体内壁或搅拌器进行清洗，并将残渣排出；
步骤S3，交替循环步骤S1～S2，直至完成研磨液柜体内壁上残渣的清洗作业。
本发明与现有技术相比，具有以下优点：
1、本发明可以减小研磨液柜体清洗时间，并提高清洁效果，并可以节约超纯水的使用量，有利于节省运营成本。
2、本发明能够在清洗的同时排液，节约70％时间，并且在压力气体下，清洁效果显著提高。
附图说明
图1为本发明一种研磨液喷雾清洗装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。
如图1所示，一种研磨液喷雾清洗装置，包括：研磨液柜体1；研磨液进液控制阀组件，所述的研磨液进液控制阀组件进口输入研磨液，出口通过管道连接于研磨液柜体的接口；超纯水进液控制阀组件，所述的超纯水进液控制阀组件进口输入超纯水，其出口通过管道连接于研磨液柜体1的接口；喷雾清洗部件，所述的喷雾清洗部件包括：喷雾头41、高纯氮气控制阀42和第一超纯水控制阀43，所述的喷雾头41设置于研磨液柜体1顶部内侧，所述的高纯氮气控制阀42和第一超纯水控制阀43并联后通过管道连接于喷雾头41；出液控制阀5，其进口通过管道连接研磨液柜体1的出口，喷雾头材料为SS316LEP材质。
在具体实施例中，所述的研磨液进液控制阀组件包括一对相互并联连接的研磨液控制阀21，一对所述的研磨液控制阀21并联后连接于研磨液柜体1的接口，且两个研磨液控制阀21互为备用。
所述的超纯水进液控制阀组件包括一对相互并联连接的第二超纯水控制阀31，一对所述的第二超纯水控制阀31并联后连接于研磨液柜体的接口，且两个第二超纯水控制阀互为备用。
所述的研磨液柜体1顶部设有一盖板11，所述的喷雾头41设置于盖板11的内侧。
进一步的，该装置还包括一搅拌器6，其垂直设置于盖板11上，用于搅拌研磨液柜体1中的液体，需要说明的是，该搅拌器6为电动搅拌器，可以通过线路与中控相连。
所述的研磨液柜体1采用HDPE材质制成。
所述的研磨液控制阀21、高纯氮气控制阀42和出液控制阀5均为气动隔膜阀，并采用PFA材质，可以通过线路与中控相连。
所述的第一超纯水控制阀43和第二超纯水控制阀31均为气动隔膜阀，并采用PFA材质，可以通过线路与中控相连。
所述的研磨液柜体1设置于磅秤7上。
研磨液从其中一个研磨液控制阀21进入到研磨液柜体1中，超纯水从其中一个第二超纯水控制阀31进入到研磨液柜体1中，经过搅拌器6搅拌混合后，最终通过出液控制阀5输出。根据研磨液的性质，在研磨液柜体1的内壁及搅拌器上滞留残渣。
本发明还提供了一种采用上述的研磨液喷雾清洗装置的清洗方法，用于处理上述的残渣，该方法包括：
步骤S1，打开高纯氮气控制阀42，使得高纯氮气进入喷雾头41，喷雾头360°全方位喷雾，对研磨液柜体1内壁或搅拌器进行吹扫，清除掉研磨液柜体内壁上的残渣；
步骤S2，打开第一超纯水控制阀43，使得超纯水进入喷雾头41，喷雾头360°全方位喷雾，对研磨液柜体1内壁或搅拌器进行清洗，并将残渣排出；
步骤S3，交替循环步骤S1～S2，直至完成研磨液柜体内壁上残渣的清洗作业。
综上所述，本发明一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法，减小研磨液柜体清洗时间，并提高清洁效果，并可以节约超纯水的使用量，有利于节省运营成本。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
Claims (10)
1.一种研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，包括：
研磨液柜体；
研磨液进液控制阀组件，所述的研磨液进液控制阀组件进口输入研磨液，出口连接于研磨液柜体的接口；
超纯水进液控制阀组件，所述的超纯水进液控制阀组件进口输入超纯水，其出口连接于研磨液柜体的接口；
喷雾清洗部件，所述的喷雾清洗部件包括：喷雾头、高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀，所述的喷雾头设置于研磨液柜体顶部内侧，所述的高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀并联后连接于喷雾头；
出液控制阀，其进口连接研磨液柜体的出口。
2.如权利要求1所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，所述的研磨液进液控制阀组件包括一对相互并联连接的研磨液控制阀，一对所述的研磨液控制阀并联后连接于研磨液柜体的接口，且两个研磨液控制阀互为备用。
3.如权利要求1所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，所述的超纯水进液控制阀组件包括一对相互并联连接的第二超纯水控制阀，一对所述的第二超纯水控制阀并联后连接于研磨液柜体的接口，且两个第二超纯水控制阀互为备用。
4.如权利要求1所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，所述的研磨液柜体顶部设有一盖板，所述的喷雾头设置于盖板的内侧。
5.如权利要求4所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，还包括一搅拌器，其垂直设置于盖板上，用于搅拌研磨液柜体中的液体。
6.如权利要求1所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，所述的研磨液柜体采用HDPE材质制成。
7.如权利要求2所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，所述的研磨液控制阀和高纯氮气控制阀均为气动隔膜阀，并采用PFA材质。
8.如权利要求3所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，所述的第一超纯水控制阀和第二超纯水控制阀均为气动隔膜阀，并采用PFA材质。
9.如权利要求1所述的研磨液喷雾清洗装置，其特征在于，所述的研磨液柜体设置于磅秤上。
10.一种采用如权利要求1所述的研磨液喷雾清洗装置的清洗方法，其特征在于，该方法包括：
步骤S1，打开高纯氮气控制阀，使得高纯氮气进入喷雾头，对研磨液柜体内壁或搅拌器进行吹扫，清除掉研磨液柜体内壁上的残渣；
步骤S2，打开第一超纯水控制阀，使得超纯水进入喷雾头，对研磨液柜体内壁或搅拌器进行清洗，并将残渣排出；
步骤S3，交替循环步骤S1～S2，直至完成研磨液柜体内壁上残渣的清洗作业。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010383006.7A CN111420919A (zh) | 2020-05-08 | 2020-05-08 | 一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法 |
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Publications (1)
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| CN111420919A true CN111420919A (zh) | 2020-07-17 |
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| CN202010383006.7A Pending CN111420919A (zh) | 2020-05-08 | 2020-05-08 | 一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN111420919A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112122200A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-12-25 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体及清洁方法 |
| TWI832523B (zh) * | 2022-07-30 | 2024-02-11 | 大陸商西安奕斯偉材料科技股份有限公司 | 一種線切割機的晶棒固定裝置 |
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2020
- 2020-05-08 CN CN202010383006.7A patent/CN111420919A/zh active Pending
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