CN212396595U - 一种铜腐蚀液用生产线 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种铜腐蚀液用生产线，所述铜腐蚀液用生产线包含配制罐（1）、乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）、表面活性剂储罐（5）、真空泵（6）、单向阀（7）、三通（8）、压缩空气水洗装置（9）、滤芯（10）、检验装置（11）和三通阀（12）；所述配制罐（1）顶部设有四个进料口和一个出气口，四个进料口分别与乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）和表面活性剂储罐（5）通过管道相连，出气口与真空泵（6）相连。本实用新型生产的铜腐蚀液不腐蚀铝、镓等金属层及硅片、铜腐蚀速率平稳可控、生产成本低。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种铜腐蚀液用生产线，属于半导体制造工艺中铜刻蚀工艺技术领域。
背景技术
在半导体制造加工的湿电子腐蚀过程中，硅片表面会有铜、铝、镓等金属层，传统铜腐蚀液除了腐蚀铜金属层外，对其他金属层以及硅片均有不同程度的腐蚀，腐蚀速率快慢不均匀，而且由于传统铜腐蚀液成分复杂，现有铜腐蚀液生产线的生产成本均居高不下。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种一种不腐蚀铝、镓等金属层及硅片、铜腐蚀速率平稳可控、生产成本低的铜腐蚀液用生产线。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种铜腐蚀液用生产线，所述铜腐蚀液用生产线包含配制罐、乙酸储罐、硝酸储罐、磷酸储罐、表面活性剂储罐、真空泵、单向阀、三通、压缩空气水洗装置、滤芯、检验装置和三通阀；所述配制罐顶部设有四个进料口和一个出气口，四个进料口分别与乙酸储罐、硝酸储罐、磷酸储罐和表面活性剂储罐通过管道相连，出气口与真空泵相连；所述三通分别与配制罐底部出料口、压缩空气水洗装置的出气口和滤芯的进料口通过管道相连，在三通和配制罐底部出料口相连的管路上设有单向阀；所述滤芯的出料口与三通阀的进料端相连，在滤芯与三通阀相连的管路上设有检验装置；所述三通阀的换向端与滤芯的进料口相连，三通阀的出料端与成品储存罐或成品分装系统相连；
所述配制罐上设有搅拌机构、液位计和温度控制装置；所述搅拌机构包含搅拌电机和搅拌桨叶；所述搅拌电机设置在配制罐顶部，搅拌桨叶设置在配制罐底部，搅拌电机和搅拌桨叶通过轴相连接；所述液位计设置在配制罐罐体外侧，液位计的两端与配制罐内部连通；所述温度控制装置包含半导体制冷片、温度计和温度控制器；所述半导体制冷片安装在配制罐的底部壳体上，半导体制冷片的制冷端设置在配制罐内部，半导体制冷片的制热端设置在配制罐外面；所述温度计设置在配制罐底部；所述半导体制冷片和温度计通过导线与温度控制器相连。
所述压缩空气水洗装置内部设有水、进气管和出气管；所述进气管的出气口设置在水面下，出气管的进气口设置在水面上。
所述铜腐蚀液用生产线的生产步骤为：
步骤1：抽真空：启动真空泵，确保配制罐内部为真空环境；
步骤2：加乙酸：将定量乙酸通过乙酸储罐通入内部真空的配制罐，温度控制装置控制溶液温度在10-30摄氏度；
步骤3：加硝酸：将定量硝酸通过硝酸储罐通入内部真空的配制罐，温度控制装置控制溶液温度在10-30摄氏度；
步骤4：加磷酸：将定量磷酸通过磷酸储罐通入内部真空的配制罐，温度控制装置控制溶液温度在10-30摄氏度，同时启动搅拌机构，搅拌桨叶将溶液混合均匀，搅拌时间一小时；
步骤5：加表面活性剂：将定量表面活性剂通过表面活性剂储罐通入内部真空的配制罐，温度控制装置控制溶液温度在10-30摄氏度，搅拌桨叶将溶液混合均匀；
步骤6：通压缩空气：将压缩空气通入压缩空气水洗装置进行净化，经水洗净化后的压缩空气通入三通管道；
步骤7：过滤：从配制罐出料口出来的物料经过单向阀后进入三通，物料在压缩空气的压力下进入滤芯过滤颗粒物；物料通过滤芯的流速小于1升/分钟；
步骤8：检验：经过滤后的物料进入检验装置进行检验，若检验合格，则物料通过三通阀的出料口进入成品储存罐；若颗粒物指标检验不合格，则三通阀动作，将不合格物料通过三通阀的换向口再次通入滤芯过滤，然后再进入检验装置进行检验；
步骤9：分装：经检验装置检验合格的物料通过三通阀的出料口进入成品储存罐进行储存或进入成品分装系统分装储存。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型生产的铜腐蚀液不腐蚀铝、镓等金属层及硅片、铜腐蚀速率平稳可控、生产成本低。
附图说明
图1为本实用新型一种铜腐蚀液用生产线的生产工艺流程图。
图2为本实用新型一种铜腐蚀液用生产线的设备布置示意图。
图3为本实用新型一种铜腐蚀液用生产线的配制罐结构示意图。
其中：
配制罐1、乙酸储罐2、硝酸储罐3、磷酸储罐4、表面活性剂储罐5、真空泵6、单向阀7、三通8、压缩空气水洗装置9、滤芯10、检验装置11、三通阀12、成品储存罐13；
搅拌机构1.1、液位计1.2、温度控制装置1.3、搅拌电机1.1.1、搅拌桨叶1.1.2、半导体制冷片1.3.1、温度计1.3.2、温度控制器1.3.3；
水9.1、进气管9.2、出气管9.3。
具体实施方式
参见图1~3，本实用新型涉及的一种铜腐蚀液用生产线，所述铜腐蚀液用生产线包含配制罐1、乙酸储罐2、硝酸储罐3、磷酸储罐4、表面活性剂储罐5、真空泵6、单向阀7、三通8、压缩空气水洗装置9、滤芯10、检验装置11和三通阀12；所述配制罐1顶部设有四个进料口和一个出气口，四个进料口分别与乙酸储罐2、硝酸储罐3、磷酸储罐4和表面活性剂储罐5通过管道相连，出气口与真空泵6相连；所述三通8分别与配制罐1底部出料口、压缩空气水洗装置9的出气口和滤芯10的进料口通过管道相连，在三通8和配制罐1底部出料口相连的管路上设有单向阀7；所述滤芯10的出料口与三通阀12的进料端相连，在滤芯10与三通阀12相连的管路上设有检验装置11；所述三通阀12的换向端与滤芯10的进料口相连，三通阀12的出料端与成品储存罐13或成品分装系统相连；
所述配制罐1上设有搅拌机构1.1、液位计1.2和温度控制装置1.3；所述搅拌机构1.1包含搅拌电机1.1.1和搅拌桨叶1.1.2；所述搅拌电机1.1.1设置在配制罐1顶部，搅拌桨叶1.1.2设置在配制罐1底部，搅拌电机1.1.1和搅拌桨叶1.1.2通过轴相连接；所述液位计1.2设置在配制罐1罐体外侧，液位计1.2的两端与配制罐1内部连通；所述温度控制装置1.3包含半导体制冷片1.3.1、温度计1.3.2和温度控制器1.3.3；所述半导体制冷片1.3.1安装在配制罐1的底部壳体上，半导体制冷片1.3.1的制冷端设置在配制罐1内部，半导体制冷片1.3.1的制热端设置在配制罐1外面；所述温度计1.3.2设置在配制罐1底部；所述半导体制冷片1.3.1和温度计1.3.2通过导线与温度控制器1.3.3相连。
所述压缩空气水洗装置9内部设有水9.1、进气管9.2和出气管9.3；所述进气管9.2的出气口设置在水面下，出气管9.3的进气口设置在水面上。
所述铜腐蚀液用生产线的生产步骤为：
步骤1：抽真空：启动真空泵6，确保配制罐1内部为真空环境；
步骤2：加乙酸：将定量乙酸通过乙酸储罐2通入内部真空的配制罐1，温度控制装置1.3控制溶液温度在10-30摄氏度；
步骤3：加硝酸：将定量硝酸通过硝酸储罐3通入内部真空的配制罐1，温度控制装置1.3控制溶液温度在10-30摄氏度；
步骤4：加磷酸：将定量磷酸通过磷酸储罐4通入内部真空的配制罐1，温度控制装置1.3控制溶液温度在10-30摄氏度，同时启动搅拌机构1.1，搅拌桨叶1.1.2将溶液混合均匀，搅拌时间一小时；
步骤5：加表面活性剂：将定量表面活性剂通过表面活性剂储罐5通入内部真空的配制罐1，温度控制装置1.3控制溶液温度在10-30摄氏度，搅拌桨叶1.1.2将溶液混合均匀；
步骤6：通压缩空气：将压缩空气通入压缩空气水洗装置9进行净化，经水洗净化后的压缩空气通入三通8管道；
步骤7：过滤：从配制罐1出料口出来的物料经过单向阀7后进入三通8，物料在压缩空气的压力下进入滤芯10过滤颗粒物；物料通过滤芯10的流速小于1升/分钟；
步骤8：检验：经过滤后的物料进入检验装置11进行检验，若检验合格，则物料通过三通阀12的出料口进入成品储存罐13；若颗粒物指标检验不合格，则三通阀12动作，将不合格物料通过三通阀12的换向口再次通入滤芯10过滤，然后再进入检验装置11进行检验；
步骤9：分装：经检验装置11检验合格的物料通过三通阀12的出料口进入成品储存罐13或成品分装系统进行分装储存。
另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种铜腐蚀液用生产线，其特征在于：所述铜腐蚀液用生产线包含配制罐（1）、乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）、表面活性剂储罐（5）、真空泵（6）、单向阀（7）、三通（8）、压缩空气水洗装置（9）、滤芯（10）、检验装置（11）和三通阀（12）；所述配制罐（1）顶部设有四个进料口和一个出气口，四个进料口分别与乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）和表面活性剂储罐（5）通过管道相连，出气口与真空泵（6）相连；所述三通（8）分别与配制罐（1）底部出料口、压缩空气水洗装置（9）的出气口和滤芯（10）的进料口通过管道相连，在三通（8）和配制罐（1）底部出料口相连的管路上设有单向阀（7）；所述滤芯（10）的出料口与三通阀（12）的进料端相连，在滤芯（10）与三通阀（12）相连的管路上设有检验装置（11）；所述三通阀（12）的换向端与滤芯（10）的进料口相连。
2.根据权利要求1所述的铜腐蚀液用生产线，其特征在于：所述配制罐（1）上设有搅拌机构（1.1）、液位计（1.2）和温度控制装置（1.3）；
所述搅拌机构（1.1）包含搅拌电机（1.1.1）和搅拌桨叶（1.1.2）；所述搅拌电机（1.1.1）设置在配制罐（1）顶部，搅拌桨叶（1.1.2）设置在配制罐（1）底部，搅拌电机（1.1.1）和搅拌桨叶（1.1.2）通过轴相连接；
所述液位计（1.2）设置在配制罐（1）罐体外侧，液位计（1.2）的两端与配制罐（1）内部连通；
所述温度控制装置（1.3）包含半导体制冷片（1.3.1）、温度计（1.3.2）和温度控制器（1.3.3）；所述半导体制冷片（1.3.1）安装在配制罐（1）的底部壳体上，半导体制冷片（1.3.1）的制冷端设置在配制罐（1）内部，半导体制冷片（1.3.1）的制热端设置在配制罐（1）外面；所述温度计（1.3.2）设置在配制罐（1）底部；所述半导体制冷片（1.3.1）和温度计（1.3.2）通过导线与温度控制器（1.3.3）相连。
3.根据权利要求1所述的铜腐蚀液用生产线，其特征在于：所述压缩空气水洗装置（9）内部设有水（9.1）、进气管（9.2）和出气管（9.3）；所述进气管（9.2）的出气口设置在水面下，出气管（9.3）的进气口设置在水面上。
4.根据权利要求1所述的铜腐蚀液用生产线，其特征在于：所述三通阀（12）的出料端与成品储存罐（13）或成品分装系统相连。
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