CN201442994U - 一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，包括板体与板体上部的通气孔，所述板体为一夹层结构，且该板体下部为实心，上部为网络状结构，所述通气孔与所述网络状结构相通。本实用新型提出的多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板不仅能够有效改良多晶硅生长中温度的梯度，从而减少晶锭中微晶的含量，而且能够有效防止生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板。
背景技术
在多晶硅的生长过程中，由于多晶硅铸锭炉热场的不稳定，会在晶体内部产生微晶，造成晶锭的良品率大大降低。由于晶体的生长方向是由下向上的，因此在多晶硅铸锭炉热场没改变的情况下，温度的梯度对微晶的产生有着一定的影响。
中国专利授权公告号为CN201183850Y，授权公告日为2009年1月21日的实用新型专利公开了一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，该护板的板体上部开设了用于加快冷却气体通过的气孔。虽然改良了多晶硅生长中温度的梯度，但是效果有限，且不能避免生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙，而产生的缝隙会掉进杂质。
实用新型内容
为解决以上问题，本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，该护板不仅能够改良多晶硅生长中温度的梯度，减少微晶的含量，而且能够有效防止生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙。
本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，包括所述护板的板体与板体上部的通气孔，所述板体为一夹层结构，且板体下部为实心结构，板体上部为网络状结构；所述通气孔与所述网络状结构相通。
所述网络状结构的宽度为所述板体整体宽度的三分之一。
所述通气孔的个数为3至8个。
所述通气孔的个数为4个。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
1.由于本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板为一夹层结构、所述护板上部为网络状结构，且通气孔与所述网络状结构相通，因此通气渠道为网络状结构中的管道，管道多，且相互连通，因此通气速度更快，通气效果更好。
2.由于本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板为一夹层结构，且该护板的上部为网络状结构，因此该种护板具有一定的弹性，对压力有着很好的缓冲作用，可以有效防止生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的主视图。
图2为本实用新型一种实施例的左视图。
图中：板体-1，通气孔-2，网络状结构-3。
具体实施方式
下面结合附图与实施方式对本实用新型作进一步说明。
参见图1与图2，本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，包括所述护板的板体1与板体1上部的通气孔2，所述板体1为一夹层结构，且板体1下部为实心结构，板体1上部为网络状结构3；所述通气孔2与所述网络状结构3相通。
所述网络状结构3的宽度为所述板体1整体宽度的三分之一。
所述通气孔2的个数为3至8个。
所述通气孔2的个数为4个。
在生产过程中，护板安装在多晶硅铸锭炉坩埚的四周，在护板上方盖有石墨盖板，由于护板的板体1为一夹层结构且板体1上部为网络状结构3，再加上通气孔2与网络状结构3相通，因此冷却气的通气渠道为网络状结构3中的管道，管道多且相互连通，能够加快冷却用气体在坩埚上部空间内流动的速度，而通气速度越快，通气效果就更好，从而改良了多晶硅铸锭炉热场中温度的梯度，减少了晶锭中的微晶含量；此外，护板的板体1上部为网络状结构3，因此该种护板具有一定的弹性，对压力有着很好的缓冲作用，可以有效防止生产中护板间或者护板与盖板间产生缝隙。
以上所述，仅为本实用新型的一部分具体实施方式，本实用新型的保护范围并不局限于此，本领域普通技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。本实用新型实施例的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (4)
1.一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，包括板体(1)与设置于板体(1)上部的通气孔(2)，其特征在于：所述板体(1)为一夹层结构，且板体(1)下部为实心结构，板体(1)上部为网络状结构(3)；所述通气孔(2)与所述网络状结构(3)相通。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，其特征在于：所述网络状结构(3)的宽度为所述板体(1)整体宽度的三分之一。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，其特征在于：所述通气孔(2)的个数为3至8个。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板，其特征在于：所述通气孔(2)的个数为4个。
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| CN2009200296077U CN201442994U (zh) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板 |
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| CN (1) | CN201442994U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105780109A (zh) * | 2016-04-08 | 2016-07-20 | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 | 一种多晶铸锭炉改善边缘晶粒倾斜生长的装置及其方法 |
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2009
- 2009-07-08 CN CN2009200296077U patent/CN201442994U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN105780109A (zh) * | 2016-04-08 | 2016-07-20 | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 | 一种多晶铸锭炉改善边缘晶粒倾斜生长的装置及其方法 |
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