CN201415071Y - 用于气液分离的管路组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了一种用于气液分离的管路组件，该管路组件包括：竖直放置的顶端连通废液入口的输入管、竖直放置的底端连通废液排液口的排水管、一端连通排气泵的排气管和三个端口分别连通输入端底端、排水管顶端和排气管另一端口的Y型三通；排水管的长度大于等于足以防止废液气泡从排水管底端到达Y型三通的第三端口的第一预设值，且排气管靠近Y型三通一端的部分还具有一向上折弯部，向上折弯部的高度大于等于足以使废液气泡液化后下落回流至Y型三通的第二预设值。采用本实用新型的管路组件，排水管减少了堆积于Y型三通的废液气泡，排气管的向上折弯部避免了排气管中驻留的由气泡液化形成的废液，进而避免该管路组件的废液泄漏。
Description
技术领域
本实用新型涉及分离技术，特别涉及一种气液分离的管路组件。
背景技术
半导体制造领域，通常采用特定的液体对晶圆进行洗刷清洁。当采用清洗液CTS对晶圆进行清洗时，在排放废液的过程中，废液通常会产生大量的气泡。
图1为现有气液分离管路组件的结构示意图。现结合图1，对现有的用于气液分离的管路组件进行说明，具体如下：现有的用于气液分离的管路组件包括竖直放置的废气液输入管11、竖直放置的排水管12、水平放置的排气管13和Y型三通14。废气液输入管11的顶端连通废气液入口；排水管12的底端连通废液排液口；排气管13的一端连通排气泵；Y型三通14包括第一端口、第二端口和第三端口，Y型三通14的第一端口与废气液输入管11的底端连通，第二端口与排水管12的顶端连通，第三端口向上倾斜并与排气管13未连通排气泵的一端连通。
采用现有的用于气液分离的管路组件排放含有气泡的废液时，废气液经废气液输入管11流入Y型三通14，废液由于重力作用延排水管12下坠后排出，而废气则在排气泵的作用下从排气管13排出。
然而，由于废液在其运动传输过程中可能会产生气泡、并堆积在排水管12内、且排水管12的长度较短、例如12～18厘米，排水管的长度大于15厘米，因而排水管15内的气泡极易堆积至Y型三通14处、并在排气泵的作用下被抽入至排气管13内。此后，抽入至排气管13内的气泡会逐渐液为废液、并驻留于水平放置的排气管13内，然后驻留于排气管13内的废液就会泄漏至外部，易对人身健康造成伤害。
可见，现有的用于气液分离的管路组件存在废液泄漏的问题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种用于气液分离的管路组件，能够避免废液的泄漏。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：
一种用于气液分离的管路组件，包括：
竖直放置的输入管、其顶端连通废气液入口；
竖直放置的排水管、其底端连通废液排液口；
排气管、其一端连通排气泵；
Y型三通，其第一端口与输入管的底端连通、第二端口与排水管的顶端连通、第三端口向上倾斜并与排气管的另一端连通；
排水管的长度，大于等于足以防止废液气泡自排水管底端到达Y型三通第三端口的第一预设值；
且，排气管靠近前述另一端的部分还具有一向上折弯部；向上折弯部的高度，大于等于足以使废液气泡液化后下落回流至Y型三通的第二预设值。
较佳地，排水管的底端通过一U型管与废液排液口连通。
上述管路组件中，排气管的前述另一端与前述向上折弯部之间的部分水平放置。
上述管路组件中，排气管的前述向上折弯部水平延伸、再向下折弯后，连通至排水管连通排气泵的前述一端。
上述管路组件中，所述竖直放置的输入管中部具有一水平折弯部。
由上述的技术方案可见，本实用新型用于气液分离的管路组件包括：竖直放置的、且顶端连通废液入口的输入管，以及竖直防止的、且底端连通废液排液口的排水管，以及一端连通排气泵的排气管和Y型三通，Y型三通的第一端口与输入管的底端连通，Y型三通的第二端口与排水管的顶端连通，Y型三通的第三端口向上倾斜并与排气管的未连通排气泵的端口连通；排水管的长度大于等于足以防止废液气泡从排水管底端到达Y型三通的第三端口的第一预设值，且排气管靠近Y型三通的部分还具有一向上折弯部；向上折弯部的高度，大于等于足以使废液气泡液化后下落回流至Y型三通的第二预设值。采用本实用新型的管路组件，排水管的长度可防止排水管内大量气泡堆积至Y型三通处，减少了被抽入排气管内的携带废液的气泡；排气管的向上折弯部可使抽入排气管的携带废液的气泡液化，液化后驻留于排气管的废液经向上折弯部下落回流至Y型三通，避免了驻留于排气管中的由气泡转换成的废液，进而避免管路组件的废液泄漏。
可选地，本实用新型中排水管的底端可进一步通过一U型管与废液排液口连通，从而利用U型管的液封作用防止有气泡从废液排液口回流至排水管、用以避免排水管中可能出现的气泡，进而再进一步地避免管路组件的废液泄漏。
附图说明
图1为现有的用于气液分离的管路组件的结构示意图。
图2为本实用新型用于气液分离的管路组件的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。
本实用新型提出了一种用于气液分离的管路组件，该管路组件包括竖直放置的顶端连通废液入口的输入管、竖直防止的底端连通废液排液口的排水管、一端连通排气泵的排气管和Y型三通，Y型三通的第一端口与输入管的底端连通，Y型三通的第二端口与排水管的顶端连通，Y型三通的第三端口向上倾斜并与排气管的另一端连通；本实用新型用于气液分离的管路组件中，排水管的长度足以防止废液气泡子排水管底端到达Y型三通的第三端口，排气管靠近Y型三通第三端口的部分具有一向上折弯部，向上折弯部的高度足以使废液气泡液化后下落回流至Y型三通。
图2为本实用新型用于气液分离的管路组件的结构示意图。现结合图2，对本实用新型用于气液分离的管路组件的结构进行说明，具体如下：
为了表述清楚，定义废气液流入本实用新型用于气液分离的管路组件的方向为上方，废液从本实用新型气液分离管路组件流出的方向为下方。
本实用新型用于气液分离的管路组件包括废气液输入管21、排水管22、排气管23、Y型三通24和U型管25；其中，排气管23包括向上折弯部231和水平部232。
废气液输入管21竖直放置，其顶端连通废气液入口；输入管21的中部具有一水平折弯部，输入管21为L型。
排水管22竖直放置，其底端连通U型管25的一端。
U型管25的另一端连通废液排液口。
Y型三通24包括三个端口，分别为第一端口、第二端口和第三端口；第一端口与废气液输入管21的底端连通；第二端口与排水管22的顶端连通；第三端口向上倾斜并与排气管23未连通排气泵的一端连通。
排气管23的一端与排气泵连通；排气管23靠近Y型三通24第三端口的部分具有一向上折弯部231，向上折弯部231水平延伸，再向下折弯后连通至排水管23连通排气泵的一端；排水管23的水平部232位于Y型三通24的第三端口与向上折弯部231之间，且水平放置。
本实用新型中，排水管22的长度大于等于足以防止废液气泡子排水管底端到达Y型三通24第三端口的第一预设值；排气管23的向上折弯部231向上折弯的高度大于等于足以使废液气泡液化后下落回流至Y型三通24第二预设值。在本实用新型的较佳实施例中，第一预设值可以为45～55厘米，最佳地依据管路组件通常安置的空间，可具体选定第一预设值为49、50、或51厘米；第二预设值为35～45厘米，最佳地依据管路组件通常安置的空间，可具体选定第二预设值为39、40、或41厘米。
本实用新型用于气液分离的管路组件中，排水管22底端与废液排液口之间连通了U型管25。在排气泵通过排气管23抽取废液中的气泡时，由于U型管25的液封作用，防止U型管25的废液中的气泡从废液排液口回流至排水管22，避免了排水管中可能出现的气泡，进一步避免了用于气液分离的管路组件的废液泄漏。
本实用新型用于气液分离的管路组件中，排水管22的长度大于等于第一预设值，以防止在抽取废液气泡过程中，排水管22靠近U型管25的一端中废液气泡到达Y型三通24的第三端口，进而防止废液气泡携带废液通过排气管23排出。
本实用新型用于气液分离的管路组件中，排气管23的向上折弯部231的高度大于等于第二预设值，以实现废液气泡在经过向上折弯部231时，废液气泡液化后下落回流至Y型三通24，废液经排水管22排出，废气经排气管23排出，向上折弯部231使废液和废气完全分离，避免了排气管23中驻留的由废液气泡转换成的废液，进而避免了用于气液分离的管路组件的废液泄漏。
由于安装气液分离管路组件的设备的内部空间有限，本实用新型用于气液分离的管路组件的U型管25可安装于前述设备外部的底端，与排气泵连通的排气管23的底端可安装于前述设备外部的底端，本实用新型用于气液分离的管路组件的其他部分安装于前述设备的内部。可根据安装用于气液分离的管路组件的空间的大小、第一预设值和第二预设值，改变排水管22和/或排气管23的向上折弯部231的长度。
本实用新型中，管路组件中排放的为采用工业用柠檬酸对晶圆清洗后产生的废气液，第一预设值和第二预设值的具体取值范围由工业用柠檬酸的特性确定；本实用新型管路组件中排放的为不同的化学制剂，第一预设值和第二预设值的取值范围可根据采用的化学制剂进行调整。
综上所述，以上为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1、一种用于气液分离的管路组件，包括：
竖直放置的输入管、其顶端连通废气液入口；
竖直放置的排水管、其底端连通废液排液口；
排气管、其一端连通排气泵；
Y型三通，其第一端口与输入管的底端连通、第二端口与排水管的顶端连通、第三端口向上倾斜并与排气管的另一端连通；
其特征在于，
排水管的长度，大于等于足以防止废液气泡自排水管底端到达Y型三通第三端口的第一预设值；
且，排气管靠近前述另一端的部分还具有一向上折弯部；向上折弯部的高度，大于等于足以使废液气泡液化后下落回流至Y型三通的第二预设值。
2、根据权利要求1所述的管路组件，其特征在于，排水管的底端进一步通过一U型管与废液排液口连通。
3、根据权利要求1或2所述的管路组件，其特征在于，排气管的前述另一端与前述向上折弯部之间的部分水平放置。
4、根据权利要求3所述的管路组件，其特征在于，排气管的前述向上折弯部水平延伸、再向下折弯后，连通至排水管连通排气泵的前述一端。
5、根据权利要求1或2所述的管路组件，其特征在于，竖直放置的输入管中部具有一水平折弯部。
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