CN201409102Y - 超高真空二维磁结合驱动器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空设备。超高真空二维磁结合驱动器，外管外活动套装手两个磁力把手，分别为旋转磁力把手和进给磁力把手，外管内装有两个分别与旋转磁力把手和进给磁力把手对应的内磁装置，磁力把手与内磁装置磁石数量相当且位置对应，内磁装置两端分别安装轴承座，轴承座上安装旋转轴承和直线进给轴承，旋转磁力把手处旋转轴承内圈与驱动轴紧配合，直线轴承外圈与外管内壁紧配合，驱动轴前端活动插装在驱动管内，进给磁力把手处旋转轴承内圈与驱动管紧配合，直线轴承与外管内壁紧配合，驱动管通过法兰活动插装在外管另一端，驱动管端头固定连接机械手外罩，机械手外罩铰接抓手，抓手通过二连杆与驱动轴前端螺纹连接。

Description

超高真空二维磁结合驱动器

技术领域

本实用新型涉及真空设备领域，特别是样品加热架。

背景技术

超高真空技术是新材料合成，材料物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵。样品在传输和操纵过程中，由于真空设备要求的密封性高，真空环境内的动作都需要在大气侧进行操作，很多情况样品需要按直线运动导入和旋转运动导入，而且在驱动时要保证真空环境与驱动导入器的密封性能，以保证真空环境，目前的驱动装置精度有待提高，而且尚没有同一设备即可直线又可旋转驱动。

发明内容

本实用新型的目的是克服上述不足足问题，提供一种超高真空二维磁结合驱动器，结构简单，具有机械手功能，在大气侧简便操纵即可实现真空环境内样品的旋转和直线操作。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：超高真空二维磁结合驱动器，磁结合直线旋转驱动器，外管外活动套装手两个磁力把手，分别为旋转磁力把手和进给磁力把手，外管内装有两个分别与旋转磁力把手和进给磁力把手对应的内磁装置，磁力把手与内磁装置磁石数量相当且位置对应，内磁装置两端分别安装轴承座，轴承座上安装旋转轴承和直线进给轴承，旋转磁力把手处旋转轴承内圈与驱动轴紧配合，直线轴承外圈与外管内壁紧配合，驱动轴前端活动插装在驱动管内，进给磁力把手处旋转轴承内圈与驱动管紧配合，直线轴承与外管内壁紧配合，驱动管通过法兰活动插装在外管另一端，驱动管端头固定连接机械手外罩，机械手外罩铰接抓手，抓手通过二连杆与驱动轴前端螺纹连接。

所述磁力把手由筒体、磁石和止板构成，筒体内壁面开有磁石槽，磁石槽内安装磁石，筒体两端固定安装止板。

所述内磁装置主要由内磁收纳筒和磁石构成，内磁收纳筒中心带有轴孔，且外壁开有与磁力把手筒体数量相当且位置相对应的磁石槽。

所述轴承座为套体一端带有进给轴承安装座，安装座上带有轴承安装孔。

所述驱动轴为变径驱动轴。

本实用新型以最简洁的杆状构造实现了超高真空环境中的直线驱动和旋转驱动；驱动简单，采用非接触的磁力驱动构造，在外管内外分别在相应的位置安置磁块，通过驱动外部磁块，实现内部真空中磁块的驱动，内部真空中磁块的运动带动最终要驱动的对象。磁块的排列考虑到纵向和转向的力矩最大化，按内外磁块磁力线闭路最大化来排列。外部磁块的构造，既要考虑磁结合力矩的有效性，又要保持直线和旋转驱动时的顺畅性，磁块两端安装有滑块。内部真空中磁块两端的轴承座是实现直线和旋转驱动的关键，该轴承座装配有旋转轴承和直线进给轴承，旋转轴承用来实现驱动轴的旋转驱动，直线进给轴承用来实现驱动轴的直线滑动，同时也保证驱动轴和外管的同心。前端安装机械手，通过二连杆的相对独立运动，可实现抓放功能，本实用新型真空内外磁石排列非接触的方式，原则上无限期的延长了使用寿命。

附图说明：

图1是本实用新型外观图。

图2是本实用新型结构示意图。

图3为本实用新型轴承座结构示意图

图4为本实用新型内磁收纳筒结构示意图。

图5为本实用新型磁力把手筒体结构示意图。

图6为本实用新型机械手结构示意图。

图1中：1驱动管；2法兰；3外管；4进给磁力把手1；5旋转磁力把手；6驱动轴；7内磁收纳筒；8内部磁石；9轴承座；10筒体；11止板；12直线进给轴承；13旋转轴承；14定位件；15外部磁石；16二连杆；17套体；18安装孔；19安装座；20轴孔；21磁石槽；22铰轴；23抓手；24转轴；25外罩。

具体实施方式：

如图1、2所示的超高真空二维磁结合驱动器，外管3外活动套装手两个磁力把手，分别为旋转磁力把手5和进给磁力把手4，两个磁力把手均由筒体10(如图5)、外部磁石15和止板11构成，筒体内壁面开有四排磁石槽21，四排磁石槽内均安装强力外部磁石15，筒体10两端固定安装止板11，外管内装有两个分别与旋转磁力把手和进给磁力把手对应的内磁装置，内磁装置主要由内磁收纳筒7和内部磁石8构成，内磁收纳筒如图4所示，其中心带有轴孔20，且外壁开有与磁力把手筒体数量相当且位置相对应的四排磁石槽21，四排磁石槽内均装有强力内部磁石8，内磁装置两端分别安装轴承座9，端头由定位件14固定，轴承座如图3所示为套体17一端带有进给轴承安装座19，安装座上带有轴承安装孔18，轴承座套体内安装旋转轴承13，安装座上安装直线进给轴承12，旋转磁力把手处旋转轴承内圈与驱动轴6紧配合，直线轴承外圈与外管3内壁紧配合，驱动轴6前端活动插装在驱动管1内，进给磁力把手处旋转轴承内圈与驱动管紧配合，直线轴承与外管内壁紧配合，驱动管1通过法兰2活动插装在外管另一端，驱动管1端头固定连接机械手(如图6)的外罩25，机械手外罩通过铰轴22铰接抓手23，抓手通过转轴24铰接二连杆16，二连杆16另一端与驱动轴6前端螺纹连接。

使用时旋转磁力把手旋转驱动驱动轴，驱动轴与抓手二连杆通过螺纹传动驱动原理，驱动二连杆进给，从而使抓手张开、闭合；进给磁力把手主要通过驱动驱动管，实现抓手整体的直线或旋转运动，实现抓手任意长度的进给和任意角度的旋转。

Claims (5)

1、超高真空二维磁结合驱动器，其特征是：磁结合直线旋转驱动器，外管外活动套装手两个磁力把手，分别为旋转磁力把手和进给磁力把手，外管内装有两个分别与旋转磁力把手和进给磁力把手对应的内磁装置，磁力把手与内磁装置磁石数量相当且位置对应，内磁装置两端分别安装轴承座，轴承座上安装旋转轴承和直线进给轴承，旋转磁力把手处旋转轴承内圈与驱动轴紧配合，直线轴承外圈与外管内壁紧配合，驱动轴前端活动插装在驱动管内，进给磁力把手处旋转轴承内圈与驱动管紧配合，直线轴承与外管内壁紧配合，驱动管通过法兰活动插装在外管另一端，驱动管端头固定连接机械手外罩，机械手外罩铰接抓手，抓手通过二连杆与驱动轴前端螺纹连接。

2、根据权利要求1所述的超高真空二维磁结合驱动器，其特征是：磁力把手由筒体、磁石和止板构成，筒体内壁面开有磁石槽，磁石槽内安装磁石，筒体两端固定安装止板。

3、根据权利要求2所述的超高真空二维磁结合驱动器，其特征是：内磁装置主要由内磁收纳筒和磁石构成，内磁收纳筒中心带有轴孔，且外壁开有与磁力把手筒体数量相当且位置相对应的磁石槽。

4、根据权利要求1-3任一所述的超高真空二维磁结合驱动器，其特征是：轴承座为套体一端带有进给轴承安装座，安装座上带有轴承安装孔。

5、根据权利要求1-3任一所述的超高真空二维磁结合驱动器，其特征是：驱动轴为变径驱动轴。

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