CN201301336Y - 溅镀机的防着板结构 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种溅镀机的防着板结构，包含：一溅镀源；一输送带结构；若干置物板及一防着板结构，溅镀源往输送带结构、置物板方向溅镀，输送带结构上置放置物板，而置物板上置放被镀物，输送带结构两侧各设有防着板结构，该防着板结构一体成型有导轨；该防着板结构包括至少二个防着板，每一防着板均一体成型有导轨。本实用新型的有益效果为：防着板结构制作时一体成型有导轨结构，所以无论在拆装防着板结构后，就不用再拆装导轨结构，因此可以减少组、拆次数，节省人力与加速清洁效率，防着板结构的强度较强。

Description

溅镀机的防着板结构
技术领域
本实用新型涉及一种溅镀机的防着板结构。
背景技术
现有溅镀机的结构主要包括有：溅镀源，该溅镀源以离子溅射原理，先利用电场使两极间产生电子，这些加速电子会与真空腔中已预先充入的惰性气体碰撞，使其带正电，这些带正电的粒子会受阴极(靶材)吸引而撞击阴极，入射离子受到电场作用获得动量，撞击靶材表面的原子，这些原子受到正电离子的碰撞得到入射离子的动量转移，被撞击的靶材表面下原子造成压挤使其发生移位，此靶材表面下多层原子挤压，会发生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰撞出去，这些被碰撞出去的原子最后终于沉积在被镀物上完成溅镀；防着板结构，该防着板结构设于导轨结构的两侧，防着板结构防止原子沉积于置物板以外的机台其他位置；导轨结构，该导轨结构设于输送带结构的两侧以导引置物板移动方向；输送带结构，该输送带结构输送置物板经过溅镀源；置物板，提供被镀物放置；通过上述组成，被镀物置于置物板，再将置物板置于输送带结构，经导轨结构导引，而经过溅镀源完成溅镀。
但是上述现有的溅镀机仍存在有下列缺点：1、溅镀源的溅镀过程会有原子沉积在溅镀区四周，所以防着板结构与导轨结构，均须在使用一段时间后，将之拆卸以利进行沉积物之清除，但每多一防着板或导轨，就增加一拆及装防着板或导轨的时间，同时也浪费了人力；2、现有的溅镀机其防着板与导轨分开制作与锁固，所以防着板与导轨之强度也较差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种溅镀机的防着板结构，以克服现有技术利用费时费力及防着板与导轨的强度较差的缺点。
实现本实用新型的目的的技术方案如下：
一种溅镀机的防着板结构，包含：一溅镀源；一输送带结构；若干置物板及一防着板结构，溅镀源往输送带结构、置物板方向溅镀，输送带结构上置放置物板，而置物板上置放被镀物，输送带结构两侧各设有防着板结构，该防着板结构一体成型有导轨；该防着板结构包括至少二个防着板，每一防着板均一体成型有导轨。
本实用新型的有益效果为：防着板结构制作时一体成型有导轨结构，所以无论在拆装防着板结构后，就不用再拆装导轨结构，因此可以减少组、拆次数，节省人力与加速清洁效率，防着板结构的强度也较强。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
图1是本实用新型实施例所述的溅镀机的剖面示意图；
图2是本实用新型实施例所述的溅镀机的平面示意图；
图3是本实用新型实施例所述的溅镀机的流程示意图。
图中：20、溅镀源；23、输送带结构；24、置物板；25、被镀物；30、防着板结构；31、防着板；32、防着板；41、输入装置；42、清洁装置43、第一缓冲装置；44、溅镀装置；45、第二缓冲装置；46、输出装置。
具体实施方式、
如图1所示，本实用新型实施例所述的溅镀机的防着板结构，包括：一溅镀源20，该溅镀源20以离子溅射原理，先利用电场使两极间产生电子，这些加速电子会与真空腔中已预先充入的惰性气体碰撞，使其带正电，这些带正电的粒子会受阴极(靶材)吸引而撞击阴极，入射离子受到电场作用获的动量，撞击靶材表面的原子，这些原子受到正电离子的碰撞得到入射离子的动量，对靶材表面下原子造成压挤使其发生移位，此靶材表面下多层原子的挤压会发生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰撞出去，这些被碰撞出去的原子最后终于沉积在被镀物25上完成溅镀，过程会产生发热且会于真空腔内累积；一防着板结构30，该防着板结构30包括至少二防着板31、32，该二防着板31、32分别设于输送带结构23两侧，防着板结构30防止原子沉积于置物板24以外的机台其他位置，防着板结构30必要时需拆卸下来作必要的清洁；一输送带结构23，该输送带结构23输送置物板24经过溅镀源20；若干置物板24，提供被镀物25放置；主要在于：防着板31或32制作时一体成型出导轨，锁设固定防着板31或32，同时也固定了导轨，因此使用一段时间之后相关的结构需拆卸清除沉积物时，只需拆、装防着板31、32即可，所以可以减少组、拆次数，节省人力，防着板结构的强度也可较强。通过上述结构，被镀物25置于置物板24，再将置物板24置于输送带结构23，经导引而经过溅镀源20完成溅镀。
如图2-3所示，本实用新型使用时，被镀物25被置于置物板24上，置物板24则置于输送带结构23上，置物板24首先及经过溅镀机的输入装置41送入溅镀机内部，随后以清洁装置42将被镀物25清洁，以利于溅镀之附着，清洁之后进入第一缓冲装置43缓冲一段时间，在将置物板24连同被镀物25送入溅镀装置44溅镀，溅镀完成后，经第二缓冲装置45以一段时间缓冲后，由输出装置46将置物板24连同被镀物25送出，最后完成所有溅镀过程。所述溅镀装置44、第一缓冲装置43或第二缓冲装置45均可依需求增加。
上述实施例为本实用新型产业上的一较佳实施例，凡依本实用新型权利要求所作的等效变化皆属本案权利要求之内。

Claims (2)

1、一种溅镀机的防着板结构，包含：一溅镀源；一输送带结构；若干置物板及一防着板结构，所述输送带结构上置放置物板，而置物板上置放被镀物，所述输送带结构两侧各设有防着板结构，其特征在于：该防着板结构一体成型有导轨。
2、根据权利要求1所述的溅镀机的防着板结构，其特征在于：该防着板结构包括至少二个防着板，每一防着板均一体成型有导轨。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102107347A (zh) * 2010-12-30 2011-06-29 宁波江丰电子材料有限公司 一种防着板加工方法
WO2018223770A1 (zh) * 2017-06-08 2018-12-13 京东方科技集团股份有限公司 成膜设备
CN109750262A (zh) * 2017-11-07 2019-05-14 黄钲为 在真空溅镀机的腔体内壁布置保护膜的方法

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