CN201288083Y - 一种单晶炉冷却供水装置 - Google Patents

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CN201288083Y CNU2008203027665U CN200820302766U CN201288083Y CN 201288083 Y CN201288083 Y CN 201288083Y CN U2008203027665 U CNU2008203027665 U CN U2008203027665U CN 200820302766 U CN200820302766 U CN 200820302766U CN 201288083 Y CN201288083 Y CN 201288083Y
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何紫平
胥敬东
丁宇翔
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Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉冷却供水装置。包括反渗透装置(2)；自来水经反渗透装置(2)与水箱(1)连接，水箱(1)底部经管道与水泵(3)入口连接，水泵(3)出口经调节阀(5)与单晶炉(4)连接，单晶炉(4)经管道与水箱(1)连接。本实用新型使自来水通过反渗透装置后使用，使冷却水中的碳酸钙和氯根离子的含量大大减少，可以降低单晶炉水循环通道中的水垢沉积，减小对单晶炉水循环通道的腐蚀。另外在供水装置中还增加了水泵，提高了循环水在单晶炉的水循环通道中的流速，明显的提高了冷却效果；由于水垢沉积的减少，也降低了设备维护费用和设备维护所占用的生产时间，提高了生产效率。

Description

一种单晶炉冷却供水装置
技术领域
本实用新型涉及一种供水装置，特别是一种单晶炉冷却供水装置。
背景技术
在单晶炉中，由于要对原料多硅晶块进行熔化，硅的熔点约为1450℃，所以单晶炉内的温度是很高的，在生产过程中需要对单晶炉的部分部位进行冷却。现有技术是采用自来水直接进行冷却，由于自来水中含有的碳酸钙等物质的作用，很容易在单晶炉的水循环通道中形成水垢，影响冷却效果；另外对单晶炉的腐蚀也很严重。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供一种单晶炉冷却供水装置，以降低单晶炉水循环通道中的水垢层，提高冷却效果；减小对单晶炉水循环通道的腐蚀。
本实用新型的技术方案：一种单晶炉冷却供水装置。包括反渗透装置；自来水经反渗透装置与水箱连接，水箱底部经管道与水泵入口连接，水泵出口经调节阀与单晶炉连接，单晶炉经管道与水箱连接。
上述的单晶炉冷却供水装置中，所述的反渗透装置用反渗透膜构成。
前述的单晶炉冷却供水装置中，所述的水箱中设有水位计。
与现有技术相比，本实用新型使自来水通过反渗透装置后使用，使冷却水中的碳酸钙和氯根离子的含量大大减少，可以降低单晶炉水循环通道中的水垢沉积，减小对单晶炉水循环通道的腐蚀。另外在供水装置中还增加了水泵，提高了循环水在单晶炉的水循环通道中的流速，明显的提高了冷却效果；由于水垢沉积的减少，也降低了设备维护费用和设备维护所占用的生产时间，提高了生产效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
附图中的标记为：1-水箱，2-反渗透装置，3-水泵，4-单晶炉，5-调节阀，6-水位计。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的单晶炉冷却供水装置作进一步的详细说明，但并不作为对本实用新型作任何限制的依据。
本实用新型的单晶炉冷却供水装置如图1所示，它包括反渗透装置2；反渗透装置2用反渗透膜构成。自来水经反渗透装置2与水箱1连接，水箱1中设有水位计6。水箱1底部经管道与水泵3入口连接，水泵3出口经调节阀5与单晶炉4连接，单晶炉4经管道与水箱1连接。
本实用新型的工作原理：
反渗透装置中的反渗透膜可以有效吸附水中的碳酸钙和氯根离子，所以自来水经过反渗透装置处理后，冷却水中的碳酸钙和氯根离子含量大大减少，另外由于增加了水泵3可以提高冷却水的压力，使通过单晶炉的水循环通道中的水流速加快，可降低单晶炉水循环通道中的水垢沉积，减少设备维护费用和设备维护所占用的生产时间，提高生产效率；可提高冷却效果；减小对单晶炉水循环通道的腐蚀。

Claims (3)

  1. 【权利要求1】一种单晶炉冷却供水装置，其特征在于：它包括反渗透装置(2)；自来水经反渗透装置(2)与水箱(1)连接，水箱(1)底部经管道与水泵(3)入口连接，水泵(3)出口经调节阀(5)与单晶炉(4)连接，单晶炉(4)经管道与水箱(1)连接。
  2. 【权利要求2】根据权利要求1所述的单晶炉冷却供水装置，其特征在于：所述的反渗透装置(2)用反渗透膜构成。
  3. 【权利要求3】根据权利要求1或2所述的单晶炉冷却供水装置，其特征在于：所述的水箱(1)中设有水位计(6)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102167449A (zh) * 2010-12-13 2011-08-31 浙江开化同力电子科技有限公司 一种单晶炉用冷却水的处理方法
WO2013159403A1 (zh) * 2012-04-28 2013-10-31 深圳市华星光电技术有限公司 液晶制程中炉体的双路循环冷却系统
CN107021588A (zh) * 2017-06-20 2017-08-08 湖南文理学院 一种海绵城市建设用渗透管

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