CN201279461Y - 一种洁净室 - Google Patents

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叶荃
姚育才
吴卫国
赵金权
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Abstract

本实用新型公开了一种洁净室，包括一洁净空间、设置在洁净空间顶部的框架、风机过滤机组和组合式净化空调器，所述框架上配合布满所述风机过滤机组，所述组合式净化空调器的出风口与风机过滤机组上方的负压空间的顶部连通，所述洁净空间外侧设有向外排风的回风通道，所述负压空间的侧壁上周向均布有至少2个通孔，各通孔内固定设有干盘管，使负压空间与回风通道通过干盘管连通；所述洁净空间内设有复数个温度传感器，其输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置。本实用新型可实现室内温度±0.5℃的控制要求，可应用于晶圆生产厂等高科技行业中。

Description

一种洁净室
技术领域
本实用新型涉及一种洁净室，可应用于电子工业、精密机械工业、制药工业等高科技行业中。
背景技术
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室，是指在一定空间范围内将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物减少到规定指标以下，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。
我国净化行业原先所安装的百级洁净室，主要适用于医药生产企业，根据生产工艺的要求，这种洁净室对温度的控制一般不是很严格，一般温度控制要求为±2℃就足够了。现有技术中，洁净室的温度是由组合式净化空调器控制和调节的，这种调温方式的精度完全能够满足上述要求。
然而，随着科技日新月异的发展，尤其是集成电路生产技术的发展，集成电路芯片生产的线宽由0.45微米发展到0.11微米，甚至由微米级向纳米级发展，温度的变化可能影响生产工艺，导致成品率下降，此时洁净室的温度控制要求就需要达到±0.5℃，通过这种高精度的温度控制，来消除温度变化对生产的影响；同时，对于集成电路芯片生产厂所用的洁净室，由于其生产工艺对洁净度的要求很高，使得其洁净室内排风量比较大，此外，这种洁净室的面积一般比较大，使室内温度的均匀性控制难度增大，如果用原先组合式净化空调器调温的方式，要达到洁净室内±0.5℃的温度控制是很困难的。
发明内容
本实用新型目的是提供一种洁净室，以达到室内温度±0.5℃的控制要求。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种洁净室，包括一洁净空间、设置在洁净空间顶部的框架、风机过滤机组和组合式净化空调器，所述框架上配合布满所述风机过滤机组，所述组合式净化空调器的出风口与风机过滤机组上方的负压空间的顶部连通，所述洁净空间外侧设有向外排风的回风通道，所述负压空间的侧壁上周向均布有至少2个通孔，各通孔内固定设有干盘管，使负压空间与回风通道通过干盘管连通；所述洁净空间内设有复数个温度传感器，其输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置。
上文中，所述风机过滤机组，其英文全称为Fan Filter Unit(FFU)，是现有技术；所述在框架上布满FFU，可以是同一型号或不同型号的FFU。所述“干盘管”，就是没有冷凝水的表冷盘管，要实现“没有冷凝水”的干盘管，其关键是干盘管内循环冷冻水的进水温度要高于洁净室内空气的冷凝温度，那么，在干盘管上就不会产生冷凝水了。一般，冷冻水的温度为7℃，相对应，温度比之高的冷冻水，我们称之为“高温冷冻水”，高温冷冻水由7℃的冷冻水通过不锈钢板式热交换器换热制成，空气通过干盘管的风速一般为2米/秒，由于没有冷凝水，因此也省去了积水盘。所述温度传感器的输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置，这对于本领域技术人员来说也是清楚的，比如采用控制干盘管的进水阀等方式。本实用新型利用组合式净化空调器对洁净空间的进风温度进行粗调，再利用温度传感器配合干盘管对循环风的温度进行微调，并将负压空间与回风通道连通使循环风引入洁净室，从而达到精确控温的目的。另一方面，在负压空间的侧壁上设有通孔而使得负压空间与回风通道连通，使得从回风通道出来的回风可以成为进风的一部分，从而大大降低了组合式净化空调器的输出功率，节约了能源。所述复数个温度传感器优选各自分布在不同的位置。
进一步的技术方案，所述通孔为6个，周向均布于负压空间的侧壁上，各通孔内固定设有干盘管。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：
1、本实用新型利用组合式净化空调器对洁净室的进风温度进行粗调，再利用干盘管对循环风的温度进行微调，同时在负压空间的侧壁上设置通孔而使负压空间与回风通道连通，通过将微调后的循环风引入洁净空间，来实现精确控温的目的，试验证明，这种方式可实现洁净空间内温度±0.5℃的控制要求。
2、由于本实用新型在负压空间的侧壁上开设通孔，使负压空间与回风通道连通，使得从洁净空间出来的回风可以成为进风的一部分，从而大大降低了组合式净化空调器的输出功率，节约了能源。
附图说明
图1是本实用新型实施例一的结构示意图；
图2是本实用新型实施例一中干盘管的分布示意图。
其中：1、洁净空间；2、框架；3、组合式净化空调器；4、负压空间；5、回风通道；6、风机过滤机组；7、干盘管。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
实施例一：
参见图1～2所示，一种洁净室，包括一洁净空间1、设置在洁净空间顶部的框架2、风机过滤机组6和组合式净化空调器3，所述框架2上配合布满所述风机过滤机组6，所述组合式净化空调器3的出风口与风机过滤机组上方的负压空间4的顶部连通，所述洁净空间1外侧设有向外排风的回风通道5，所述负压空间4的侧壁上周向均布有6个通孔，各通孔内固定设有干盘管7，使负压空间4与回风通道5通过干盘管连通；所述洁净空间内设有复数个温度传感器，其输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置。
上文中，所述风机过滤机组，其英文全称为Fan Filter Unit(FFU)，是现有技术；所述在框架上布满FFU，可以是同一型号或不同型号的FFU。
所述温度传感器的输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置，是指采用控制干盘管的进水阀以及调节干盘管内循环冷冻水的进水温度实现温度的调节。
本实用新型利用组合式净化空调器对洁净空间的进风温度进行粗调，再利用温度传感器配合干盘管对循环风的温度进行微调，并将负压空间与回风通道连通使循环风引入洁净空间，从而达到精确控温的目的，这种方式可实现室内温度±0.5℃的控制要求。另一方面，在负压空间的侧壁上设有通孔而使得负压空间与回风通道连通，使得从回风通道出来的回风可以成为进风的一部分，从而大大降低了组合式净化空调器的输出功率，节约了能源。

Claims (2)

1.一种洁净室，包括一洁净空间(1)、设置在洁净空间顶部的框架(2)、风机过滤机组(6)和组合式净化空调器(3)，所述框架(2)上配合布满所述风机过滤机组(6)，所述组合式净化空调器(3)的出风口与风机过滤机组上方的负压空间(4)的顶部连通，所述洁净空间(1)外侧设有向外排风的回风通道(5)，其特征在于：所述负压空间(4)的侧壁上周向均布有至少2个通孔，各通孔内固定设有干盘管(7)，使负压空间(4)与回风通道(5)通过干盘管连通；所述洁净空间内设有复数个温度传感器，其输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置。
2.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于：所述通孔为6个，周向均布于负压空间的侧壁上，各通孔内固定设有干盘管。
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