CN201252641Y - Mems麦克风 - Google Patents

Abstract

本实用新型有关一种MEMS麦克风，其包括：底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其中，上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁延伸有贯穿底壁的第二声腔，第二声腔贯穿于底壁处设有收声孔，所述第一声腔、第二声腔和第三声腔彼此贯通，可提高MEMS麦克风的灵敏度和改善频响特性，对换能器具有防尘保护的作用。

Description

MEMS麦克风

【技术领域】

本实用新型涉及一种麦克风，尤其涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。

而目前应用较多且性能较好的麦克风是MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone)麦克风。如图1所示，相关技术的MEMS麦克风100’包括：底板14’、覆盖于底板14’的上盖20’、由底板14’和上盖20’共同形成的腔体15’和收容于腔体15’内并分别置于底板14’上的换能器12’和控制电路16’，其中，底板14’设有第一声腔18’，上盖20’设有入声孔21’。

相关技术的MEMS麦克风100’，声音从入声孔21’直接进入腔体15’，使得MEMS麦克风100’的灵敏度不高、频响特性也不理想，另外，相关技术的MEMS麦克风100’，针对换能器12’也没有防尘保护的作用。

因此，有必要提供一种新的MEMS麦克风以克服上述缺陷。

【实用新型内容】

本实用新型要解决的技术问题在于提供一种灵敏度高、频响特性好的MEMS麦克风。

本实用新型通过这样的技术方案解决上述的技术问题：

一种MEMS麦克风，其包括：底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其中，上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁延伸有贯穿底壁的第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通，第二声腔贯穿于底壁处设有收声孔。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点：第一声腔、第二声腔和第三声腔彼此贯通，外部声源通过第一声腔、第二声腔和第三声腔进入，可提高MEMS麦克风的灵敏度和改善频响特性，对换能器具有防尘保护的作用。

【附图说明】

图1为相关技术MEMS麦克风的剖视示意图。

图2为本实用新型MEMS麦克风的剖视示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图详细说明本实用新型的具体结构。

本实用新型MEMS麦克风100，主要用于手机上，接受声音并将声音转化为电信号。

请参图2所示，本实用新型MEMS麦克风100，主要包括底板(未标号)、覆盖于底板的上盖(未标号)和分别置于底板上的换能器3和控制电路4。

底板设有上板11、与上板11平行设置的下板12和位于上板11和下板12间的第一声腔13。所述上板11设有入声孔14。

上盖设有底壁21和自底壁21延伸的侧壁22。侧壁22上自远离底壁21的一端向底壁21延伸有第二声腔23，所述第二声腔23贯穿底壁并与第一声腔13相通，该第二声腔23贯穿于底壁21处设有收声孔24，该收声孔24可供外部声源进入。

换能器3置于底板的上板11上，其设有第三声腔33，该第三声腔33可通过入声孔14与第一声腔13贯通。

第一声腔13、第二声腔23和第三声腔33彼此贯通，外部声源通过第一声腔13、第二声腔23和第三声腔33进入，这样可提高MEMS麦克风100的灵敏度和改善频响特性。另外，本实用新型的MEMS麦克风100对换能器12具有防尘保护的作用。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施方式，本实用新型的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本实用新型所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。

Claims (2)

1.一种MEMS麦克风，其包括：底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，其中，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其特征在于：上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁延伸有贯穿底壁的第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通，第二声腔贯穿于底壁处设有收声孔。

2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述底板设有入声孔，所述第三声腔通过该入声孔与第一声腔贯通。

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