CN201187454Y

CN201187454Y - 环保型真空泵

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Publication number: CN201187454Y
Application number: CNU200820057844XU
Authority: CN
Inventors: 任利民
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2008-04-29
Filing date: 2008-04-29
Publication date: 2009-01-28
Anticipated expiration: 2018-04-29

Abstract

一种环保型真空泵，包括驱动电机、真空泵及与所述真空泵连接的油箱部件，所述驱动电机驱动所述的真空泵工作，其特征在于，还包括一独立风机，所述独立风机安装在所述的真空泵的一侧，所述驱动电机安装在所述真空泵的另一侧。本实用新型具有体积小、重量轻的优点。采用空气冷却，无需水冷，使用更加方便，成本低。内置排气油雾滤芯，排气洁净无污染。吸气口带有单向阀，可防止真空泵油返入真空系统。使用橡胶地脚，震动小、噪声低，可放在平面上工作。本实用新型可以在极限真空到大气压全范围内持续工作。

Description

环保型真空泵

技术领域

本实用新型涉及机械式真空获得设备技术领域，特别是一种环保型真空泵。

背景技术

某些研究和制造加工要求使用具有真空的加工腔室。例如，必须去除在加工中可能会引起化学反应或物理损坏的大气成份。例如，使用真空扰乱存在于通常室内状态内存在的平衡状态，从大量材料(如除气油、冷冻干燥)去除挥发液体或吸留的或溶解的气体，或者从表面脱附气体(例如在制造加工期间清洗微波管)。

另外，在微粒与另一微粒碰撞之前该微粒必须运动的路程需要延长的加工过程中使用真空，从而允许微粒在源和目标之间进行一无碰撞过程(例如在真空涂覆、粒子加速器、电视显像管中)。

还有，在通过减少每秒钟的分子碰撞次数而备制清洁表面中使用真空。这减少了污染的可能性(例如在清洁表面研究和备制纯洁的、薄的膜片中)。在半导体晶片加工中，在薄膜片喷镀和蚀刻操作期间使用真空，主要用于减少污染。

因此，真空的应用越来越广泛。真空获得设备的需求也越来越多。在真空获得设备中，旋片式真空泵因结构简单、紧凑，整机尺寸小，零件少，且其工作可靠性高，使用方便，易于维修，容积效率高等优点，是目前使用范围最广的真空泵，已广泛应用于化工、电子、冶金及医药等各种领域。

真空泵在运行的过程中，都需要冷却散热。目前采用的方式是在真空泵驱动电机的输出轴上设置有风叶，电机工作时，带动风叶转动，形成风冷。但这种方式通常冷却效果不是很好。

还有就是目前的真空泵系统中，真空泵与驱动电机之间一般采用齿轮传动机构或皮带传动机构来传递动力，造成整个真空泵系统结构不紧凑。

另外，目前的真空泵，尤其是旋片式真空泵，其进气口容易出现返油现象，给真空室造成污染。

这些真空泵管路联接通常采用卡套接头连接，维修维护不是很方便，接头之间采用的是线密封，密封效果不是很理想。

现有的真空泵还存在着如下缺点：1、真空泵直接安装在基础或地面上，真空泵工作时，因震动而发出的噪声较大，工作环境恶劣。2、油冷却效果不是很理想。3、吸气中含有可凝气体，在真空泵中容易凝成液体，对真空泵造成损害。4、采用强制回油结构，回油时对真空度有所影响。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种环保型真空泵，以解决现有真空泵所存在的上述技术问题。

本实用新型所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现：

一种环保型真空泵，包括驱动电机、真空泵及与所述真空泵连接的油箱部件，所述驱动电机驱动所述的真空泵工作，其特征在于，还包括一独立风机，所述独立风机安装在所述的真空泵的一侧，所述驱动电机安装在所述真空泵的另一侧。

本实用新型采用独立风机后，独立风机的功率设计可以完全不依赖于真空泵的功率设计，因此独立风机的功率可以设计的更高一些，提高了真空泵的冷却效率。

在本实用新型中，所述的驱动电机的输出轴与所述真空泵的输入轴之间采用直联方式进行联接。进一步的方式是所述驱动电机的输出轴、真空泵的输入轴以及所述独立风机的风机位于同一平面上。采用这样的直联方式后，使整个真空泵系统更加紧凑，同时独立风机吹出的冷却风能兼顾真空泵和驱动电机。

在本实用新型中，所述的驱动电机的输出轴与所述真空泵的输入轴之间通过一内齿式联轴器联接，安装、使用和维护更加方便。

为了改进风冷效果，同时为了避免操作工人不被烫伤，在所述真空泵的泵体外加装一挡板，所述挡板与所述真空泵的泵体之间设置有强制通风通道。

为了减少真空泵和驱动电机在工作时，因震动而发出的噪声，本实用新型在所述真空泵的泵体底部和驱动电机的电机壳底部安装有橡胶缓冲地脚。

本实用新型在所述真空泵与所述的油箱部件之间设置有回油冷却管和供油管，所述回油冷却管回绕于所述驱动电机与所述真空泵的联接处。在所述回油冷却管上设置有若干翅片，以改进油冷却管的冷却效果。

为了改善循环使用的真空泵油，所述供油管通过一油过滤器连接所述油箱部件的油箱供油口。通过油过滤器，可以过滤掉真空泵油中的杂质，提高真空泵油的质量。

为了防止真空泵油由吸气口返回至真空系统，给真空系统造成污染，本实用新型所述真空泵上的吸气阀采用单向阀，可以有效地杜绝返油现象的发生。

为了防止回油时，对真空度造成影响，本实用新型所述油箱组件的回油处设置有回油阀和浮子回油结构，所述浮子回油结构中的回油口通过回油管连接至所述真空泵的吸气口。采用回油阀和浮子回油结构的双保险回油，不会造成回油过程中的真空度损失。

本实用新型在油箱部件内设置有排气油雾滤芯，使油气分离达到环保效果。

本实用新型将所述环保真空泵中油管连接所使用的接头用扩口接头来替代现有的卡套接头，将线密封改为面密封，密封效果好，维修起来非常方便。

本实用新型在真空泵的排气口处设置有一气镇阀，以很好地抽取排出气体中的可凝气体，以避免污染真空油品。

由于采用了如上的设计方案，本实用新型具有体积小、重量轻的优点。采用空气冷却，无需水冷，使用更加方便，成本低。内置排气油雾滤芯，排气洁净无污染。吸气口带有单向阀，可防止真空泵油返入真空系统。使用橡胶地脚，震动小、噪声低，可放在平面上工作。本实用新型可以在极限真空到大气压全范围内持续工作。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式来进一步说明本实用新型。

图1为本实用新型的环保型真空泵的外形结构示意图。

图2为图1左视图。

图3为图1的俯视图。

图4为本实用新型的环保型真空泵的内部结构原理示意图。

图5为本实用新型所述齿式联轴器的结构示意图。

图6为图5的A-A剖视图。

图7为本实用新型所述的气镇阀的外形示意图。

图8为本实用新型所述回油阀的原理示意图。

图9为本实用新型所述的浮子回油结构的原理示意图。

图10为现有卡套接头的结构示意图。

图11为本实用新型所述的扩口接头的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1、图2、图3、图4所示，本实施例的真空泵以旋片式真空泵为例进行描述。

该旋片式真空泵包括驱动电机1、旋片式真空泵2、与旋片式真空泵2连接的油箱部件3和独立风机4，驱动电机1和独立风机4分别安装在旋片式真空泵2的两侧，其中驱动电机1的输出轴与旋片式真空泵2的输入轴以及独立风机4的风机轴基本上位于同一平面上，三者基本上呈直联方式。

参看图1、图5、图6，驱动电机1的输出轴11和旋片式真空泵2的输入轴21采用齿式联轴器5进行联接。

独立风机4安装在旋片式真空泵2上，其出风口对着旋片式真空泵2，对旋片式真空泵2及驱动电机1实施冷却。采用独立风机4后，独立风机4的功率设计可以完全不依赖于真空泵的功率设计，因此独立风机的功率可以设计的更高一些，提高了真空泵的冷却效率。

为了改进风冷效果，同时为了避免操作工人不被烫伤，在旋片式真空泵2的泵体外加装一挡板6，挡板6的形状呈曲折形状，与旋片式真空泵2的泵体之间有一段距离，这一段距离正好构成挡板6与旋片式真空泵2的泵体之间的强制通风通道61。独立风机4吹出的风可以通过该强制通风通道61加速，形成更好的冷却效果。

为了减少旋片式真空泵2和驱动电机1在工作时，因震动而发出的噪声，在旋片式真空泵2的泵体底部和驱动电机1的电机壳底部安装有橡胶缓冲地脚7。采用橡胶缓冲地脚7可以使整个真空泵系统放在平面上工作。

参看图3，在旋片式真空泵2与油箱部件3之间设置有回油冷却管8和供油管9。参看图1，回油冷却管8回绕于驱动电机1与旋片式真空泵2的联接处，这样可以延长冷却距离。为更好地提高冷却效果，在回油冷却管8上设置有若干翅片。

一般来说，真空泵油31都是循环使用的。为了改善循环使用的真空泵油31，供油管9通过一油过滤器32连接油箱部件的油箱供油口。通过油过滤器，可以过滤掉真空泵油31中的杂质，提高真空泵油31的质量。

在旋片式真空泵2的吸气口22安装有过滤网23和吸气阀24，为了防止真空泵油31由吸气口22返回至真空系统，给真空系统造成污染，该吸气阀24采用单向阀，可以有效地杜绝返油现象的发生。

参见图4和图7，旋片式真空泵2的排气口25处安装有一个排气阀26和一个气镇阀27，气镇阀27可以很好地抽取排出气体中的可凝气体，以避免污染真空油品31。在气镇阀27上设置有可调节的手轮271，以调整气镇阀27的流量。

参见图4和图8、图9，为了防止在回油过程中，对真空度造成损失，在油箱部件3中的回油处设置有回油阀33和浮子回油结构35，浮子回油结构35中的浮子351随回油处的油面的升降而升降。当回油处回油过多时，油面上升，浮子352随之上升，打开浮子回油结构35中的回油口通过回油管352送至吸气口22。当回油处油面下降，浮子352随之下降，关闭浮子回油结构35中的回油口。采用回油阀33和浮子回油结构35双保险回油结构后，可以在回油过程中，因为回油处的泄漏，造成真空度损失。

参见图4，在油箱部件3内设置有排气油雾滤芯34，使油气分离达到环保效果。

本实施例中的油管连接所使用的接头用扩口接头91(参见图10)来替代现有的卡套接头92(参见图11)，将线密封改为面密封，密封效果好，维修起来非常方便。由于扩口接头91和卡套接头92均为本领域技术人员所熟知，在此不再详细描述。

以上是本实用新型的实施方式之一，对于本领域内的一般技术人员，不花费创造性的劳动，在上述实施例的基础上可以做多种变化，同样能够实现本实用新型的目的。但是，这种变化显然应该在本实用新型的权利要求书的保护范围内。

Claims

1.一种环保型真空泵，包括驱动电机、真空泵及与所述真空泵连接的油箱部件，所述驱动电机驱动所述的真空泵工作，其特征在于，还包括一独立风机，所述独立风机安装在所述的真空泵的一侧，所述驱动电机安装在所述真空泵的另一侧。

2.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，所述的驱动电机的输出轴与所述真空泵的输入轴之间采用直联方式进行联接。

3.如权利要求2所述的环保型真空泵，其特征在于，所述驱动电机的输出轴、真空泵的输入轴以及所述独立风机的风机位于同一平面上。

4.如权利要求2所述的环保型真空泵，其特征在于，所述的驱动电机的输出轴与所述真空泵的输入轴之间通过一内齿式联轴器联接。

5.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，在所述真空泵的泵体外加装一挡板，所述挡板与所述真空泵的泵体之间设置有强制通风通道。

6.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，在所述真空泵的泵体底部和驱动电机的电机壳底部安装有橡胶缓冲地脚。

7.如权利要求2所述的环保型真空泵，其特征在于，在所述真空泵与所述的油箱部件之间设置有回油冷却管和供油管，所述回油冷却管回绕于所述驱动电机与所述真空泵的联接处。

8.如权利要求7所述的环保型真空泵，其特征在于，在所述回油冷却管上设置有若干翅片。

9.如权利要求7所述的环保型真空泵，其特征在于，所述供油管通过一油过滤器连接所述油箱部件的油箱供油口。

10.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，所述真空泵上具有一吸气阀，所述吸气阀采用单向阀。

11.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，所述油箱组件具有一回油处，所述回油处设置有回油阀和浮子回油结构，所述浮子回油结构中的回油口通过回油管连接至所述真空泵的吸气口。

12.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，在所述油箱部件内设置有排气油雾滤芯。

13.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，所述环保真空泵中油管连接所使用的接头为扩口接头。

14.如权利要求1所述的环保型真空泵，其特征在于，所述真空泵具有一排气口，在所述排气口处设置有一气镇阀。