CN201141761Y - 大行程工作台装置 - Google Patents

大行程工作台装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201141761Y
CN201141761Y CNU2008203000893U CN200820300089U CN201141761Y CN 201141761 Y CN201141761 Y CN 201141761Y CN U2008203000893 U CNU2008203000893 U CN U2008203000893U CN 200820300089 U CN200820300089 U CN 200820300089U CN 201141761 Y CN201141761 Y CN 201141761Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
screw rod
screw
ball bearing
guide rail
ball
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNU2008203000893U
Other languages
English (en)
Inventor
邴守东
张武学
黄晓鹏
费玖海
王永忠
何桂萱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Semiconductor Equipment Institute
Original Assignee
Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Semiconductor Equipment Institute filed Critical Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority to CNU2008203000893U priority Critical patent/CN201141761Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201141761Y publication Critical patent/CN201141761Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

一种大行程工作台装置，两条直线导轨分别平行固定在导轨座的两边，直线导轨上滑动连接有导轨滑块，两条直线导轨之间平行设置一根滚珠丝杠，滚珠丝杠上串有丝杠母架和丝杠母，滚珠丝杠的一端支撑在导轨座上的丝杠支架上，另一端支撑在导轨座上的丝杠支撑座上，滚珠丝杠由连轴器与电机的输出轴连接；在导轨座上、位于滚珠丝杠的一侧，还固定有一个与滚珠丝杠平行的光栅主尺，光栅主尺旁侧有一个随丝杠母架运动的光栅动尺。上述丝杠支撑座和丝杠支架旁边固定有光电开关。该装置集移动机构和光栅测距机构于一体，可同时完成执行部件移动和光栅测距两种功能，结构紧凑、运行平稳、定位精度高、装配方便、控制可靠，可应用于自动光学检测仪。

Description

大行程工作台装置
(一)技术领域
本实用新型涉及一种工作台，特别是一种应用在自动光学检测设备上的工作台。
(二)背景技术
自动光学检测设备上的工作台用于承载自动光学检测设备的核心部件和安装有真空系统的承板台，同时，该工作台上还安装有进行取像用的精密线扫描CCD相机和精密光学镜头。因此，这类工作台的精确定位和平稳运行是获得高质量图像的前提。而现有的这类工作台是由平V形滑动摩擦导轨导向的，它由步进电机驱动滚珠丝杠或T形丝杠转动，带动CCD相机和精密光学镜头等执行部件完成运动功能，并由脉冲计数定位。其执行部件移动和光栅测距两种功能分别由两套复杂的机构分别完成，具有定位精度低、响应速度慢、运行速度低、整体机械结构复杂、加工和装配调试周期长、装配调试技术要求高、不能悬臂安装等缺点。
(三)实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种大行程工作台装置，要解决现有工作台装置结构复杂、不易装配调试、定位精度低、响应速度慢，运行速度低的技术问题。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种大行程工作台装置，导轨座1上固定有直线导轨2，其特征在于：直线导轨2有两条，它们分别平行固定在导轨座1的两边，直线导轨2上滑动连接有导轨滑块4，两条直线导轨2之间平行设置一根滚珠丝杠12，滚珠丝杠12上串有丝杠母架10和丝杠母11，滚珠丝杠12的一端支撑在导轨座上的丝杠支架13上，另一端支撑在导轨座上的丝杠支撑座6上，滚珠丝杠12由连轴器8与电机7的输出轴连接；
在导轨座1上、位于滚珠丝杠12的一侧，还固定有一个与滚珠丝杠12平行的光栅主尺5，光栅主尺5旁侧有一个随丝杠母架10运动的光栅动尺3。
优选的技术方案：上述丝杠支撑座6和丝杠支架13旁边固定有光电开关9。
与现有技术相比本实用新型具有以下特点和有益效果：
本实用新型集移动机构和光栅测距机构于一体，可以同时完成执行部件移动和光栅测距两种功能，具有结构紧凑、简洁明快、运行平稳、定位精度高、装配方便、控制可靠且实用的特点，可以改善微细图形的自动检测质量和效率。并可采用速度环、位置环双闭环控制设计，实现工作台的速度及位置控制，通过建立补偿表的方式可提高系统的定位精度。可以完成印制板的放置、移动功能，适合于印制板的检测，特别适用于在PCB-500型自动光学检测仪或类似设备上使用。
(四)附图说明
下面结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
附图标记：1-导轨座、2-直线导轨、3-光栅动尺、4-导轨滑块、5-光栅主尺、6-丝杠支撑座、7-电机、8-连轴器、9-光电开关、10-丝杠母架、11-丝杠母、12-滚珠丝杠、13-丝杠支架。
(五)具体实施方式
实施例参见图1所示，这种大行程工作台装置，导轨座1上固定有直线导轨2，其特征在于：直线导轨2有两条，它们分别平行固定在导轨座1的两边，每根直线导轨2上滑动连接两个导轨滑块4，两条直线导轨2之间平行设置一根滚珠丝杠12，滚珠丝杠12上串有丝杠母架10和丝杠母11，丝杠母架10上固定有执行部件，滚珠丝杠12的一端支撑在导轨座上的丝杠支架13上，另一端支撑在导轨座上的丝杠支撑座6上，滚珠丝杠12由连轴器8与电机7的输出轴连接。
在导轨座1上、位于滚珠丝杠12的一侧，还固定有一个与滚珠丝杠12平行的光栅主尺5，光栅主尺5旁侧有一个随丝杠母架10运动的光栅动尺3，光栅动尺3可与执行部件相连，以便与之同步运动。
为控制丝杠母架10的行程位置，在上述丝杠支撑座6和丝杠支架13旁边固定有光电开关9。使移动机构在两个方向位置均有调整功能。
本实用新型的工作过程：工作台装置采用直线导轨导向，由交流伺服电机通过联轴器驱动滚珠丝杠转动，丝杠母11和丝杠母架10沿丝杠移动，丝杠母架10带动固定其上的CCD相机、光学镜头等执行部件随同运动；光栅测距机构由执行部件带着光栅动尺相对光栅主尺移动，通过读数头的光电转换，发送出与位移量对应的数字脉冲信号，用作位置反馈信号或位置显示信号，将光栅动尺3位于光栅主尺的位置信息及时反馈至主机，编码器反馈构成速度环控制，光栅尺反馈构成位置环控制，从而同时完成测距功能和运动功能。

Claims (2)

1.一种大行程工作台装置，导轨座(1)上固定有直线导轨(2)，其特征在于：直线导轨(2)有两条，它们分别平行固定在导轨座(1)的两边，直线导轨(2)上滑动连接有导轨滑块(4)，两条直线导轨(2)之间平行设置一根滚珠丝杠(12)，滚珠丝杠(12)上串有丝杠母架(10)和丝杠母(11)，滚珠丝杠(12)的一端支撑在导轨座上的丝杠支架(13)上，另一端支撑在导轨座上的丝杠支撑座(6)上，滚珠丝杠(12)由连轴器(8)与电机(7)的输出轴连接；
在导轨座(1)上、位于滚珠丝杠(12)的一侧，还固定有一个与滚珠丝杠(12)平行的光栅主尺(5)，光栅主尺(5)旁侧有一个随丝杠母架(10)运动的光栅动尺(3)。
2.根据权利要求1所述的大行程工作台装置，其特征在于：上述丝杠支撑座(6)和丝杠支架(13)旁边固定有光电开关(9)。
CNU2008203000893U 2008-01-16 2008-01-16 大行程工作台装置 Expired - Fee Related CN201141761Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008203000893U CN201141761Y (zh) 2008-01-16 2008-01-16 大行程工作台装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008203000893U CN201141761Y (zh) 2008-01-16 2008-01-16 大行程工作台装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201141761Y true CN201141761Y (zh) 2008-10-29

Family

ID=40069472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2008203000893U Expired - Fee Related CN201141761Y (zh) 2008-01-16 2008-01-16 大行程工作台装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201141761Y (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101936711A (zh) * 2010-08-26 2011-01-05 湖北富升锻压机械有限公司 锻压设备滑块行程和速度检测装置
CN104238108A (zh) * 2014-09-10 2014-12-24 西安交通大学 自动遮光调节装置及其控制方法
CN104776803A (zh) * 2015-04-13 2015-07-15 赛轮金宇集团股份有限公司 一种胎面自动检长装置及其监测方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101936711A (zh) * 2010-08-26 2011-01-05 湖北富升锻压机械有限公司 锻压设备滑块行程和速度检测装置
CN104238108A (zh) * 2014-09-10 2014-12-24 西安交通大学 自动遮光调节装置及其控制方法
CN104776803A (zh) * 2015-04-13 2015-07-15 赛轮金宇集团股份有限公司 一种胎面自动检长装置及其监测方法
CN104776803B (zh) * 2015-04-13 2017-07-14 赛轮金宇集团股份有限公司 一种胎面自动检长装置及其监测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201697614U (zh) 用于测量小型机械零件表面轮廓和粗糙度的测量仪
CN203024970U (zh) 滚动直线导轨副综合精度及性能测试装置
CN201141761Y (zh) 大行程工作台装置
CN102305968B (zh) 一种激光扩束镜换位机构
CN208840899U (zh) 一种双驱龙门结构
CN112344886B (zh) 一种电梯空心导轨几何误差测量装置及测量方法
CN201141980Y (zh) 自动变倍摄像装置
CN208054747U (zh) 起重机械高空轨道智能检测小车
CN216385492U (zh) 一种光栅尺检测组件
CN109108672A (zh) 一种双驱龙门结构
CN109580198A (zh) 一种微动开关自动检测装置
CN201607210U (zh) 一种凸轮测量仪
CN202330259U (zh) 菲林片检测装置
CN201764948U (zh) 一种影像测量仪
WO2022068181A1 (zh) 一种电动高精度二维载物台
CN114310932A (zh) 一种用于挂轨式巡检机器人的定位装置
CN208443329U (zh) 一种尺寸测量设备
CN202361952U (zh) 影像测量仪及其工作平台的x/y轴传动装置
CN203396356U (zh) 影像测量仪步进电机摩擦传动装置
CN108917576B (zh) 尺寸测量设备及其测量方法
CN215219353U (zh) 一种液晶面板自动检测机台
CN221006221U (zh) 一种大理石直线电机检测平台
CN220983322U (zh) 一种速度传感器测试的气隙调整装置
CN201885653U (zh) 一种c型油压机的行程数显检测装置
CN205580479U (zh) 一种船舶升沉运动测量仪检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20081029

Termination date: 20140116