CN201087976Y - 层压机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种容易进行压接辊的装卸，并简化临时贴附部的装置的层压机。其具有薄膜供给部、将薄膜临时贴附在基材上的临时贴附部、对基材和薄膜进行热熔敷的热熔敷部，可以简化临时贴附部的构造，通过缸体机构可以容易进行压接辊的装卸。根据本实用新型，可以避免装置内的废料的产生和附着，并且还容易进行清洁，可以提高产品成品率。

Description

层压机

技术领域

本实用新型涉及层压机，更为具体地，涉及以规定长度切断层压用薄膜以连续、自动地将其熔敷在另外供给的基材上的层压机。

背景技术

以往，层压机用于印刷电路基板的制造，该装置用于将例如在基薄膜上涂敷了树脂后以覆盖薄膜覆盖的3层薄膜热熔敷在另外供给的具有规定长度的基材上。

印刷电路基板是利用在导电性金属基板上热熔敷由制造印刷电路基板的感光性树脂制成的薄膜所形成的层压体来制造的。在这种层压体的基材上的感光性树脂上，通过描绘布线图案的负片或正片照射活性光线，使被照射的部分的感光性树脂光聚合或光致蜕变，在感光性树脂为光致蜕变型的情况下，通过溶剂除去光致蜕变部分，在通过该除去而露出的部分上，利用导电性金属用溶解液进行蚀刻处理，之后，通过剥离液除去残留在基材上的感光性树脂，从而制造而成。

能够制造这种层压体的层压机是公知的(参见专利文献1)。在专利文献1中披露的层压机的特征在于：为了迅速进行原材料薄膜的供给，设置两个原材料薄膜辊，通过接续部连续供给薄膜。该层压机具有基材料供给部、工作台部、接续部、临时贴附部以及热熔敷部(参见图25)。在基材供给部I，使设有用于检测、记录基材101的行进距离、速度的脉冲编码器的驱动辊102转动并供给基材101。从转台部II供给原材料薄膜，从设置在该转台部II上的两个原材料薄膜辊111、121剥离覆盖薄膜113、123并将其卷绕至纸筒管114、124上，剥离了覆盖薄膜的原材料薄膜112、122经过接续部III，并在临时贴附部IV切断成规定的尺寸。在临时贴附部IV上设有可自由升降且在薄膜对接表面上具有吸引机构的临时贴附块108，通过上述临时贴附块108，一边吸引连续供给的薄膜112，一边使其下降，并使其与由辊104导引的基材101对接。临时贴附块108的下部前端弯曲，通过内置的加热装置熔敷薄膜112的前端和基材101的前端。接着，通过具有吸引机构的真空夹具109的吸引力将薄膜导引至规定位置处，并且，将基材和薄膜输送至热熔敷部，通过两对上下压接辊进行热熔敷。详细地说，上下驱动机构141、141’动作以使上压接辊138、138’下降，使上压接辊138、138’与下压接辊139、139’以具有一定间隙的方式对接，通过上压接辊和下压接辊按压薄膜112并对其进行加热以将其熔敷在基材101上。另外，在热熔敷之后，通过驱动辊132的运动使其以箭头a的方向行进。通过驱动辊132驱动热熔敷部的下压接辊139、139’。若先行的薄膜112的原材料薄膜111仅残留一点，则在接续部III，吸附后续薄膜122的前端的真空吸附辊130热熔敷后续薄膜122，之后，通过切断机136切断先行的薄膜112，以确保原材料薄膜的继续供给。

用于印刷电路基板的基材中，存在用于形成电路的孔或用于位置对准用的孔，在这种基材上形成细密的电路图案时，需要细密、均匀地将感光性树脂薄膜层压到基材上，因此，重要的是：层压机应在基材上以不形成细微气泡或褶皱的方式层压及热熔敷感光性树脂薄膜，并且，在基材上加工的孔的端面上还应充分层压感光性树脂薄膜。对于提高层压强度，有效的是使感光性树脂薄膜软化，也有在压接辊的内部装入加热器，并且，以耐热性橡胶覆盖辊表面的结构(专利文献2)。在该专利文献2中，为了防止褶皱的发生，应使用两组压接辊，以低温进行第一级热熔敷，以比第一级高的高温进行第二级热熔敷。

专利文献1：特开2000-888号公报

专利文献2：特公平2-61024号公报

但是，伴随电子装置的性能提高，基材要实现高密度化，从而要求制造薄型印刷电路基板。并且，还在研发用于在从极厚至超薄板的多种尺寸的基材上进行层压的压接辊，并且，为了提高层压的强度，使用了内置有加热器的压接辊。因此，存在当使用薄板基材时基材因热量而延伸的情况，另外，还存在利用压接辊进行热熔敷时产生褶皱的情况。若在基材上的薄膜上存在褶皱，则在所获得的层压体上形成电路以制造印刷电路基板的工序中，不能恒定地进行曝光时的感光，从而导致出现品质不良的情况。

另外，通常，在层压机中使用的压接辊为了确保层压强度而采用了坚固的结构，压接辊的更换需要拆卸装置并以手工作业完成。

但是，对于印刷电路基板中使用的基材而言，由于采用铜箔等金属，因而端面较硬，在将以规定尺寸切断的单张制品用作基材的层压机中，存在基材的两端或前后表面上的角部会损伤压接辊的情况。另外，由于通常以100～130℃加热压接辊，因此，由于该加热，感光性树脂薄膜的粘着性会提高并产生塑性流动以致热熔敷在基材上，另外，还存在由薄膜露出的感光性树脂附着在压接辊上，从而导致压接辊污染的情况。另外，为了基材能够伴随电子装置的性能提高而实现高密度，使用从极厚至超薄板的多样化的基材，利用最适于所使用的基材的压接辊进行热熔敷，还研发了各种压接辊。因此，根据使用频率和使用方法，在压接辊表面磨损的情况下，在由最适于基材等的压接辊进行热熔敷的情况下，最好能够简便地装卸压接辊，但是，目前，在压接辊的更换作业中需要经验和时间。

在将感光性树脂薄膜临时贴附在基材上时，需要选择感光性树脂薄膜的宽度，以位于距基材的端部向内侧数mm位置，确保其不会从基材的两个端面以及前后面露出。为了不松弛且精度良好地将感光性树脂薄膜临时贴附在单张基材的前端部分上，使用了临时贴附块并利用真空来吸附感光性树脂薄膜并将其熔敷在基材上的规定位置处。另外，为了对应不同的薄膜宽度的使用，在临时贴附块上、沿宽度方向设置多个真空腔室，从而形成各个腔室的真空能够独立接入和断开的配管系统。临时贴附块为了输送薄膜并将其临时熔敷在基材上，要反复上下移动，为了确保该上下移动，应在临时贴附块的背后设置与真空腔室相连的长树脂管和多个电磁阀。另一方面，热熔敷部设置在临时贴附块的下部，从而感光性树脂薄膜从基材露出的部分等形成废料并易于飞散。

但是，废料等易于附着在临时贴附块背后的多根配管上，一旦废料附着，通过临时贴附块的上下移动，会使废料在周围气体环境中进一步扩散，这些废料会附着在下部热熔敷部中的压接辊和基板上的薄膜上，从而成为降低产品质量的一个因素。因此，需要进行热熔敷部的清洁，如上所述，在其上部设置多根树脂管会显著降低清除效率。特别是在制造印刷电路基板等的情况下，为了防止废料附着，需要提高装置的清洁度，但是，却存在上述树脂管使废料滞留的情况，成为形成清洁度降低的原因。

实用新型内容

针对上述现状，本实用新型的目的在于：提供一种层压机，该装置能够应对基材的多样化，即使在热熔敷时，基材因热膨胀而延伸的情况下，也不会产生褶皱等，并且，能够提高层压强度，并均匀地进行热熔敷。

另外，本实用新型的目的在于：提供一种层压机，该装置能够缩短压接辊的辊更换时间，即使没有经验的技术人员也能够简便地进行辊的更换，并具有简便更换压接辊的机构。

另外，本实用新型的目的在于：提供一种层压机，该装置能够消除形成于临时贴附块背面上的真空用配管上的废料附着，并容易进行清洁。

本发明人通过详细研究在层压机的热熔敷部上，临时贴附有感光性树脂薄膜的基材的输送和热熔敷关系的结果可以得知：通过第一级压接辊和第二级压接辊两对压接辊、以两个阶段进行压接辊的热熔敷，在对基材与感光性树脂进行热熔敷时，若使第二级压接辊的转动速度不同于第一级压接辊的转动速度，即使在基材因热量而延展的情况下，也能防止感光性树脂薄膜产生褶皱，由此完成本实用新型。

另外，若预先通过由压接辊部85及其两端的轴部构成设置在热熔敷部上的压接辊，并设置对应多种基材的压接辊部85，则通过仅更换上述压接辊部85，就可以对应多种基材、由最适合的压接辊进行热熔敷，以及，若采用使上述压接辊部85与轴部可以通过嵌合连接的结构，在至少一个轴部上设置气缸等可变机构，并通过上述可变机构使上述轴部横向移动，则能够容易地仅取出压接辊部85，从而易于进行压接辊的更换，由此完成本实用新型。

在临时贴附块上设置用于向临时贴附块的各个腔室提供真空的分配机构，若通过上述分配阀的开闭向临时贴附块的真空腔室的供给真空，并且，通过与真空泵相连的1根或2根真空供给配管向上述分配机构供给真空，则能够除去设置在临时贴附块上的多根真空配管，因此，层压机的结构变得简单并且能够防止废料的存积及扩散，由此完成本实用新型。

即，解决上述课题的层压机，设有：供给层压用薄膜的薄膜供给部、通过临时贴附块保持所述薄膜的前端并将其临时贴附在基材上的临时贴附部、和将所述薄膜热熔敷在临时贴附的基材上的热熔敷部，其特征在于，所述热熔敷部具有第一级压接辊、驱动第一级压接辊旋转的第一驱动机构、第二级压接辊、和驱动第二级压接辊旋转且相对第一驱动机构独立驱动的第二驱动机构。

另外，在解决上述课题的层压机中，上述第一驱动机构和/或第二驱动机构为可变速马达。

解决上述课题的层压机设有：供给层压用薄膜的薄膜供给部、通过临时贴附块保持所述薄膜的前端并将其临时贴附在基材上的临时贴附部、和将所述薄膜热熔敷在临时贴附的基材上的热熔敷部，其特征在于，所述热熔敷部具有：第一级压接辊；第二级压接辊；和驱动所述压接辊旋转的驱动机构，使第二级压接辊的旋转速度比第一级压接辊的旋转速度快地进行旋转驱动，并且构成为从第二级压接辊侧通过单向离合器将驱动机构的输出向第一级压接辊侧输出。

解决上述课题的层压机设有供给层压用薄膜的薄膜供给部、通过临时贴附块保持上述薄膜的前端并将其临时贴附在基材上的临时贴附部、将上述薄膜热熔敷在临时贴附的基材上的热熔敷部，其特征在于，上述热熔敷部具有不同辊外径的第一级压接辊和第二级压接辊，驱动机构的输出通过单向离合器向第一级压接辊和第二级压接辊传递。

解决上述课题的层压机，其特征在于，通过由不同齿轮比或者不同辊外径构成第一级压接辊和第二级压接辊，使第二级压接辊的旋转速度比第一级压接辊的旋转速度快地进行旋转驱动。

在解决上述课题的层压机中，上述压接辊装卸机构通过气缸、液压缸、马达滑动机构或手动滑动机构，使上述压接辊轴部移动。

解决上述课题的层压机设有供给层压用薄膜的薄膜供给部、通过临时贴附块保持上述薄膜的前端并将其临时贴附在基材上的临时贴附部、将上述薄膜热熔敷在临时贴附的基材上的热熔敷部，其特征在于，上述临时贴附块由临时贴附块主体、分配真空的真空分配阀以及真空路切换机构构成。

在解决上述课题的层压机中，真空路切换机构为通过滑阀的横向移动实现真空切换的机构。

根据本实用新型，通过使热熔敷部的压接辊形成第一辊对和第二辊对两组，并组装入能够改变各辊对的转动速度的机构，从而能够防止热熔敷时褶皱的产生。因此，在急速发展的薄基材的印刷电路基板的层压中，能够确保层压质量并提高成品率。

另外，不仅能有效地防止褶皱的产生，而且还能有效地防止基材发生弯曲。

根据本实用新型，由于采用了将压接辊分为压接辊部85及其两端的压接辊轴部87的结构，因此，通过共同使用压接辊轴部87并组合不同的压接辊部85，能够以低成本制造压接辊。

根据本实用新型，由于采用了将压接辊分为压接辊部85及其两端的压接辊轴部87的结构，因此，能够容易地进行压接辊部85的装卸。

特别是，由于采用了能够横向移动压接辊轴部87的机构，因此，即使是不熟练的技术人员，也能够简单地进行压接辊的更换。另外，由于能够缩短辊的更换时间，因此，提高了生产率。

根据本实用新型，由于采用了将压接辊分为压接辊部85及其两端的压接辊轴部87的结构，因此，能够根据多种印刷电路基板的形状和尺寸，简便地安装最适合的压接辊。

根据本实用新型，由于在临时贴附块的背后设置了真空分配阀，因此，能够减少真空供给用配管的数量。

根据本实用新型，易于进行位于临时贴附块下部的热熔敷部、特别是压接辊的清洁。另外，由于真空供给用配管较少，因此，减少了压接辊的污染，并能够防止因污染引起的产品质量的降低。

附图说明

图1显示了本实用新型的层压机的大致情况。

图2显示了本实用新型中的临时贴附块的动作。

图3显示了在本实用新型中使用的临时贴附块30的纵向剖视图。

图4显示了构成本实用新型中使用的临时贴附块的临时贴附块主体30A，真空分散板30B，真空路切换机构30C的各个侧视图。

图5显示了临时贴附块主体30A的主视图(左侧图)、后视图(中央图)和纵向剖视图(左侧图)。

图6显示了本实用新型中使用的真空分散板30B的主视图(左侧图)、后视图(中央图)和纵向剖视图(左侧图)。

图7显示了本实用新型中使用的真空路切换机构30C的主视图(左侧图)、后视图(中央图)和纵向剖视图(左侧图)。

图8显示了本实用新型中使用的定位板30D的主视图(左侧图)、后视图(中央图)和纵向剖视图(左侧图)。

图9示了本实用新型中使用的临时贴附块主体30A，真空分散板30B，真空路切换机构30C的透视图。

图10中显示了通过本实用新型中使用的真空路切换机构中滑阀的切换实现的真空流。

图11显示了定位板的使用例，其中，定位板用于维持通过本实用新型中使用的真空路切换机构中的滑阀切换后的位置。

图12显示了本实用新型的层压机的由第一级压接辊和第二级压接辊的上压接辊的独立驱动机构形成的驱动机构。

图13显示了本实用新型的层压机的在第一级压接辊和第二级压接辊的上压接辊的驱动机构的输出轴上安装了单向离合器的驱动机构的示意图。

图14显示了单向离合器的结构。

图15显示了在本实用新型中使用的压接辊部85和压接辊轴部87能够嵌合的结构的压接辊的侧视图。

图16显示了在本实用新型中使用的上述压接辊部85和压接辊轴部87的嵌合方法。

图17显示了在本实用新型中使用的压接基材时的上下压接辊的状态。

图18显示了在本实用新型中使用的上压接辊和下压接辊的辊宽不同的阶状辊。

图19显示了在本实用新型中使用的第一级压接辊和第二级压接辊中上下压接辊的原材料不同的一个例子。

图20显示了在本实用新型中使用的第一级压接辊和第二级压接辊中上下压接辊的原材料不同的一个例子。

图21显示了在本实用新型中使用的第一级压接辊和第二级压接辊中上下压接辊的外径不同的一个例子。

图22说明了在本实用新型中使用的安装有压接辊的压接辊装卸机构的构造。

图23显示了在本实用新型中使用的压接辊装卸机构和压接辊的关系。

图24显示了从本实用新型中使用的压接辊装卸机构取出压接辊的结构。

图25为说明以往的层压机的结构说明图。

具体实施方式

本实用新型的层压机具有薄膜供给部、临时贴附部以及热熔敷部，并且，其特征在于，临时贴附块部中的临时贴附块的保持机构、热熔敷部中的压接辊、压接辊装卸机构、热熔敷部的驱动机构。因此，除此之外的结构仍可采用以往层压机的结构。另外，本实用新型的层压机通过在基材的上面和下面均设置薄膜供给部、临时贴附部，从而能够在基材的两个面上层压感光性树脂膜。因此，为了方便，以下对仅在基材的上面层压规定长度的薄膜的情况进行说明。

首先，利用图1概括说明采用了本方式的层压机的结构。通过由驱动辊2驱动转动的辊4，将基材1输送至热熔敷部。虽然本实用新型的层压机也可具有这种基材的供给部，但是，也可使用仅进行基材供给的其它装置将基材供给至热熔敷部。

另一方面，由薄膜供给部PII供给热熔敷在基材上的感光性树脂膜。在薄膜供给部PII上，可转动地固定供给用的原材料薄膜10，剥离原材料薄膜10的覆盖薄膜13，并且，将其输送至临时贴附部PII。将剥离的覆盖薄膜13卷绕在覆盖薄膜辊15上。

将从原材料薄膜10剥离了覆盖薄膜13的层压用薄膜17输送至临时贴附部PII。在临时贴附部PII上，设置可自由升降并在薄膜对接表面具有吸引机构的临时贴附块30，将由切断机43和切断机承接部45切断成规定长度的薄膜17真空吸附在临时贴附块30上，通过临时贴附块30的下降移动，使其与由基材供给装配送的基材1的前端对接。临时贴附块30的下部前端弯曲，通过内置的加热装置热熔敷薄膜17的前端和基材1的前端。通过具有吸引机构的真空夹具40的吸引力以不会使薄膜17的后端落下的方式将其导引至基板1的规定位置处，并将基材1和薄膜17输送至热熔敷部PIII。

在热熔敷部PIII，通过上下驱动机构50，50’的动作使上压接辊80、80’下降，并使它们与下压接辊83、83’之间具有一定间隙并对接，按压上述基材1和薄膜17，并且对它们进行加热以使它们热熔敷在一起。在热熔敷之后，以驱动辊60的运动使它们沿箭头(a)的方向行进。

(1)基材

在层压机中，能够供给各种基材以进行层压，并且，可通过层压体的目的用途进行适当的选择。在印刷电路基板的情况下，层压体适合使用在玻璃环氧树脂制成的芯材上覆盖了铜等的基材、金属薄板、在聚酰胺上镀有金属的基材、玻璃等薄板。

基材的厚度虽没有限制，但一般为30～4000μm。特别是，虽取决于基材的原材料，但薄板存在因热而延伸的情况，从而会产生无法均匀进行层压的情况，但是，根据本实用新型，即使在这种薄板上，仍能均匀地层压薄膜并进行热熔敷。

(2)层压用薄膜

“层压用薄膜”指被热熔敷在基材上的薄膜。以往，使用的是3层结构薄膜，在这种薄膜中，作为安装在薄膜供给部上的原材料薄膜，在基薄膜上涂覆有感光性树脂并在其上层压有覆盖薄膜；而在本实用新型中，则将剥离了覆盖薄膜后的薄膜称为层压用薄膜。层压用薄膜虽也可使用单层薄膜，但是，一般情况下，优选使用在基薄膜上形成感光性树脂的2层薄膜、或在其上另外涂覆有另一层树脂的3层薄膜。

可以通过由层压机制造的层压体的种类适当地选择层压用薄膜，例如，在制造印刷电路基板的情况下，作为感光性树脂，优选使用光聚合型或光致蜕变型的具有挠性的树脂。另外，为了实现防尘的目的而层压有覆盖薄膜。

(3)薄膜供给部

薄膜供给部PI为将层压用薄膜供给至临时贴附块B的部位。在直接将原材料薄膜10层压在基材上的情况下，设置从辊上抽出原材料薄膜的机构即可。另一方面，在原材料薄膜为将覆盖薄膜层压在层压用薄膜的感光性树脂上所形成的3层薄膜的情况下，还必需剥离并卷绕覆盖薄膜的机构。在图1中，将原材料薄膜10安装在旋转驱动轴11上，并且一边在辊上定位，一边将其输送至临时贴附块，同时，剥离覆盖薄膜13以将其卷绕回收至与原材料薄膜10的转动驱动轴11联动旋转的覆盖薄膜辊15上。另外，在图1中，虽然显示了一组原材料薄膜10和覆盖薄膜13，但是，如前面所述的专利文献1所示，也可以分别安装2组原材料薄膜和覆盖薄膜，并且，在先行的层压用薄膜的残留量变少的情况下，可采用与后续薄膜连结的机构等。

(4)临时贴附部

在临时贴附部PII上，设置临时贴附块30、真空夹具40、切断机43以及张紧辊47。从薄膜供给部PII供给的薄膜17被真空吸附在临时贴附块30上，该薄膜17以被临时贴附块30吸引的状态下降并与基材1的前端对接。此时，临时贴附块30除了上述上下移动以外，还如图2示意性示出的那样，越过切断机承接部45进行前后移动，由此能够可靠地将薄膜17热熔敷在基材1的前端部上。

具体来说，临时贴附块30可自由升降，并且，在与层压用薄膜17对接的表面上，沿与薄膜17的行进方向正交的方向开设多个与真空泵等吸引机构连通的微孔，临时贴附块30的前端朝基材输送方向以圆弧状弯曲。另外，真空夹具40设置在热熔敷部PIII的入口上部，并朝基材输送方向以圆弧状弯曲，其下部前端形成渐缩形状，并在与层压用薄膜17对接的表面上，开设多个吸引用微孔。

连续供给的层压用薄膜17通过张紧辊47、由临时贴附块30始终吸引，若基材1达到规定位置，则通过切断机43和切断机承接部45、以规定长度将其切断。临时贴附块30以保持吸引薄膜17的状态下降，弯曲的前端与基材1的前端对接。此时，张紧辊47略微上升，以将薄膜17保持在张紧状态。另外，如图2所示，吸引薄膜17的临时贴附块30下降并前进，以与基材1的前端对接，之后，后退并上升以恢复至原始位置。切断机43也在进行切断之后，自动返回至规定位置处。

在使薄膜17的前端与基材1的前端熔敷之后，伴随基材1的输送进一步送出薄膜17，并且，将其熔敷处的上游侧吸引至真空夹具40的周面上，采用相对基材1以锐角钻入并重合的方式供给由真空夹具40吸引的薄膜17，并将其输送至热熔敷部PIII。虽然作为由临时贴附块30实现的薄膜17的保持，对真空吸附的情况进行了说明，但是，本实用新型不应局限于此，例如，也可通过静电吸附或粘结剂等实现。

(5)临时贴附块

虽然也可使用以往公知的临时贴附块，但是，最好使用由临时贴附块主体、分配真空的真空分配阀、真空路切换机构构成的装置。以此方式，能够简化临时贴附块后部的结构，并能够有效地防止废料的附着或飞散。另外，通过简化装置，能够容易地进行其下部的热熔敷部PIII的清洁。

在图3中显示了本实用新型使用的临时贴附块30的纵向剖视图，在图4中显示了构成该临时贴附块的临时贴附块主体30A，真空分散板30B、真空路切换机构30C以及定位板30D的各侧视图，在图5、图6、图7、图8中分别显示了临时贴附块主体30A、分散板30B、真空路切换机构30C、定位板30D的主视图(左侧图)、后视图(中央图)和纵向剖视图(左侧图)，在图9中显示了临时贴附块主体30A、真空分散板30B、真空路切换机构30C的透视图，在图10中显示了通过滑阀的切换实现的真空流，在图11中显示了滑阀的位置固定方法。在本实用新型的临时贴附块中，如图3所示，临时贴附块主体30A、设置在其背面的分散板30B以及真空路切换机构30C形成一体，真空路切换机构与图中未示出的真空泵等吸引机构相连。

如图5所示，临时贴附块主体30A在薄膜接触面的一面上设有孔，并且，各个孔为贯通至背面的贯通孔，在临时贴附块主体30A的内部适当地聚集并在背面设置歧管孔的开孔。例如，在将上述贯通孔分为4个真空腔室的情况下，如图5所示，在临时贴附块主体30A的背面，设置第一真空腔室的歧管的开孔部a1、第二真空腔室的歧管的开孔部a2、第三真空腔室的歧管的开孔部a3以及第四真空腔室的歧管的开孔部a4。因此，在使用宽度较小的薄膜制造层压体的情况下，仅向第一真空腔室的歧管的开孔a1中提供真空即可。

真空分散板30B为内置有上述第一真空腔室至第四真空腔室的真空路的板状歧管。如图6所示，设置在其前面的开孔以与设置在临时贴附块主体30A背面的歧管的开孔部a1～a4一致的方式开口，并与其背面连通。在本实用新型中，真空分散板30B只要采用与临时贴附块主体的上述开孔连通的板状物，其形状就没有特别限制。然而，如图6所示，优选采用的形状为：下部与临时贴附块主体宽度相同，其上部与下部相比，横向宽度更小。真空分散板30B位于临时贴附块主体30A与后面所述的真空路切换机构30C的中间，其为仅向由真空路切换机构30C设定的真空路中提高真空的通道。因此，只要能确保气密性，其材料无关紧要。例如，可以由与临时贴附块主体30A或真空路切换机构30C相同的材料构成，也可在与上述定位板a1～a4的接触面上设置由合成橡胶等形成的填料。

本实用新型中，真空路切换机构30C通过滑阀(spool)的移动切换真空路。如图7所示，在真空路切换机构30C的前表面设置与真空分散板30B背面的歧管的开孔部a1～a4一致的开孔，在真空路切换机构30C的内部，与歧管平行设置滑阀孔，通过滑阀孔的横向移动，能够进行真空从第一真空腔室至第四真空腔室的切换。

定位板30D构成了真空路切换机构30C的一部分，如图8所示，其设有与滑阀孔的选择所对应的贯通孔，并且，该定位板为用于保持由真空路切换机构30C确定的真空路所使用的板状物。

在图10中显示了在所使用的临时贴附块30中的真空路切换机构30C中，通过滑阀孔的横向移动选择真空腔室的方法的一个例子。在图10中，30C为真空路切换机构，31C为歧管，33C为滑阀孔，35C为滑阀(斜线)，37C为真空泵连通配管，涂黑部分显示了真空路。

图10(1)显示了仅在第一真空腔室中提供真空的情况，图10(2)显示了在第一真空腔室和第二真空腔室中提供真空的情况，图10(3)显示了在第一真空腔室、第二真空腔室、第三真空腔室中提供真空的情况。图10(4)显示了在第一真空腔室、第二真空腔室、第三真空腔室以及第四真空腔室中提供真空的情况。如图10(1)～(4)所示，通过组合歧管31C以及滑阀孔33C并使滑阀35C横向移动，能够切换真空路。

另外，横向移动滑阀的方法和位置的固定方法不受特别限制，作为一个例子，在图9以及图11中显示了在手动横向移动滑阀时，通过将分度销31D插入定位板30D中，从而对滑阀的移动位置进行定位的装置。若以此方式手动横向移动并且通过定位板30D进行定位，则能够实现装置本身的小型化并使其简化。因此，能够简化临时贴附块主体30A后部的结构。另外，也可以采用装配液压缸或电磁阀并通过电磁阀的切换等使滑阀横向移动的结构，作为滑阀移动和保持的其它方法，也可以使用伺服马达或马达气缸等。

如上所述，本实用新型的临时贴附块在临时贴附块主体30A的背面设有真空分散板30B和真空切换机构C，如图6、9所示，真空分散板30B上部的横向宽度可小于临时贴附块主体30A的横向宽度，因此，如图9所示，真空切换机构C的横向宽度与真空分散板30B上部的横向宽度一样，可以小于临时贴附块主体的横向宽度。另外，真空切换机构C的定位板30D小于真空切换机构C的横向宽度。因此，根据本实用新型，通过设置上述真空分散板30B和真空切换机构C，能够以小型且简便的装置进行真空的切换以及真空的分配。因此，无需以往设置在临时贴附块背面的多根配管，并且，由于真空分散板30B和真空切换机构C均实现了小型化，因此，能够大大减少粉尘等的附着。另外，由于不存在真空分配用的配管，因此，易于进行临时贴附块以及下部的清洁。

(6)热熔敷部

在热熔敷部PIII，通过上下驱动机构而上下运动的上压接辊80下降，并在与下压接辊83之间进行按压，对由上述临时贴附块30等将薄膜17临时贴附在基材1上的单张基材进行热熔敷。熔敷了薄膜17的基材1通过驱动辊60的动作沿箭头a的方向行进并被排出。在本实用新型中，通过压接辊实现的热熔敷可以通过一对压接辊在一级中完成，也可以通过第一级压接辊和第二级压接辊2个阶段进行热熔敷。另外，在以第一级压接辊和第二级压接辊2个阶段进行热熔敷的情况下，所述第一级压接辊和第二级压接辊的旋转驱动如图1所示，可通过一个驱动机构进行，也可以通过独立的驱动机构进行。另外，使用的压接辊可使用以往公知的装置。

(7)压接辊驱动机构

本实用新型中，优选以第一级压接辊和第二级压接辊2个阶段进行热熔敷。此时，最好使第一级压接辊和第二级压接辊的旋转速度不同，并使第二级压接辊的旋转速度比第一级压接辊的旋转速度更快。以此方式，即使在薄板的基材因热量延展的情况下，通过第二级压接辊的旋转，也能迅速向排出口输送基材。并且，能够防止褶皱的产生。

(7-1)独立驱动机构

作为使第二级压接辊的旋转速度比第一级压接辊的旋转速度快的机构，如图12所示，例如设置驱动第一级压接辊旋转的第一驱动机构60、61；以及驱动第二级压接辊旋转的第二驱动机构60’、61’，由此以不同的旋转速度输送基材。通过这种独立的驱动机构，在薄板的基材因热量而延展的情况下，能通过第二级压接辊的旋转，向排出口迅速输送基材，能够防止褶皱的产生。

在图12中，第一级压接辊和第二级压接辊的上压接辊通过上下驱动机构50，50’垂下，并能够分别对应基材厚度上下移动，对于第一级压接辊和第二级压接辊的上压接辊，通过分别设置在下压接辊上的齿轮63、63’，将其旋转驱动力输送至上压接辊。通过可变速马达等驱动机构来旋转驱动上下压接辊，但如果通过共同的驱动机构旋转驱动第一级压接辊和第二级压接辊，则可能会在第一级压接辊和第二级压接辊上产生微妙的速度差。然而，根据本实用新型，由于第一级压接辊和第二级压接辊由独立的驱动机构旋转驱动，因此，能够防止这种速度差的产生。另外，在由独立的驱动机构旋转驱动时，若使第二级压接辊的旋转比第一级压接辊的旋转快，则即使在热熔敷时基材延展，仍能避免褶皱的产生。

各种驱动机构不应局限于通过齿轮将驱动力传递至第一级压接辊和第二级压接辊的情况，也可通过齿轮以外的皮带来传递驱动力。

根据本实用新型，例如，对于薄板基材而言，存在热膨胀会导致基材发生延伸而产生弯曲的情况，或存在因压接辊的载荷而产生伴随橡胶变形的直径差以致旋转速度发生变化的情况，通过单独设置独立的驱动机构的速度差，能够改变第一级压接辊或第二级压接辊的输送速度，从而能够有效地防止热熔敷时褶皱的产生等。独立驱动时的速度控制可采用控制、维持通常由伺服马达或变频马达等可变速马达的控制装置指定的速度的方法。在改变整体速度的情况下也以保持比率的方式控制第一驱动和第二驱动的速度差的方式是通常做法。将这些可变速马达的速度控制在与马达轴直接连接的速度检测器指定的速度，从而速度的控制是非常稳定且准确的。因此，在急速发展的薄基材的印刷电路板的层压中，为了能够确保层压制品的品质并提高成品率，可以吸收基材的热膨胀，防止弯曲和褶皱，并能提高成品率。

另外，作为在上述第一驱动机构和/或第二驱动机构中使用的驱动机构，优选使用可变速马达。

(7-2)单向离合器70

为了确保速度差，在本实用新型中，在将由驱动机构产生的输出传递至第一级压接辊和第二级压接辊时，使用了齿轮比或辊外径差不同的第一级压接辊和第二级压接辊，在驱动机构的输出轴上安装单向离合器以吸收在第一级压接辊和第二级压接辊之间产生的必需以上的速度差。在图13中显示了这种第一级压接辊和第二级压接辊的驱动机构的示意图。

如图13所示，具有上下一对辊的第一级压接辊和具有上下一对压接辊的第二级压接辊并排设置，通过同一驱动机构60旋转驱动第一级压接辊和第二级压接辊。此时，从旋转驱动第二级压接辊的齿轮61’，将驱动机构60的输出传递至第二级压接辊，并从上述第二级压接辊的齿轮61’，通过单向离合器70将其传递至驱动第一级压接辊的齿轮61。

一般情况下，如图14所示，单向离合器在内圈和外圈之间设置通过弹簧实现平衡的凸轮。该凸轮通过弹簧始终在A点和B点处与内圈、外圈接触。将从内圈的中心O引出的直线OB与直线AB所成的角α称为传递角(ストラス角)。若凸轮承受转矩，则会在直线AB上产生力Q，若在接触点B处，将垂直分力定为P，将切线分力定为F，则F＝P、tanα。此时的旋转转矩为T＝N·P·tanα·R(N为凸轮数，R为内圈轨道半径)。若tanα小于内圈的摩擦系数μ，则凸轮与轨道啮合，能够传递转矩。

若利用这种机构，例如在外圈静止并且内圈顺时针旋转的情况下，直线AB起到传递(ストラト)作用，从而将内圈的转矩全部传递到外圈。另一方面，在内圈沿逆时针方向旋转时，上述直线AB不起到支承作用，由于内圈空转，因此，不会将转矩传递至外圈上。其意味着：不仅在内圈逆转的情况下，而且在内圈和外圈之间产生速度差的情况下，均能进行转矩传递的接通和切断。

因此，若通过单向离合器，将驱动机构的输出从第二级压接辊侧输出至第一级压接辊侧，则在通过第一级压接辊热熔敷之后，当基材达到第二级压接辊时，驱动机构的旋转驱动向之前驱动旋转的第一级压接辊的传递被单向离合器70切断，切断向第一级压接辊的旋转输出的传递。即，第二级压接辊与第一级压接辊相比，齿轮比或辊的外径不同，从而第二级压接辊的旋转速度加快，因此，通过单向离合器的凸轮的传递(ストラト)功能，切断驱动机构向第一级压接辊的旋转输出的传递，第一级压接辊与第二级压接辊的旋转速度对应地旋转。另一方面，在由第一级压接辊实现的热熔敷到达基材端部时，由于在该处不存在基材，因此，通过第二级压接辊的旋转将其打开，解除上述传递(ストラト)功能，驱动机构的旋转输出向第一级压接辊的传递接通，第一级压接辊开始旋转驱动。

因此，例如，如图13所示，采用的结构为，将单向离合器70装入驱动机构60的输出机构中，将单向离合器70中内圈的驱动输送至第二级压接辊，并且，外圈的旋转能够输送至第一级压接辊。因此，第二级压接辊始终旋转，根据第二级压接辊的速度差，通过单向离合器70接通和切断驱动机构输出的传递。在基材到达第二级压接辊时，由于第二级压接辊与第一级压接辊相比，旋转驱动更早，因此，基材对应第二级压接辊的旋转速度移动。以此方式，在第一级压接辊和第二级压接辊之间不会产生松弛。

在本实用新型中，如上所述，虽然第二级压接辊与第一级压接辊的旋转速度不同，但是，对于速度差而言，若第一级压接辊的速度设定为100，则第二级压接辊应超过100并在101.5以下，优选超过100并在101以下。为了产生这种速度差，应在第一级压接辊和第二级压接辊设定不同的齿轮比，并且，使辊的外径不同。驱动机构的输出不必一定通过齿轮传递，例如，也可皮带传送和其它方式。

根据本实用新型，如上所述，在基材进入第一级压接辊时，达到第一级压接辊的速度，在进入第二级压接辊时，第一级压接辊的单向离合器70移离，达到与第二级压接辊相同的速度，从而能够防止热熔敷时皱褶的产生。另外，还存在以下情况，即，因上下压接辊的加压条件的不同而产生橡胶辊的变形差，结果，基材的输送速度会发生微妙变化。以往，应对这种变化是比较困难的，但是，本实用新型除了热熔敷时基材的延展以外，还能适当地应对这种速度差，从而能够有效地防止皱褶的产生。

(8)压接辊

虽然本实用新型的层压机也可以使用任意的压接辊，但是，为了简便地进行压接辊的装卸，上下压接辊80、83可以分为压接辊部85以及设置在其两端的压接辊轴部87，并且，最好使用具有上述压接辊部85与压接辊轴部87能够嵌合的结构。在图15中显示了具有这种结构的压接辊的一个例子。

图15显示了所使用的压接辊的侧视图，其由热熔敷基材1和薄膜17的压接辊部85以及其两端的2个压接辊轴部87构成。由于压接辊通过驱动机构驱动旋转，因此，压接辊部85以及压接辊轴部87需要确保顺利的旋转驱动。因此，例如，如图16示意性显示的那样，可采用这样的结构，即，在压接辊轴部87的端部设置多个凸起部88或键等，在压接辊部85上设置与上述凸起部嵌合的孔部89或键槽等，从而能够将压接辊轴部87的旋转驱动力传递至压接辊部85。

在热熔敷部，通过上下一对压接辊80、83热熔敷基材1和薄膜17，下压接辊83可旋转地固定在垂下，并能够适当地与基材1的厚度对应。对于在本实用新型中使用的压接辊而言，下压接辊83与上压接辊80两者最好均独立形成上述压接辊部85和压接辊轴部87，并且，使它们能够彼此相互嵌合。另外，在本实用新型中，压接辊部85可以为热熔敷时将薄膜17热熔敷在基材1上的辊部，在内部具有加热机构。

如图17(a)所示，在基材1的厚度约为1mm以上的较厚情况下，即使覆盖压接辊80、83表面的橡胶变形，由于基材具有厚度，因此，也会在基材1上作用载荷，能够进行热熔敷。但是，在厚度小于1mm的薄板基材1的情况下或在热熔敷极薄的感光性树脂的情况下，如图17(b)所示，由于在橡胶变形时，基材1两侧的辊的橡胶会彼此发生变形而紧密附着在一起，因此，施加在基材1上的载荷会降低，结果，难以进行均匀的热熔敷。根据本实用新型，在压接辊部85上产生凹凸的情况下，压接辊轴部87只是原样不动，替换压接辊部85，从而可进行均匀的热熔敷。

压接辊80、83优选根据基材的种类或厚度选择最佳的辊，根据本实用新型，仅以各种式样制造不同类型的压接辊部85，就能简便地应对多种基材。

作为这种压接辊对的压接辊部，例如，具有图18中所示的上压接辊80和下压接辊83的辊宽不同的阶状辊。在图18中，虽然上压接辊80的辊宽比下压接辊83的辊宽短，但是，也可以与此相反，使下压接辊83的辊宽比上压接辊80的辊宽短。较长的压接辊采用与以往相同的宽度即可，较短压接辊的长度最好比基材的宽度长50～200mm。采用这种范围，能够将上下驱动机构产生的载荷均匀地施加至基材1上。

作为压接辊部85，可以以不同的材质调节上下压接辊80、83的辊表面，在压接辊80、83进行第一级压接辊和第二级压接辊的2级压接的情况下，也可以使第一级压接辊和第二级压接辊的辊表面的材质各不相同。作为这种材质，上压接辊及/或下压接辊的辊部的材质适于采用从金属、橡胶、氟橡胶、硅橡胶以及合成橡胶中选择出的任意一种。例如，在图19中显示了以橡胶制造第一级压接辊的上压接辊80的压接辊部，以金属制造下压接辊83的压接辊部，在第二级压接辊中，以橡胶制造下压接辊83’的压接辊部，以金属制造上压接辊80’的压接辊部。这样，组合金属辊和橡胶辊，在1对上下压接辊80、83中，若将其中的一个辊制成金属辊，由于压接力较高，因此，可以由金属辊侧确定厚度，通过作为第二级压接辊的金属辊的上压接辊80’施加层压载荷，其特别在热熔敷直接成像用感光薄膜等硬性感光性树脂膜时是有效的。另外，作为图20中不同材料的组合，在下压接辊80、83’上使用寿命较长的氟橡胶，在上压接辊80、80’上使用了硅橡胶。若通过氟橡胶制造下压接辊80、83’，即使在基材1上具有孔的情况下，仍能够均匀地传送层压载荷。

另外，虽然在图21中显示了压接辊的示意性剖视图，但是，也可以在第一级压接辊80、83和第二级压接辊80’、83’的辊外径上设置直径差。此时，在第一级压接辊对和第二级压接辊对中，较短辊的直径与较长辊的直径之比(长径/短径)优选为0.8～1。即使辊的外径不同，由上下压接辊形成的上下输送速度仍是相同的，通过改变辊的直径，能够增减施加至基材1上的载荷。

另外，虽然未在图中显示，但也可以在第一级压接辊80、83和第二级压接辊80’、83’的辊上设置硬度差。此时，上述硬度差在上下压接辊之间以JIS硬度计为5°以上，5°～10°为更理想。通过设置硬度差，可以调节作用于基材1以及薄膜17上的有效载荷。也可以改变第一级压接辊80、83和第二级压接辊80’、83’上的凸起量。

(9)压接辊装卸机构

在本实用新型的层压机中，通过使用由上述压接辊部85以及设置其两端的压接辊轴部87构成的压接辊，能够简便地进行压接辊80、83的装卸。适用于本实用新型的压接辊装卸机构通过气缸、液压缸、马达滑动机构或手动滑动机构来移动上述压接辊轴部。下面，以采用缸体时为例，说明压接辊装卸机构。

在图22中显示了在压接辊装卸机构上设有上述压接辊的上下压接辊的侧视图。上述压接辊装卸机构虽然可以安装在与压接辊部85两端嵌合的两个压接辊轴部87上，但是，也可设置在其中的任意一个上，另一压接辊轴部87可以采用与以往相同的固定方法。另外，上述压接辊装卸机构也可适用于第一级压接辊和第二级压接辊中的任意一个辊。

压接辊装卸机构最好设置在构成压接辊的压接辊轴部87的任意一个上，在图22中，显示了在右侧设置压接辊装卸机构的情况。如上所述，上压接辊80可旋转并沿轴向滑动地固定在从上下驱动机构50上垂下的轴承外壳90上。上述轴承外壳90可旋转并可沿轴向滑动地固定在移动板91上，上述移动板91通过导引件93与固定板95相连。在该固定板95上固定有缸体97，并通过支承轴99和导引轴97、沿缸体97的活塞杆方向固定可动板100。另外，为了旋转，压接辊轴部87在仅能沿轴向移动而不能旋转的上述移动板91上，设置上述轴穿过的轴承92。缸体97的活塞杆端部被固定在可动板100上，并与移动板91相连，所述移动板91固定在与该移动板100一起工作的导引轴98上并一同动作。

在图23中显示了使用本实用新型的压接辊装卸机构并仅抽出压接辊部85的状态。在图23中，为了理解，显示了从装卸机构中抽出装卸机构侧的压接辊轴部87的状态。

首先，上述轴承外壳90固定在上下驱动机构50上，并通过上下驱动机构50进行上下移动，但其不能横向移动。在抽出压接辊轴部87时，如图24所示，可以在压接辊部85与压接辊轴部87之间设置开闭行程。因此，通过由气压等控制的上述缸体97使轴87横向移动。上述活塞杆与可动板100相连，并与通过上述导引轴98固定的移动板91相连。将压接辊轴部87可旋转及轴向移动地固定在移动板91上，并通过上述操作使其沿轴向移动，并设置上述开闭行程。另外，缸体97不应局限于气压缸，也可以使用液压缸或电动缸等其它方法。因此，如果能够设置开闭行程，则如图24所示，就能在使压接辊轴部87安装在装卸机构内的状态下，抽出压接辊部85。另外，虽然在取下压接辊部85时，可以打开缸体97等轴滑动机构后将其抽出，但是，最好设置用于防止横向移动的机械式制动器或在缸驱动用电磁阀上设置互锁装置，以便在运转时不会意外拔出压接辊部85。通过横向移动压接辊轴部而取出压接辊部的机构不应局限于上面所述的装置，另外，横向滑动的方法不应局限于气缸、液压缸、马达滑动机构，也可以采用手动机构。

由于能够简便地更换压接辊，因此，能够减少更换的作业时间，从而能够提高生产效率。特别是，印刷电路基板等为了形成微细的电路，厚度可以从极厚至超薄板，尺寸可以采用多种式样，为了使用最适于基材的压接辊，最好能够方便地更换压接辊。根据本实用新型，压接辊的更换是非常容易的，特别是，即使在通过第一级压接辊和第二级压接辊进行2级热熔敷的情况下，仍能容易地进行上下各压接辊的更换。

采用所述压接装置，通过基材1和薄膜17的组合，能够制造各种层压体。特别是，根据本实用新型，在实际的层压以及热熔敷中，可以根据基材1和薄膜17的组合，选择和调整压接辊80、83的旋转驱动速度或压接载荷、辊温度等，并能获得大范围的运转条件。根据本实用新型，可以制造出印刷电路基板、PDP用光栅基板、电磁屏蔽板、液晶基板等。

在上面所述的内容中，虽然以2级压接辊为中心进行了说明，但是，即使在1级式压接辊的情况下，本实用新型仍是有效的，阶状辊在薄板中的使用是特别有效的。另外，通常，虽然感光性树脂向单张基材的层压是以两面进行的，但是，不言而喻，在玻璃基板等的单面层压时也是有效的。

根据多种基材或层压薄膜，可以设定最适合的层压条件，并可避免装置内废料的附着和扩散，并且，当然还能容易地进行在对产品性能产生最大影响的热熔敷时使用的压接辊的装卸。

Claims (4)

1.层压机，设有：供给层压用薄膜的薄膜供给部、通过临时贴附块保持所述薄膜的前端并将其临时贴附在基材上的临时贴附部、和将所述薄膜热熔敷在临时贴附的基材上的热熔敷部，其特征在于，

所述热熔敷部具有第一级压接辊、驱动第一级压接辊旋转的第一驱动机构、第二级压接辊、和驱动第二级压接辊旋转且相对第一驱动机构独立驱动的第二驱动机构。

2.根据权利要求1所述的层压机，其中，第一驱动机构和/或第二驱动机构为可变速马达。

3.层压机，设有：供给层压用薄膜的薄膜供给部、通过临时贴附块保持所述薄膜的前端并将其临时贴附在基材上的临时贴附部、和将所述薄膜热熔敷在临时贴附的基材上的热熔敷部，其特征在于，

所述热熔敷部具有：第一级压接辊；第二级压接辊；和驱动所述压接辊旋转的驱动机构，使第二级压接辊的旋转速度比第一级压接辊的旋转速度快地进行旋转驱动，并且构成为从第二级压接辊侧通过单向离合器将驱动机构的输出向第一级压接辊侧输出。

4.根据权利要求3所述的层压机，其特征在于，通过由不同齿轮比或者不同辊外径构成第一级压接辊和第二级压接辊，使第二级压接辊的旋转速度比第一级压接辊的旋转速度快地进行旋转驱动。

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