CN201072755Y - 机械式晶圆固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型是关于一种机械式晶圆固定装置，其主要是用以装设于蚀刻机的整流环上，其是包括一基部与一身部，该本体是由基部向身部前端渐缩而呈一流线型，有助于气流通过，该基部设有定位孔可配合螺固件以固定于蚀刻机整流环，而该身部前端设有一穿孔，该穿孔内设有一压件与一弹性件，该压件是呈一细长杆状，有效缩小该压件与晶圆的接触面积，且借该弹性件提供压件压固时的缓冲效果，再配合该本体身部设有一较压件凸出的停止块，以防止本体对晶圆产生过大的向下总压力而造成破裂。

Description

机械式晶圆固定装置

技术领域

本实用新型涉及一种机械式晶圆固定装置，特别是涉及一种具缓冲效果且不易损坏晶圆的指形压夹。

背景技术

晶圆在蚀刻的制程中需有一的械具令其位置固定，而该械具的设计良窳，则直接关系到晶圆制程的良率，如何设计出一可有效固定，却又不会使晶圆损坏的夹具，实为一改良重点所在。

请参阅中国台湾专利申请案号87212441号，“干式蚀刻机的晶圆夹具”，以及美国专利640664号，『C1amp for affixing a wafer in an etchingchamber』，上述两件习用前案，其皆是利用一钳环式的夹具以固定晶圆，该钳环内径具有复数向圆心略为伸出的凸耳，借该凸耳以压触于晶圆的外围，并达到固定晶圆的目的；

上述习用前案虽具定位晶圆之效，然而其无可避免的会有下列缺失：

1.直接以环钳的凸耳压迫于晶圆上的固定方式，该环钳、凸耳、晶圆之间并无法设计出有一效的缓冲机制，意即一但环钳的压力过大，该压力便会立刻经由凸耳施于晶圆上，而晶圆与凸耳接触之处便难逃损坏的命运。

2.无法限制钳环对晶圆的向下总压力最大值，若该钳环因夹放动作的行程过大，造成总下压力突增时，则该总下压力亦会完全传递至晶圆上，如此突增的过大的总压力，不单会造成晶圆磨损，甚至会令晶圆破裂。

3.如申请案号87212441的前案图5至7所示，由于钳环上每一凸耳的施力均相同且无法单独调整控制，若遇特殊规格的晶圆则难以配合使用，需配合更换不同规格钳环以配合之，如此不仅成本较高且操作上更为不便。

综上所述可知，习用晶圆夹具可说是相当的不具有实用性，仍有加以改良的必要。

有鉴于上述现有的晶圆夹存在的缺陷，本设计人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的机械式晶圆固定装置，能够改进一般现有的晶圆夹，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。

发明内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的晶圆夹存在的缺陷，而提供一种新型结构的机械式晶圆固定装置，所要解决的技术问题是使其改善习用的晶圆固定装置不具缓冲功效、无法限制向下总压力、单一凸耳难以各别调整等缺失，从而更加适于实用。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种机械式晶圆固定装置，其本体是包括一基部与一身部，该基部是供固定本体之用，而该身部前端设有一压件与一弹性件，借该弹性件提供压件压固时的缓冲效果。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可以可采用以下的技术措施来进一步实现。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的身部设有一较压件凸出的停止块。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的身部前端设有一穿孔供压件与弹性件容设。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的穿孔顶端设有一固定件。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的基部设有至少一定位孔。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的本体是由基部向身部前端渐缩，而呈一流线型。

本实用新型的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本实用新型提出的一种机械式晶圆固定装置，其本体是包括一基部与一身部，该基部是供固定本体之用，而该身部前端形成有一具弹性的压件，借该压件自身的弹力而提供压固时的缓冲效果。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的身部设有一较压件凸出的停止块。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的基部设有至少一定位孔。

前述的机械式晶圆固定装置，其中所述的本体是由基部向身部前端渐缩，而呈一流线型。

本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。

本实用新型本体是用以装设于蚀刻机的整流环上，其是包括一基部与一身部，该本体是由基部向身部前端渐缩而呈一流线型，有助于气流通过，该基部设有定位孔可配合螺固件以固定于蚀刻机整流环，而该身部前端设有一穿孔，该穿孔内设有一压件与一弹性件，该压件是呈一细长杆状，有效缩小该压件与晶圆的接触面积，且借该弹性件提供压件压固时的缓冲效果，再配合该本体身部设有一较压件凸出的停止块，本实用新型用于压固定位蚀刻机载盘上的晶圆时，该本体是可随蚀刻机的整流环上下位移而达到固定与释放晶圆之效，而该身部则可借停止块与载盘外围无晶圆之处抵顶，限制本体的向下总压力最大值，据以防止本体行程过大，而将过大的向下总压力直接施于晶圆上，避免晶圆破裂或损坏；

而该本体身部前端的压件，其是用以压固定位晶圆，该压件位于身部穿孔内的凸肋是与弹性件相抵接，除具缓冲效果外，借由选用适当弹性系数的弹性件，是可精准的掌握每一压件下压于晶圆时，对晶圆所产生的压力，以确保晶圆在最稳定的状态下被固定于该位，并维持晶圆的完整性；

再者，每一本体每可单独做调整，以因应不同或特殊规格的晶圆制程，而增加蚀刻机整体的适用性，因此本实用新型实是一种相当具有实用性及进步性的实用新型，值得产业界来推广，并公诸于社会大众。

综上所述，本实用新型具有上述诸多优点及实用价值，其不论在产品结构或功能上皆有较大的改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的晶圆夹具有增进的突出功效，从而更加适于实用，并具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型机械式晶圆固定装置立体分解图。

图2是本实用新型机械式晶圆固定装置与蚀刻机台组装局部示意图。

图3是本实用新型机械式晶圆固定装置与蚀刻机台组装整体俯视图。

图4是本实用新型机械式晶圆固定装置压固晶圆使用状态剖视示意图。

10：本体    101：上表面

102：下表面

11：基部     111：定位孔

112：螺固件

12：身部     121：穿孔

122：压件

1221：凸肋   123：弹性件

124：固定件

125：停止块  20：整流环

201：螺孔

21：载盘     22：晶圆

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的机械式晶圆固定装置其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

本实用新型是有关于一种机械式晶圆固定装置，请参阅图1至图3所示，这种机械式晶圆固定装置其本体10主要是用以装设于晶圆制程用的蚀刻机整流环20上，该本体10具有上表面101与下表面102，而该本体10是包括：

一基部11，该基部11略呈一梯形状，该基部11于本体10的上表面101与下表面102间贯穿设置有至少一定位孔111，该定位孔111是可配合螺固件112而令本体10由基部11被锁设固定于蚀刻机的整流环20相对应的螺孔201上；该本体10的基部11与蚀刻机除锁设固定的方式外，亦可采嵌卡固定、焊接固定或其它固定方式，且并不以上述的固定方式为限；

一身部12，该身部12是由基部11向一端延伸而形成者，该本体10的整体形态是由基部11向身部12前端渐缩，而形成指形具流线型易于气体流通的外表；

该身部12前端处设有一穿孔121，该穿孔121概呈阶级状，该穿孔121位于上表面101处的内径较下表面102处的内径大，该穿孔121内容设有一压件122与一弹性件123，并于穿孔121上表面101端以一固定件124将压件122与弹性件123限位于穿孔121内；该压件122是概呈一细长杆状，以减少与晶圆接触的面积，其中端形成有一较大外径的凸肋1221以供弹性件123抵顶，该压件122前较是可由穿孔121伸出于本体10的下表面102，该弹性件123则抵顶于压件122凸肋1221与固定件124之间；

该身部12在穿孔121与基部11之间向下表面102的方向延伸出有一停止块125，且该停止块125较压件122更为凸出，而具有挡止限制本体10的向下总压力之效。

将复数个本体10以基部11的定位孔111与螺固件112锁设，平均的装设于蚀刻机的整流环20上，如图2与图3所示，如此便完成该本体10的组装。

续请参阅图4所示，本实用新型用于压固定位蚀刻机载盘21上的晶圆22时，该本体10是可随蚀刻机的整流环20上下位移而达到固定与释放晶圆22之效，而该身部12则可借停止块125与载盘21外围无晶圆22之处抵顶，限制本体10的向下总压力最大值，据以防止本体10行程过大，而将过大的向下总压力直接施于晶圆22上，避免晶圆22破裂或损坏；

而该本体10身部12前端的压件122，其是用以压固定位晶圆22，该压件122位于身部12穿孔121内的凸肋1221是与弹性件123相抵接，除具缓冲效果外，借由选用适当弹性系数的弹性件123，是可精准的掌握每一压件122下压于晶圆22时，对晶圆22所产生的压力，以确保晶圆22在最稳定的状态下被固定于该位，并维持晶圆22的完整性。

由上所述者仅为用以解释本实用新型的较佳实施例，并非企图据以对本实用新型做任何形式上的限制，是以，凡有在相同的创作精神下所做有关本实用新型的任何修饰或变更者，皆仍应包括在本实用新型意图保护的范畴内，其中如该压件亦可采用具弹性的材质所制，并直接成形于身部上，如此亦可借由该压件自身弹力，而提供压固晶圆时的缓冲效果。

Claims (10)

1.一种机械式晶圆固定装置，其特征在于：其本体是包括一基部与一身部，该基部是供固定本体之用，而该身部前端设有一压件与一弹性件，借该弹性件提供压件压固时的缓冲效果。

2.根据权利要求1所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述身部设有一较压件凸出的停止块。

3.根据权利要求1或2所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述身部前端设有一穿孔供压件与弹性件容设。

4.根据权利要求3所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述穿孔顶端设有一固定件。

5.根据权利要求1或2所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述基部设有至少一定位孔。

6.根据权利要求1或2所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述本体是由基部向身部前端渐缩，而呈一流线型。

7.一种机械式晶圆固定装置，其特征在于：其本体是包括一基部与一身部，该基部是供固定本体之用，而该身部前端形成有一具弹性的压件，借该压件自身的弹力而提供压固时的缓冲效果。

8.根据权利要求7所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述身部设有一较压件凸出的停止块。

9.根据权利要求7或8所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述基部设有至少一定位孔。

10.根据权利要求7或8所述的机械式晶圆固定装置，其特征在于所述本体是由基部向身部前端渐缩，而呈一流线型。

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