CN201023813Y - 晶圆隔离环 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于晶圆隔离保护部件，具体为一种晶圆隔离环。其结构是在圆形环体的边缘设有支撑台，支撑台上设有若干个透气槽。使用此隔离环后，晶圆中间部分不与物体接触，极大的减少了晶圆与其他物体的接触面积，从而有效的保护晶圆不被污染、划伤。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆隔离保护部件，具体为一种晶圆隔离环。
背景技术
目前市场上用于隔离晶圆的产品为圆形薄片状，因此在包装时与晶圆完全接触。当多片晶圆叠在一起包装后，在运输途中晶圆易被污染、划伤，而且在使用过程中不易存放及拿取，这在对晶圆品质高要求的标准里是不允许的。
发明内容
本实用新型的目的在于针对现有晶圆包装易被污染、划伤的缺陷，提供一种能减小晶圆被污染、划伤，易取易放的晶圆隔离环。
本实用新型的技术方案如下：一种晶圆隔离环，在圆形环体的边缘设有支撑台，支撑台上设有若干个透气槽。
本实用新型的优点在于：当多层晶圆叠放在一起时，由隔离环将其隔离，即隔离环放置于晶圆之间。由于隔离环形状为圆环形，且有一定的厚度，因此晶圆除边缘与隔离环接触外，其余部分悬空，从而有效的保护了晶圆。由于隔离环和晶圆表面都很光滑，隔离环放置于两片晶圆之间，形成一个由“晶圆-隔离环-晶圆”组成的密闭空间(3)，当自动化取出晶圆时就会产生真空吸附现象，下面的晶圆会被吸住一起带动，造成损失。开设透气槽后可使密闭里的空气与外界连通，消除真空吸附现象，使得晶圆容易被取出。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中，1.隔离环2.支撑台3.透气槽
图2为晶圆之间密闭空间形成与消除方式示意图。
图中，3.密闭空间4.空气流通通道
具体实施方式
如图1所示，晶圆隔离环1在圆形环体的边缘设有支撑台2，支撑台2上设有若干个透气槽3。
晶圆放置于支撑台上，仅边缘部分与隔离环上的支撑台接触，晶圆其余部分悬空。取出晶圆时，空气经由透气槽进入”晶圆-隔离环-晶圆”形成的空间部分，消除真空吸附现象，晶圆即可被方便的取出，而不会吸附下面的晶圆一起运动。
Claims (1)
1.一种晶圆隔离环，其特征在于：在圆形环体的边缘设有支撑台(2)，支撑台(2)上设有若干个透气槽(3)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007201437707U CN201023813Y (zh) | 2007-04-05 | 2007-04-05 | 晶圆隔离环 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007201437707U CN201023813Y (zh) | 2007-04-05 | 2007-04-05 | 晶圆隔离环 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201023813Y true CN201023813Y (zh) | 2008-02-20 |
Family
ID=39097665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2007201437707U Expired - Lifetime CN201023813Y (zh) | 2007-04-05 | 2007-04-05 | 晶圆隔离环 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201023813Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11049748B2 (en) | 2015-10-23 | 2021-06-29 | Achilles Corporation | Separator |
-
2007
- 2007-04-05 CN CNU2007201437707U patent/CN201023813Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11049748B2 (en) | 2015-10-23 | 2021-06-29 | Achilles Corporation | Separator |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20080220 |