CN200996457Y - 一种用于真空领域的磁力传动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于真空领域的磁力传动装置，包括旋转磁体套(3)、旋转磁体(4)、从动磁体(5)、从动轴(8)、轴座(2)和密封胶圈(6)，其特征在于，旋转磁体套(3)与旋转磁体(4)固定连接，从动磁体(5)与从动轴(8)固定连接，轴座(2)固定于真空室壁(1)外表面，其间有密封胶圈(6)，从动轴(8)与旋转磁体套(3)同轴且通过真空室壁开孔(9)进入真空室内，其位于真空室内的一端与观察窗挡板固定连接，旋转磁体(4)与从动磁体(5)相邻。该传动装置采用磁体产生的磁力来传递扭矩，将传统观察窗挡板传动装置中的动密封转换成了静密封或者无密封。很好地解决了传统动密封中的漏气、漏油和磨损问题，同时制作简单，成本低廉。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种传动装置，更具体地本实用新型通过磁力传递转动力矩，用于真空领域中观察窗挡板的传动。
背景技术
近年来，真空技术在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景，而诸如物理气相沉积、化学气相沉积等技术更是在国民经济的各个领域中得到广泛的应用。为了保证观察窗玻璃在沉积过程中不被污染，需要在观察窗玻璃靠真空室一侧安装挡板，在不需要观察的时候遮挡观察窗。挡板上安装有传动装置，可将真空室外的转动力矩传递至真空室内的挡板。
目前用于真空领域的观察窗挡板传动装置的密封多采用传统轴封，价格较为低廉，但由于其自身的特征较容易导致漏气和漏油等问题。另一种常用的方法是在传动轴上采用多个O型圈进行密封，其缺点是密封圈磨损后会造成密封性能的下降。磁流体密封作为一种全新的密封技术，具有无泄漏、无噪音、寿命长等优点，然而其高昂的价格很大程度上限制了它的应用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于真空领域的磁力传动装置，能较好地解决用于真空领域观察窗挡板的动密封问题。
本实用新型的设计方案包括：旋转磁体套、旋转磁体、从动磁体和从动轴，轴座和密封胶圈，其特征在于，旋转磁体套与旋转磁体固定连接，从动磁体与从动轴固定连接，轴座固定于真空室壁外侧且其间有密封胶圈，从动轴与旋转磁体套同轴且通过真空室壁开孔进入真空室内，旋转磁体与从动磁体相邻，从动轴位于真空室内一端与观察窗挡板固定连接。
本实用新型采用磁体产生的磁力来传递扭矩，将传统观察窗挡板传动装置中的动密封转换成了静密封或者无密封。很好地解决了轴封中的漏气和漏油以及胶圈密封中的磨损问题，同时制作简单，成本低廉。
附图说明
图1是依据本实用新型的实施例1的传动装置结构示意图；
图2是依据本实用新型的实施例1的传动装置的A-A剖面图；
图3是依据本实用新型的实施例2的传动装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述：
实施例1：
如图1所示，轴座2通过螺栓7固定于真空室壁1外侧，真空室壁1上有开孔9，轴座2与真空室壁1之间通过O型橡胶圈6密封，旋转磁体4与旋转磁体套3固定连接，从动磁体5与从动轴8固定连接，从动轴8与观察窗挡板连接。旋转磁体套3在真空室外部的转动可通过磁力传递至观察窗挡板。
本实施例的优点在于将传统的观察窗挡板传动装置中的动密封转换成静密封，同时由于旋转磁体和从动磁体之间距离近，可传递较大的扭矩。
实施例2：
如图3所示，轴座11a通过螺栓固定于真空室壁15外侧，旋转磁体套12、旋转磁体13和旋转轴14固定连接，轴座11b通过螺栓固定于真空室壁15内侧，从动磁体套18、从动磁体16和从动轴17固定连接，从动轴17与观察窗挡板连接。旋转轴14在真空室外部的转动可通过磁力传递至观察窗挡板。
本实施例的优点在于无需密封，摆脱了传统的观察窗挡板传动装置中的动密封带来的各种问题。此外，减小在需要传动部位的真空室壁厚，可减小旋转磁体和从动磁体之间的距离，进而能传递更大的扭矩。
此实用新型也适用于真空领域除观察窗挡板以外的应用。
Claims (5)
1.一种用于真空领域的磁力传动装置，包括旋转磁体套(3)、旋转磁体(4)、从动磁体(5)、从动轴(8)、轴座(2)和密封胶圈(6)，其特征在于，旋转磁体套(3)与旋转磁体(4)固定连接，从动磁体(5)与从动轴(8)固定连接，轴座(2)固定于真空室壁(1)外表面上，从动轴(8)与旋转磁体套(3)同轴且通过真空室壁开孔(9)进入真空室内，旋转磁体(4)与从动磁体(5)相邻。
2.权利要求1所述的磁力传动装置，其特征在于在轴座(2)和真空室壁(1)外表面之间有密封胶圈(6)。
3.权利要求1所述的磁力传动装置，其特征在于所述从动轴(8)位于真空室内一端与观察窗挡板固定连接。
4.一种用于真空领域的磁力传动装置，包括旋转磁体套(12)、旋转磁体(13)、旋转轴(14)、从动磁体套(18)、从动磁体(16)、从动轴(17)、轴座(11a)和轴座(11b)，其特征在于，旋转磁体套(12)、旋转磁体(13)与旋转轴(14)三者固定连接在一起，轴座(11a)将旋转磁体套(12)可旋转地固定于真空室壁(15)的外表面上，从动磁体套(18)、从动磁体(16)与从动轴(17)三者固定连接，轴座(11b)将从动磁体套(18)可旋转地固定于真空室壁(15)的内表面上，旋转轴(14)与从动轴(17)同轴，旋转磁体(13)与从动磁体(16)相邻。
5.权利要求4所述的磁力传动装置，其特征在于所述从动轴(17)一端与观察窗挡板固定连接。
Priority Applications (1)
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| CN 200720103348 CN200996457Y (zh) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | 一种用于真空领域的磁力传动装置 |
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| CN 200720103348 CN200996457Y (zh) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | 一种用于真空领域的磁力传动装置 |
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| CN200996457Y true CN200996457Y (zh) | 2007-12-26 |
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| CN 200720103348 Expired - Fee Related CN200996457Y (zh) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | 一种用于真空领域的磁力传动装置 |
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| CN (1) | CN200996457Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101956172A (zh) * | 2010-05-06 | 2011-01-26 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 观察窗挡板机构 |
| CN103185122A (zh) * | 2012-03-31 | 2013-07-03 | 北京普纳森电子科技有限公司 | 一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置 |
| WO2021128592A1 (zh) * | 2019-12-25 | 2021-07-01 | 中国科学院微小卫星创新研究院 | 低阻尼转动装置及其操作方法 |
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2007
- 2007-01-26 CN CN 200720103348 patent/CN200996457Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20071226 Termination date: 20120126 |