CN200990363Y - 一种电子枪栅极 - Google Patents
一种电子枪栅极 Download PDFInfo
- Publication number
- CN200990363Y CN200990363Y CN 200620047096 CN200620047096U CN200990363Y CN 200990363 Y CN200990363 Y CN 200990363Y CN 200620047096 CN200620047096 CN 200620047096 CN 200620047096 U CN200620047096 U CN 200620047096U CN 200990363 Y CN200990363 Y CN 200990363Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grid
- filament
- electron gun
- electron
- grid hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种电子枪栅极，主要解决栅极孔尖锐的边缘导致的阴极灯丝熔断、阴极电子束流发射不稳定以及清洗栅极孔容易遗留残余物的技术问题。本实用新型的技术方案为：一种电子枪栅极，包括栅极孔，其特征是：栅极孔正对灯丝尖端一侧边缘为圆弧形。或是栅极孔两侧边缘均为圆弧形。本实用新型主要用于电子显微镜获得收敛、聚焦电子束的电子枪(特别适合钨灯丝电子枪)栅极。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种电子枪栅极，具体地说是用于电子显微镜获得收敛、聚焦电子束的电子枪(特别适合钨灯丝电子枪)栅极，该栅极能发射更加稳定的电子束、清洗方便、有利于延长阴极灯丝使用寿命。
背景技术：
电子枪是电子显微镜的电子源，由阴极灯丝1、栅极2、阳极4等组成，如图1、2、3。阴极灯丝1被阴极灯丝加热电源7加热至临界温度以上时便产生可发射的热电子，并且随着阴极工作温度的提高，阴极热电子的发射率也提高，在高压电源5数万伏阳极加速高电压作用下，形成阴极电子束流，穿过栅极孔3，收敛、聚焦，射向阳极孔及多级电磁透镜。栅极对阴极电子束流发射的稳定起着重要作用。栅极由自偏压电路提供比阴极负几百至近千伏的偏压，自偏压电路中接有偏压电阻6，栅极偏压大小对阴极尖端发射电子区域的大小、电子束斑大小起着调节作用，为电子显微镜提供了最基本的电子源。
电子显微镜电子枪阴极灯丝的使用寿命差别很大，以应用极广泛的钨灯丝为例，其使用寿命从十几小时到几百小时不等。每次更换阴极灯丝时，栅极(特别是栅极孔周围)须清洗干净，而栅极孔很小，有时仍能残留很小的金属沉积物、纤维、抛光膏等，需反复、仔细清洗。观察熔断的阴极灯丝，其熔断位置位于灯丝尖端附近，并且正对栅极孔边缘。
实际上，阴极灯丝的使用寿命短、栅极难清洗、阴极灯丝的熔断位置都与栅极孔设计缺点有关，目前广泛使用的栅极，其栅极孔为Ф0.75mm(孔直径的参考尺寸)×0.25mm(孔深度的参考尺寸)，栅极孔具有尖锐边缘3A，因此存在以下缺点：
1、孔边缘电场集中，电场强度大，对阴极灯丝发射的电子有更强的偏压反弹作用，反弹的电子大量、集中轰击正对栅极孔边缘的灯丝尖端附近的灯丝表面的阴极灯丝熔断位置1A，容易使该位置的灯丝金属早期剥蚀、蒸发，加速其熔断；
2、孔边缘尖锐，容易沉积蒸发的灯丝金属颗粒，使阴极电子束流发射不稳定；
3、在清洗栅极时，常用较软的牙签缠长纤维棉、抛光膏清洗栅极孔，即使使用超声波清洗，放大镜下观察，仍可发现一些细小的纤维或抛光膏残留在栅极孔内，如不彻底清洗干净，将对灯丝使用寿命、电子束流的稳定性不利，严重时还会形成高压放电，由于栅极孔边缘尖锐，清洗困难，需反复清洗。
发明内容：
本实用新型的目的是提供一种电子枪栅极，主要解决栅极孔尖锐的边缘导致的阴极灯丝熔断、阴极电子束流发射不稳定以及清洗栅极孔容易遗留残余物的技术问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现：
一种电子枪栅极，包括栅极孔，其特征是：栅极孔正对灯丝尖端一侧边缘为圆弧形。或是栅极孔两侧边缘均为圆弧形。
在本实用新型中，由于栅极孔边缘(特别是正对灯丝尖端一侧)设计圆滑过渡，这使穿过栅极孔的电子束流更加稳定，而且，栅极孔清洗方便，用较软的牙签缠长纤维棉、抛光膏清洗栅极孔时，附积物更容易彻底清除干净，避免高压放电，栅极自偏压电路提供偏压后，栅极孔边缘电场分布更加均匀，在偏压电场作用下，反弹电子对阴极灯丝表面的轰击、剥蚀将明显减弱，有利于延长阴极灯丝使用寿命。
本实用新型的有益效果是：能够发射更稳定的电子束、清洗方便、有利于延长阴极灯丝使用寿命，该电子枪栅极可广泛应用于各种电子显微镜，特别是使用阴极钨灯丝的电子显微镜。
附图说明：
图1为现有电子枪结构示意图。
图2为现有电子枪栅极体外形图。
图3为现有电子枪栅极孔尖锐边缘及灯丝熔断位置结构简图。
图4为本实用新型栅极孔边缘(一侧)圆滑过渡结构简图。
图5为本实用新型栅极孔边缘(两侧)圆滑过渡结构简图。
图中：1-阴极灯丝、1A-阴极灯丝熔断位置、2-栅极、3-栅极孔、3A-尖锐边缘、3B-栅极孔正对灯丝尖端一侧圆弧边缘、3C-栅极孔两侧圆弧边缘、4-阳极、5-高压电源、6-偏压电阻、7-阴极灯丝加热电源。
具体实施方式：实施例1，参照图1、4、5，电子枪由阴极灯丝1、栅极2、阳极4、高压电源5、偏压电阻6、阴极灯丝加热电源7等组成。电子枪栅极的栅极2形状如同金属帽，中心有一个极小的栅极孔3。栅极孔3具有栅极孔正对灯丝尖端一侧圆弧边缘3B。
实施例2，栅极孔3具有栅极孔两侧圆弧边缘3C，其余参照实施例1。
本实用新型电子枪栅极在自偏压电路提供偏压后，其栅极孔边缘电场分布更加均匀，在偏压电场作用下，反弹电子对阴极灯丝熔断位置的轰击、剥蚀将明显减弱，从而有利于延长阴极灯丝1的使用寿命。
Claims (2)
1、一种电子枪栅极，包括栅极孔，其特征是：栅极孔正对灯丝尖端一侧边缘为圆弧形。
2、根据权利要求1所述的一种电子枪栅极，其特征是：所述的栅极孔的另一侧边缘也为圆弧形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200620047096 CN200990363Y (zh) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 一种电子枪栅极 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200620047096 CN200990363Y (zh) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 一种电子枪栅极 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN200990363Y true CN200990363Y (zh) | 2007-12-12 |
Family
ID=38941396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200620047096 Expired - Fee Related CN200990363Y (zh) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 一种电子枪栅极 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN200990363Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020248435A1 (zh) * | 2019-06-14 | 2020-12-17 | 费勉仪器科技（上海）有限公司 | 一种电子束蒸发源 |
-
2006
- 2006-10-25 CN CN 200620047096 patent/CN200990363Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020248435A1 (zh) * | 2019-06-14 | 2020-12-17 | 费勉仪器科技（上海）有限公司 | 一种电子束蒸发源 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100585785C (zh) | 场致发射型电子枪及使用了该电子枪的电子束装置 | |
| CN104810225B (zh) | 一种栅极外置式冷阴极电子源阵列及其构成的电子枪 | |
| CN102427015B (zh) | 一种聚焦型冷阴极x射线管 | |
| KR101040536B1 (ko) | 나노구조 물질 기반 ｘ-선관을 위한 게이트-집속전극 일체형 전극 구조 | |
| CN109065428B (zh) | 一种双栅控制式冷阴极电子枪及其制备方法 | |
| TW202044328A (zh) | 間接加熱式陰極離子源及操作其的方法 | |
| CN200990363Y (zh) | 一种电子枪栅极 | |
| US6806629B2 (en) | Amorphous diamond materials and associated methods for the use and manufacture thereof | |
| TWI720101B (zh) | 間接加熱式陰極離子源與用於離子源室內的斥拒極 | |
| Mousa et al. | Investigating of the field emission performance on nano-apex carbon fiber and tungsten tips | |
| KR20090012910A (ko) | 탄소 나노튜브 기반의 엑스선관 | |
| RU2644416C2 (ru) | Катодно-сеточный узел с автоэмиссионным катодом из углеродного материала | |
| CN102683135B (zh) | 天鹅绒复合阴极及其制备方法 | |
| Lee et al. | CNT field emitter based high performance X-ray source | |
| JP2020119762A (ja) | 電子源の安定化方法、電子ビーム装置 | |
| US7727039B2 (en) | Method of aging field emission devices | |
| CN100463099C (zh) | 离子源 | |
| TW202029260A (zh) | 電子源和電子槍 | |
| CN114446738B (zh) | 一种栅极结构、场发射电子枪及其应用 | |
| CN102683136B (zh) | 石墨复合阴极材料及其制备方法 | |
| CN103811281A (zh) | 一种场发射平面光源器件及其制造方法 | |
| CN211125565U (zh) | 一种离子源新型阴极结构 | |
| CN207852611U (zh) | 一种离子源弧光室发射面板的固定结构 | |
| Lupekhin et al. | Field emission of electrons from a single carbon fiber with a nanostructured emitting surface | |
| CN205443433U (zh) | 一种e型电子枪蒸发源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20071212 Termination date: 20101025 |