CN1993000A

CN1993000A - 电声致动器及其制法

Info

Publication number: CN1993000A
Application number: CN 200510097560
Authority: CN
Inventors: 姜达铭; 李芳庆; 杨丰兆; 陈振銮
Original assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Current assignee: Mao Yu Science and Technology Co., Ltd.
Priority date: 2005-12-30
Filing date: 2005-12-30
Publication date: 2007-07-04
Anticipated expiration: 2025-12-30
Also published as: CN1993000B

Abstract

本发明公开一种电声致动器及其制法，应用在一音频放大器，该电声致动器接收一音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后发出声音，该电声致动器至少包括：一振膜件，两个导电背板以及两组绝缘体，该电声致动器制法包括下列步骤：形成该振膜件、在该振膜件的两侧表面进行充电、分别设置该两个绝缘体到该振膜件相对应的两侧以及分别设置该两个导电背板到该两个绝缘体相对应的两侧，利用本发明的电声致动器及其制法生产的产品不仅符合未来市场扁平化、高音质的需求，更具有省电及节省成本的优点。

Description

电声致动器及其制法

技术领域

本发明是关于一种电声致动器及其制法，特别是关于一种应用在音频放大器且设有多个纳微米孔洞，并具有一驻极体材料成分的电声致动器及其制法。

背景技术

如今的扬声器根据驱动方式主要分为动圈式、压电式以及静电式三种；其中，动圈式扬声器是目前使用最广泛且技术也较成熟，其主要的驱动原理是根据佛来明(Fleming)左手定则，利用磁场、电流以及力三者成直角相交的相互作用，控制振动膜活塞式反复运动；但是目前动圈式扬声器被大量地运用在各种电视、音响、耳机及手机上，因其固定式的结构，体积无法缩小，使其无法符合未来3C产品对于体积扁平化的需求。

压电式扬声器利用压电材料具有的压电效应，当附加一电场在该压电式扬声器中的压电材料时，会使压电材料变形，从而推动振膜发声；虽然这种压电式扬声器结构扁平且微小化，但因压电材料所需的共振频率较高且可利用的频宽不足，因此，目前可应用的领域受到限制，大多应用在警报器上。

静电式扬声器的作用原理是将两个具有开孔的电极板中间夹持一导电振膜，形成一种类似电容器的结构，再通过给该导电振膜一直流偏压，分别给该两个电极板同步正反相交流电压，并通过正负电荷产生的静电力，带动该导电振膜并将声音辐射出去，这种静电式扬声器使用的导电振膜极为轻薄，具有瞬时反应快、分辨率高、失真低且不受电磁影响等优点，使其在扬声器领域中占有重要角色，但由于给该导电振膜的偏压需达到上百至上千伏(Volt)，因此需要外接单价高以及体积庞大的放大器才可以使用，所以无法普及。

因此，如何提供一种符合未来市场扁平化、高音质且成本低的扬声器，已成为目前产业中亟待解决的问题。

发明内容

为克服上述现有技术的问题，本发明的主要目的在于提供一种电声致动器及其制法，在接收一音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后发出声音。

本发明的另一目的在于提供一种电声致动器及其制法，应用在一输出交流音频电压小、体积小且单价低的音频放大器。

本发明的又一目的在于提供一种电声致动器及其制法，符合未来市场扁平化以及高音质的需求。

为实现上述及其它目的，本发明提供一种电声致动器，该电声致动器至少包括：一振膜件，在两侧设有多个纳微米孔洞，且具有一驻极体材料的成分，充电后，在两侧表面长时间保有较高的正负或同正、同负偏压；两个导电背板，分别设置在与该振膜件相对应的两侧，且设有多个孔洞，分别在接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后，该振膜件同时产生推-拉静电力，使该振膜件振动，并驱动周围空气，通过其上的孔洞发出声音；以及两组绝缘体，分别设置在该振膜件及该两个导电背板之间，将该振膜件及该两个导电背板隔开，并产生一电性绝缘效果。

本发明的还涉及一种电声致动器，该电声致动器包括：一振膜件，由一电极以及两个设置在该电极相对应两侧的驻极体组成，该驻极体由一驻极体材料制成，且设有多个纳微米孔洞，充电后，在两侧表面长时间保有较高的正负或同正、同负偏压；两个导电背板，分别设置在该振膜件相对应的两侧且设有多个孔洞，分别接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后，该振膜件同时产生推-拉静电力，使该振膜件振动并驱动周围空气通过其上的孔洞发出声音；两组绝缘体，分别设置在该振膜件及该两个导电背板之间，将该振膜件及该两个导电背板隔开并产生一电性绝缘效果；两个保护件，分别设置在该两个导电背板相对应的两侧，传递声音以及防止灰尘、水气进入；以及两个固定环，分别设置在该振膜件的两端，且位于该两个绝缘体与该振膜件之间，固定该振膜件。

对应上述电声致动器，本发明还提供一种电声致动器制法，该电声致动器制法包括下列步骤：(1)形成该振膜件；(2)在该振膜件的两侧表面进行充电；(3)分别设置该两个绝缘体到该振膜件相对应的两侧；以及(4)分别设置该两个导电背板到该两个绝缘体相对应的两侧。

与现有扬声器相比，本发明通过两侧设有多个纳微米孔洞且具有一驻极体材料成分的振膜件在充电后，可长时间保有较高的正负或同正、同负偏压的特点，再通过该两个导电背板分别接收该音频放大器输出两个同相或反相交流音频电压后，根据库伦定律(Coulomb’sLaw)可知，该振膜件会同时因静电力产生推-拉(push-pull)的效应，使该振膜件振动并驱动周围空气，通过该导电背板的孔洞发出声音。由于该振膜件在充电后，可长时间保有较高的正负或同正、同负偏压，因此，该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压值较小，相对地，可使用体积小且单价低的音频放大器，因此，本发明不仅符合未来市场扁平化、高音质的需求，更具有省电及节省成本的优点。

附图说明

图1是本发明电声致动器的侧视剖面结构示意图；

图2A及图2B分别是本发明电声致动器振膜件两个不同的侧视剖面结构示意图；以及

图3A及图3B分别是本发明电声致动器导电背板两个不同的俯视平面结构示意图。

具体实施方式

实施例

图1、图2A及图2B、图3A及图3B是本发明电声致动器的相关附图，这些附图配合详细说明本发明电声致动器的实施例。须注意的是，这些附图都是简化示意图，以示意方式说明本发明的基本结构。因此，这些附图仅显示与本发明有关的组件，且显示的组件并不以实际实施的数目、形状及尺寸比例加以绘制，其实际实施的数目、形状及尺寸比例是一种选择性的设计，其组件布局形态可能更为复杂。

图1是本发明电声致动器的剖面结构图，本发明电声致动器1在接收一音频放大器(未标出)输出的两个同相或反相交流音频电压后发出声音，该电声致动器包括：一振膜件10、两个分别设置在该振膜件10相对应两侧的导电背板11a以及11b、两组分别设置在该振膜件10及该两个导电背板11a以及11b之间的绝缘体12a以及12b、两个分别设置在该两个导电背板11a以及11b相对应两侧的保护件13a以及13b、以及两个分别设置在该振膜件10两端且位于该两个绝缘体12a、12b与该振膜件10之间的固定环14a以及14b。以下就本发明电声致动器1的上述部件详细说明：

该振膜件10由一电极100以及两个设置在该电极100相对应两侧的驻极体101a以及101b组成，该驻极体101a、101b由一驻极体材料制成，且设有多个纳微米孔洞，充电后在两侧表面长时间保有较高的正负或同正、同负偏压，该驻极体材料是介电材料(Dielectric Material)经过电气化(Electrized)处理后能长时间保有静电荷(Static Charges)，换句话说，该振膜件10通过电晕法充电后，通过该驻极体101a、101b的材料特性以及该多个纳微米孔洞(增加表面积)，可在该驻极体101a、101b的表面保留大量正负或同正、同负电荷，使该振膜件10两侧的表面长时间保有较高的正负或同正、同负偏压。

其中，该电极100由该驻极体101a、101b表面以电镀、溅镀或蒸镀金、银、铟锡氧化物(ITO)等金属形成，或在该驻极体101a、101b表面涂布如纳微米碳管(carbon nano tube)等导电高分子材料形成。

该驻极体材料是含氟(Fluorine)的高分子材料，因为氟具有最强的阴电性，所以在该振膜件10充电后可将电荷圈附，再者，本发明在该驻极体101a、101b上设有多个纳微米孔洞，因此，大幅增加该驻极体101a、101b的表面积，从而使得该驻极体101a、101b可在其表面圈附大量的电荷，其中，该驻极体材料的实施方式是聚全氟乙丙烯(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙稀(PVDF)、含氟有机高分子材料或含氟有机无机聚合物等。

另外，如图1、图2A及图2B所示，该振膜件10可由图中驻极体101a、101b或101a’、101b’或101a”、101b”等形式构成，其中，该驻极体101a、101b是该驻极体材料制成的单层结构(该驻极体101a、101b上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以发泡剂发泡、溶剂溶解或以超临界流体发泡技术等方式形成)，该驻极体101a’、101b’可由该驻极体材料制成的单层结构102以及设置在该单层结构102相对应两侧的高分子聚合物(polymers)103a以及103b组成(该高分子聚合物103a、103b防水性高，防止该驻极体101a’、101b’表面保留的电荷流失，如PP、PET、ABS及COC等，该驻极体101a’、101b’上的多个纳微米孔洞104的形成方式如上述，不再赘述)，该驻极体101a”、101b”由多个该驻极体材料制成的单层结构102’以及多个高分子聚合物103组成(该高分子聚合物103如上述，不再赘述，该驻极体101a”、101b”上的多个纳微米孔洞104’由该多个该驻极体材料制成的单层结构102’以及多个高分子聚合物103相互叠合形成)。

该两个导电背板11a、11b设有多个孔洞110，且分别设有接收该音频放大器输出的两个同相(若该振膜件10的两侧表面长时间保有较高的正负偏压)或反相(若振膜件10的两侧表面长时间保有较高的同正或同负偏压)交流音频电压的电极111a、111b，在分别接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后，该振膜件10同时因静电力产生推-拉(push-pull)效应(库伦定律(Coulomb’s Law))，使该振膜件10振动并驱动周围空气通过该孔洞110发出声音，该两个导电背板11a、11b与该两组绝缘体12a、12b不接置的一侧表面还布设有绝缘材料(未标出)与外界绝缘。另外，该两个导电背板11a、11b上的多个孔洞110的实施方式如图3A或图3B所示，需说明的是，这些附图仅表现本发明的两种实施方式，并不限制本发明的两个导电背板11a、11b上的多个孔洞110的实施方式。

其中，该两个导电背板11a、11b的实施方式是表面镀有金属材料或表面布设有导电高分子材料，且设有该多个孔洞110的塑料体。也可实施为设有该多个孔洞110的金属板或仅是一金属网。

该两个绝缘体12a、12b将该振膜件10及该两个导电背板11a、11b隔开并产生一电性绝缘效果。

该两个保护件13a、13b分别设置在该两个导电背板11a、11b相对应的两侧，传递声音并防止灰尘、水气进入，它还分别通过一连接材料15连接到该两个导电背板11a、11b相对应的两侧，较好的实施方式是含纳微米孔洞结构的复合材料、含纳微米孔洞结构的纤维材料或含纳微米孔洞结构的高分子材料。

该两个固定环14a、14b通过环氧树脂等材料连接设置在该振膜件10的两端，固定后该振膜件10留有一定张力。

经过上述两个固定环14a、14b及两个绝缘体12a、12b的设置，可使该振膜件10与该两个导电背板11a、11b之间保持一距离，形成一种类似电容器的带电平行板结构，该两个导电背板11a、11b在接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后，该振膜件10同时产生推-拉的静电力。

对应上述电声致动器1，本发明还提供一种电声致动器1的制法，为使以下说明较为清楚，请同时参阅图1，该电声致动器1的制法是先形成该电声致动器1的振膜件10，其中，该振膜件10的制法用该驻极体材料并通过涂布法形成两个驻极体101a、101b，再在该两个驻极体101a、101b之间通过在该驻极体101a、101b表面以电镀、溅镀或蒸镀金属，或以表面涂布导电高分子材料的方式形成一电极100，接着用该两个固定环14a、14b套合该振膜件10的两端，并在该振膜件10的两侧表面通过电晕法进行充电，再分别在该振膜件10相对应两侧的该两个固定环14a、14b上设置两个绝缘体12a、12b，再分别在两个绝缘体12a、12b相对应的两侧且位于该两个绝缘体12a、12b上设置两个导电背板11a、11b，最后分别在该两个导电背板11a、11b相对应的两侧涂布该连接材料15，并将两个保护件13a、13b设置在其上。

本发明的电声致动器及其制法通过在两侧设有多个纳微米孔洞且具有一驻极体材料成分的振膜件充电后，可长时间保有较高的正负或同正、同负偏压，再通过该两个导电背板分别接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后，该振膜件同时产生推-拉的静电力，使该振膜件振动并驱动周围空气，通过该导电背板的孔洞发出声音。又根据库伦定律可知：静止状态的两点电荷，在空气中相互作用力的大小(静电力)与每一个点电荷的电荷量成正比，与两点电荷间距离的二次方成反比，本发明的振膜件充电后，可长时间保有较高的正负或同正、同负偏压，相对地音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压值较小，可使用体积小且单价低的音频放大器，因此，本发明不仅符合未来市场扁平化、高音质的需求，更具有省电及节省成本的优点。

Claims

1.一种电声致动器，接收一音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后发出声音，其特征在于，该电声致动器至少包括：

一振膜件，在两侧设有多个纳微米孔洞，且具有一驻极体材料的成分，充电后，在两侧表面长时间保有较高的正负或同正、同负偏压；

两个导电背板，分别设置在与该振膜件相对应的两侧，且设有多个孔洞，分别在接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后，该振膜件同时产生推-拉静电力，使该振膜件振动，并驱动周围空气，通过其上的孔洞发出声音；以及

两组绝缘体，分别设置在该振膜件及该两个导电背板之间，将该振膜件及该两个导电背板隔开，并产生一电性绝缘效果。

2.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该振膜件由一电极以及两个设置在该电极相对应两侧的驻极体组成，该驻极体由该驻极体材料制成，且设有多个纳微米孔洞。

3.如权利要求2所述的电声致动器，其特征在于，该振膜件充电后，通过该驻极体材料特性以及该多个纳微米孔洞，在该驻极体的表面保留大量正负或同正、同负电荷，使该振膜件的两侧表面长时间留有较高的正负或同正、同负偏压。

4.如权利要求3所述的电声致动器，其特征在于，该振膜件通过电晕法进行充电。

5.如权利要求2所述的电声致动器，其特征在于，该电极由该驻极体表面以电镀、溅镀或蒸镀金属的方式形成。

6.如权利要求2所述的电声致动器，其特征在于，该电极由该驻极体表面涂布导电高分子材料形成。

7.如权利要求3所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体是该驻极体材料制成的单层结构。

8.如权利要求7所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构中以发泡剂进行发泡的方式形成。

9.如权利要求7所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以溶剂进行溶解的方式形成。

10.如权利要求7所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以超临界流体发泡技术的方式形成。

11.如权利要求3所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体由该驻极体材料制成的单层结构以及设置在该单层结构相对应两侧的高分子聚合物组成。

12.如权利要求11所述的电声致动器，其特征在于，该高分子聚合物防水性高，防止该驻极体表面保留的电荷流失。

13.如权利要求11所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以发泡剂进行发泡的方式形成。

14.如权利要求11所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以溶剂进行溶解的方式形成。

15.如权利要求11所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以超临界流体发泡技术的方式形成。

16.如权利要求3所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体由多个该驻极体材料制成的单层结构以及多个高分子聚合物组成。

17.如权利要求16所述的电声致动器，其特征在于，该高分子聚合物防止该驻极体表面保留的电荷流失。

18.如权利要求16所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该多个该驻极体材料制成的单层结构以及多个高分子聚合物相互叠合形成。

19.如权利要求1、2、7、8、9、10、11、13、14、15、16或18所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体材料是含氟的高分子材料。

20.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板分别设有接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压的电极。

21.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板与该两组绝缘体不接置的一侧表面还布有绝缘材料与外界绝缘。

22.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是表面镀有金属材料且设有该多个孔洞的塑料体。

23.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是表面布有导电高分子材料且设有多个孔洞的塑料体。

24.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是设有多个孔洞的金属板。

25.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是金属网。

26.如权利要求1所述的电声致动器，其特征在于，该电声致动器还包括两个保护件，该两个保护件分别设置在该两个导电背板相对应的两侧，传递声音以及防止灰尘、水气进入。

27.如权利要求26所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件还分别通过一连接材料连接到该两个导电背板相对应的两侧。

28.如权利要求26或27所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件的材料是含纳微米孔洞结构的复合材料。

29.如权利要求26或权利要求27所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件的材料是含纳微米孔洞结构的纤维材料。

30.如权利要求26或权利要求27所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件的材料是含纳微米孔洞结构的高分子材料。

31.如权利要求2所述的电声致动器，其特征在于，该电声致动器还包括两个固定环，该两个固定环分别设置在该振膜件两端，且位于该两个绝缘体与该振膜件之间，固定该振膜件。

32.一种电声致动器，在接收一音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后发出声音，其特征在于，该电声致动器包括：

一振膜件，由一电极以及两个设置在该电极相对应两侧的驻极体组成，该驻极体由一驻极体材料制成，且设有多个纳微米孔洞，充电后，在两侧表面长时间保有较高的正负或同正、同负偏压；

两个导电背板，分别设置在该振膜件相对应的两侧且设有多个孔洞，分别接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压后，该振膜件同时产生推-拉静电力，使该振膜件振动并驱动周围空气通过其上的孔洞发出声音；

两组绝缘体，分别设置在该振膜件及该两个导电背板之间，将该振膜件及该两个导电背板隔开并产生一电性绝缘效果；

两个保护件，分别设置在该两个导电背板相对应的两侧，传递声音以及防止灰尘、水气进入；以及

两个固定环，分别设置在该振膜件的两端，且位于该两个绝缘体与该振膜件之间，固定该振膜件。

33.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该振膜件充电后，通过该驻极体材料特性以及该多个纳微米孔洞，在该驻极体表面保留大量正负或同正、同负电荷，使该振膜件的两侧表面长时间保有较高的正负或同正、同负偏压。

34.如权利要求33所述的电声致动器，其特征在于，该振膜件通过电晕法进行充电。

35.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该电极由该驻极体表面以电镀、溅镀或蒸镀金属的方式形成。

36.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该电极由该驻极体表面涂布导电高分子材料形成。

37.如权利要求33所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体是该驻极体材料制成的单层结构。

38.如权利要求37所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以发泡剂进行发泡方式形成。

39.如权利要求37所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以溶剂进行溶解方式形成。

40.如权利要求37所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以超临界流体发泡技术方式形成。

41.如权利要求33所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体由该驻极体材料制成的单层结构以及设置在该单层结构相对应两侧的高分子聚合物组成。

42.如权利要求41所述的电声致动器，其特征在于，该高分子聚合物防水性高，防止该驻极体表面保留的电荷流失。

43.如权利要求41所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以发泡剂进行发泡的方式形成。

44.如权利要求41所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以溶剂进行溶解方式形成。

45.如权利要求41所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该驻极体材料制成的单层结构以超临界流体发泡技术方式形成。

46.如权利要求33所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体由多个该驻极体材料制成的单层结构以及多个高分子聚合物组成。

47.如权利要求46所述的电声致动器，其特征在于，该高分子聚合物防止该驻极体表面保留的电荷流失。

48.如权利要求46所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体上的多个纳微米孔洞由该多个该驻极体材料制成的单层结构以及多个高分子聚合物相互叠合形成。

49.如权利要求32、37、38、39、40、41、43、44、45、46、48或19所述的电声致动器，其特征在于，该驻极体材料是含氟的高分子材料。

50.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板分别设有接收该音频放大器输出的两个同相或反相交流音频电压的电极。

51.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板与该两组绝缘体不接置的一侧表面还布设有绝缘材料与外界绝缘。

52.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是表面镀有金属材料且设有多个孔洞的塑料体。

53.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是表面布设有导电高分子材料且设有多个孔洞的塑料体。

54.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是设有多个孔洞的金属板。

55.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该两个导电背板是金属网。

56.如权利要求32所述的电声致动器，其特征在于，该电声致动器还包括两个保护件，该两个保护件分别设置在该两个导电背板相对应的两侧，传递声音以及防止灰尘、水气进入。

57.如权利要求56所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件还分别通过一连接材料连接到该两个导电背板相对应的两侧。

58.如权利要求56或57所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件的材料是含纳微米孔洞结构的复合材料。

59.如权利要求56或57所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件的材料是含纳微米孔洞结构的纤维材料。

60.如权利要求56或57所述的电声致动器，其特征在于，该两个保护件的材料是含纳微米孔洞结构的高分子材料。

61.一种制作如权利要求1所述的电声致动器的方法，其特征在于，该电声致动器制法包括下列步骤：

(1)形成该振膜件；

(2)在该振膜件的两侧表面进行充电；

(3)分别设置该两个绝缘体到该振膜件相对应的两侧；以及

(4)分别设置该两个导电背板到该两个绝缘体相对应的两侧。

62.如权利要求61所述的电声致动器制法，其特征在于，该电声致动器制法的步骤(1)中还包括下列步骤：

(1-1)以该驻极体材料形成两个驻极体；以及

(1-2)在该两个驻极体之间形成一电极。

63.如权利要求62所述的电声致动器制法，其特征在于，该电极由该驻极体表面以电镀、溅镀或及蒸镀金属的方式形成。

64.如权利要求62所述的电声致动器制法，其特征在于，该电极由该驻极体表面涂布导电高分子材料形成。

65.如权利要求61所述的电声致动器制法，其特征在于，该电声致动器制法的步骤(1)及电声致动器制法的步骤(2)之间还包括下列步骤：

以两个固定环套合该振膜件的两端。

66.如权利要求61所述的电声致动器制法，其特征在于，该电声致动器制法的步骤(2)通过电晕法进行充电。

67.如权利要求61所述的电声致动器制法，其特征在于，该电声致动器制法还包括下列步骤：

(5)分别在该两个导电背板相对应的两侧设置两个保护件。

68.如权利要求67所述的电声致动器制法，其特征在于，该电声致动器制法的步骤(4)与电声致动器制法的步骤(5)之间还包括下列步骤：

在该两个导电背板相对应的两侧涂布一连接材料。