CN1983395A - 薄膜磁头元件的检查方法和检查用保持夹具 - Google Patents

Abstract

一种薄膜磁头元件的检查方法，在利用SEM进行薄膜磁头的形状测量检查的情况下，在制造工序中组合进该检查方法，能够有效地进行检查。该检查方法包括：将列状地具有多个薄膜磁头元件的滑条保持在由非磁性材料构成的检查用保持夹具上的步骤；将保持在该检查用保持夹具上的滑条放入扫描式电子显微镜的试样载置部中的步骤；以及由上述扫描式电子显微镜依次执行滑条上的多个薄膜磁头元件的形状检查的步骤。

Description

薄膜磁头元件的检查方法和检查用保持夹具

技术领域

本发明涉及检查薄膜磁头的形状的方法和检查时使用的保持夹具。

背景技术

以前，采用光学显微镜进行了薄膜磁头的形状测量(特别是记录轨道宽度的测量)。但是，光学显微镜的分辨率难以精密地测量(观察)越来越微细化的薄膜磁头的轨道宽度，从而利用扫描式电子显微镜(SEM，Scanning ElectronMicroscope)进行长度测量。

专利文献1：日本特开2002-150523号公报

发明内容

本发明的目的在于得到一种检查方法，在利用SEM进行薄膜磁头的形状测量检查的情况下，将其检查工序组合到制造工序中，高效地进行检查。

而且，本发明的目的在于得到一种检查用保持夹具，在用于通过SEM进行的检查时，能够以高精度进行检查。

本发明提出的是，在从纵横地排列多个薄膜磁头元件而形成的晶片中，切出具有一列的多个薄膜磁头元件的滑条时，保持该滑条的状态不变，由SEM依次检查多个薄膜磁头元件的方法。

即，本发明的薄膜磁头元件的检查方法的第1方式是，包括：将列状地具有多个薄膜磁头元件的滑条保持在由非磁性材料构成的检查用保持夹具上的步骤；将保持在该检查用保持夹具上的滑条放入扫描式电子显微镜的试样载置部中的步骤；以及由上述扫描式电子显微镜依次执行滑条上的多个薄膜磁头元件的形状检查的步骤。

本发明的方法中使用的检查用保持夹具的一个特征是，由于用于SEM中，所以由不会被SEM内部的电磁线圈吸附的非磁性材料构成。并且，希望包括无孔的盲板和在该盲板上重叠固定且由保持滑条的单—部件构成的板簧。由于具有盲板，所以能够使盲板(检查用保持夹具)吸附在运送机器人的真空吸附臂上，运送到扫描式电子显微镜的内外。

更具体地讲，包括无孔的盲板和在该盲板上重叠固定且由单一部件构成的板簧的检查用保持夹具可以构成为，在该板簧上形成插入滑条的保持槽和保持插入到该保持槽中的滑条且由贯通上述板簧的贯通槽划分形成的弹簧臂。

该弹簧臂可以组合使用2种类型、或者单独使用。其中一种是具有与滑条的长度方向的端部边缘部接触的锥面的端部按压弹簧臂，该端部按压弹簧臂的锥面的作用是，将插入到保持槽中的滑条按压在该保持槽的长度方向的一端上。另一种是，具有与滑条的长度方向的中间部分接触的按压爪的中间部按压弹簧臂，该中间部按压弹簧臂的按压爪的作用是，将插入到保持槽中的滑条按压在该保持槽的长度方向的一侧面上。

在板簧上，可以形成相互平行的多个保持槽。在该方式中，端部按压弹簧臂和中间部按压弹簧臂都可以设置在多个保持槽的每一个中，能分别地弹性变形。或者，能够设置在多个保持槽的每一个中，相互连接，可以一起弹性变形。

盲板和板簧优选用固定螺钉结合。如果用例如粘合剂粘接，在真空环境的SEM内会产生排气的问题，所以是不希望的。

另外，希望是，由非磁性材料构成的盲板与板簧中，至少板簧由非磁性的可得到板簧的较高弹性的钛制成。

作为检查对象的、从晶片切出的滑条希望和晶片状态时一样平坦，但实际上有时会产生凸向或者凹向的翘曲。如果用检查用保持夹具保持产生翘曲的滑条，滑条成为从检查用保持夹具浮起的状态，和板簧的导通性恶化。因此，在用SEM检查时，用于稳定着陆能量(landing energy)的反馈偏压难以施加到滑条上，SEM图像的分辨率下降。本发明的第2方式提出了使滑条和板簧可靠导通，用SEM高精度地进行检查的方法。而且，着陆能量指的是电子束到达被检查物时的电压。

即本发明的薄膜磁头元件的检查方法的第2方式，包括：将列状地具有多个薄膜磁头元件的滑条插入由非磁性材料构成的检查用保持夹具中，将滑条以按压在该检查用保持夹具上的状态进行保持的步骤；将保持在该检查用保持夹具上的滑条放入扫描式电子显微镜的试样载置部中的步骤；以及由上述扫描式电子显微镜依次执行滑条上的多个薄膜磁头元件的形状检查的步骤。

优选的是，检查用保持夹具包括：无孔的盲板；板簧，在该盲板上重叠固定，由保持滑条的单一部件构成；以及按压板簧，由与该板簧不同的其它部件构成，在上述盲板上重叠固定，将滑条按压在该板簧上。或者优选，包括：无孔的盲板；和重合固定在该盲板上、保持滑条并按压在该检查用保持夹具上的由单一部件形成的板簧。由于具有盲板，能够使盲板(检查用保持夹具)被吸附在运送机器人的真空吸附臂上，运送到扫描式电子显微镜的内外。

更具体地说，具有无孔的盲板、重叠固定在该盲板上且由单一部件形成的板簧、由与板簧不同的其它部件构成且重叠固定在盲板上的按压板簧的检查用保持夹具，能够具有如下结构，在上述板簧上形成有插入滑条的带底的保持槽、和保持插入到该保持槽中的滑条且由贯通上述板簧的贯通槽分划形成的弹簧臂，在上述按压板簧上形成有下方按压簧片，该下方按压簧片在上述保持槽上伸出，将插入到该保持槽中的滑条按压在保持槽底面上。

优选按压板簧具有在释放下方按压簧片的弹力的方向上弹性变形，使滑条相对于保持槽装卸自如的释放着力部。通过具有该释放着力部，滑条的装卸变得容易。

在板簧上，可以相互平行地形成多个保持槽。在该方式中，优选在多个保持槽的每个中，在该保持槽的长度方向的两端部和中间部的至少三个位置设有按压板簧。由于在保持槽的长度方向的两端部和中间部的至少三个位置上设有按压板簧，能够校正滑条的凸向和凹向的任何翘曲。

优选按压板簧用固定螺钉连接到板簧和盲板中的至少一个上。通过采用螺钉，使得在真空环境的SEM内不会产生排气。

优选由非磁性材料形成的按压板簧是由非磁性且得到下方按压簧片的高弹性的黄铜制成。

另一方面，更具体地讲，具有无孔的盲板和重叠固定在该盲板上的由单一部件构成的板簧的检查用保持夹具，还可以具有如下结构，即在板簧上形成插入滑条的带底的保持槽，和保持插入到保持槽中的滑条且由贯通板簧的贯通槽划分的弹簧臂。优选该弹簧臂是具有从滑条上方同滑条的上表面和侧面的交线抵接的锥面的锥形按压弹簧臂，该锥形按压弹簧臂的锥面实现将插入到上述保持槽中的滑条按压在该保持槽的长度方向的一侧面和底面上的作用。

该锥形按压弹簧臂可以并用2种类型，或者单独使用。其中一种是将滑条在长度方向的端部位置按压在保持槽的长度方向的一侧面和底面上的端部锥形按压弹簧臂，另一种是将滑条在长度方向的中间部按压在保持槽的长度方向的一侧面和底面上的中间部锥形按压弹簧臂。

在板簧上可以相互平行地形成多个保持槽。在该方式中，优选在多个保持槽的每一个中具有锥形按压弹簧臂。多个锥形按压弹簧臂可以分别弹性变形，也可以相互连接，一起弹性变形。

在上述板簧具有锥形按压弹簧臂的检查用保持夹具中，可以具有由与板簧不同的其它部件构成且重叠固定在盲板上的按压板簧。优选在该按压板簧上形成有下方按压簧片，该下方按压簧片在与上述锥形按压弹簧臂不同的位置在保持槽上伸出，将插入到该保持槽中的滑块按压在保持槽底面上。如果象这样组合使用锥形按压弹簧臂和按压板簧，会扩大发计自由度。

优选在按压板簧上形成有在释放下方按压簧片的弹力的方向上弹性变形、且使滑条在保持槽中装卸自如的释放着力部。由于具有该释放着力部，滑条的装卸变得容易。

在板簧上可以相互平行地形成多个保持槽。在该方式中，优选在该多个保持槽的每一个中，上述锥形按压弹簧臂和上述按压板簧共设有3个以上，至少位于该保持槽的长度方向的两端部和中间部。由于具有3个以上的锥形按压弹簧臂和按压板簧，能够校正滑条的凸向和凹向两个方向的翘曲。

优选盲板和按压板簧用固定螺钉连接。同样，优选盲板和板簧用固定螺钉连接。通过采用螺钉，使得在真空环境的SEM内不会产生排气。

按压板簧优选由非磁性且得到下方按压簧片的高弹性的黄铜制成。同样，板簧也优选由得到锥形按压弹簧臂的高弹性的钛制成。

利用本发明的方法，能够在制造工序中的滑条的状态下利用SEM测量薄膜磁头的形状。

由于本发明的检查用保持夹具由至少包含盲板和由单一部件构成的板簧的多重板结构形成，所以能够使向SEM内外的夹具(滑条)的传送自动化。通过使板簧的弹簧臂或者弹簧臂和按压板簧(释放着力部)弹性变形，滑条的装卸能够在短时间内执行，所以操作性好。而且，由于保持滑条的弹簧臂由形成在板簧中的贯通槽形成，所以装卸时即使弹性变形也不用担心产生微细杂质。例如将螺钉、胶带或者腊用于装卸，则会产生SEM内的污染和排气的问题，妨碍正确的测量，但在本发明中，与此相比，能够避免这样的担心。而且，插入到板簧的保持槽中的滑条由按压板簧的下方按压簧片和板簧的按压弹簧臂中至少一个被按压在保持槽底面上，所以即使在滑条上产生翘曲，也能够由SEM高精度地进行检查。

附图说明

图1(A)、(B)、(C)、(D)是采用本发明的检查方法的滑条的分级放大图，(B)是(A)的B部放大图，(C)是(B)的C部放大图，(D)是(C)的D部放大图。

图2是本发明的检查方法中使用的扫描式电子显微镜的概念图。

图3是表示本发明的检查方法中使用的检查用保持夹具的第一实施方式的立体图。

图4是其平面图。

图5是表示将滑条保持在检查用保持夹具上的状态的平面图；

图6是图5的正视图。

图7是沿图5的VII-VII线的剖面图。

图8是表示作为检查对象的滑条的剖面图，(A)是正常的情况，(B)是产生了凸翘曲的情况，(C)是产生了凹翘曲的情况。

图9是将滑条保持在第二实施方式的检查用保持夹具上的状态取出一部分表示的平面图。

图10是将图9的一部分放大表示的立体图。

图11是沿图9的XI-XI线的剖面图。

图12是将滑条保持在第三实施方式的检查用保持夹具上的状态取出一部分表示的平面图。

图13是沿图12的XIII-XIII线的剖面图。

图14是将滑条保持在第四实施方式的检查用保持夹具中的状态取出一部分而示出的平面图。

附图标记说明

10晶片

11薄膜层

12薄膜磁头元件

12A再现元件

12B记录元件

W记录轨道宽度

15滑条

20扫描式电子显微镜(SEM)

40检查用保持夹具

41盲板

42、64固定螺钉

43板簧

44保持槽

44a一端部

44b一侧面

44c底面

45端部按压弹簧臂

45T锥面

46中间部按压弹簧臂

46A按压爪

46B连接臂

46C弹性臂

47贯通槽

50真空吸附臂

60按压板簧

60A下方按压簧片

60B释放着力部

60C固定部

345端部锥形按压弹簧臂

345T锥面

346中间锥形按压弹簧臂

346T锥面

α交线

具体实施方式

参照图1(A)至(D)说明具有作为本发明对象的多个薄膜磁头的滑条制造工序。在图(A)所示的晶片10上，依次以规定形状层叠各种薄膜，在该薄膜层11内同时形成纵横排列的多个薄膜磁头元件12(一般再现用和记录用上下设置)。各薄膜磁头元件12具有规定的轨道宽度和规定的高度尺寸。在薄膜层11和晶片10的边界示意性地标有边界线13。而且，图1(A)所示的纵横的分划线14，表示一个薄膜磁头元件12的形成区域。放大表示薄膜层11的厚度和由分划线14分划的薄膜磁头元件12的形成区域。

接着，将该晶片10切割成具有一列薄膜磁头元件12的滑条15。在该滑条15的ABS面上，与各薄膜磁头元件12对应地加工导轨16。众所周知，薄膜磁头元件12包含层叠方向下方的再现元件(例如GMR或TMR)12A和上方的记录元件12B，记录元件12B具有由磁性薄膜12D和12E夹着非磁性薄膜12C的记录头部。该非磁性薄膜12C的宽度W是记录轨道宽度，目前是百数十nm的数量级。

本实施方式的检查方法是，在滑条15的状态下利用SEM依次测量在ABS面露出的多个记录元件12B的记录轨道宽度W的大小。图2表示SEM20的大致结构。由电子枪21产生的电子束由电子聚束透镜22、23收束，通过偏转线圈(扫描线圈)24的磁场偏转，在XY方向扫描。通过电子物镜25和可变光澜使扫描的电子束(电子探测器)将焦点聚焦在试样X上进行照射。在试样X上，为了使着陆能量稳定而施加规定的负电压(反馈偏压)。通过电子束照射发出的二次电子和反射电子在检测器27内部转换成光，经图像放大器28提供给CRT29。偏转线圈24和CRT29通过扫描电路30实现相关，试样X表面的电子探头所在的点和CRT画面上的电子束的位置保持正确的相关关系。因此，在CRT29的画面上能够得到试样X的放大SEM像。在测量时通过真空泵将SEM20内31保持高真空。

在本发明方法中，为了在SEM20内运送滑条15，采用检查用保持夹具40。利用图3至图7说明该检查用保持夹具40的第一实施方式。检查用保持夹具40是无孔的盲板41和重合在该盲板41上并用固定螺钉42(图6)固定的板簧43的双重板结构。盲板41和板簧43由具有高平面度的钛制造。

在板簧43上，形成多个保持滑条15且相互平行的带底的保持槽44。形成与各保持槽44对应，分别形成在与保持槽44平行的方向上延伸申的端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46。端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46都由在板簧43上形成的贯通槽47形成。在图4中，贯通槽47由阴影表示。如此地，通过利用贯通槽47形成端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46，能够构成滑动部分为最小限度的保持夹具。而且，为了使端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46不与盲板41接触(滑动接触)，优选在两者之间设置间隙。

各端部按压弹簧臂45对于每个保持槽44是独立的，其基部与板簧43结合，在前端自由端部具有锥面45T。锥面45T在自由状态下同插入保持槽44中的滑条15的长度方向的端部边缘部抵接。即，滑条15的端部边缘部成平面直角，锥面45T相对于成直角的两个面分别成45度地接触。因此，锥面45T的作用是，将滑条15按压在保持槽44的长度方向的一端44a上，同时也产生将滑条15按压在保持槽44的长度方向的一侧面44b上的力。

另一方面，在设置于各保持槽44的中间部按压弹簧臂46的前端部，形成有可以与插入保持槽44中的滑条15的中间部分抵接的按压爪46A，该按压爪46A的相反侧的端部通过连接臂46B相互结合着。连接臂46B在与相互平行的保持槽44相垂直的方向上延伸，其两端部同与保持槽44平行的一对弹性臂46C的一端部结合着。一对弹性臂46C的另一端部和板簧43结合着。所有的中间部按压弹簧臂46由该一对弹性臂46C提供弹性，在自由状态下，各按压爪46A将插入保持槽44中的滑条15的中间部分按压在该保持槽44的一侧面44b上。在连接臂46B上形成有保持槽44的一部分，该连接臂46B上的保持槽44的宽度比其它部分的保持槽44宽，使得在滑条15嵌入到保持槽44的状态下，中间部按压弹簧臂46可以弹性变形(图3、图4)。

在上述结构的检查用保持夹具40中，在从端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46向离开各保持槽44的方向弹性变形的状态下，将导轨16的加工结束后的滑条15嵌入各保持槽44中，如果释放端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46，则锥面45T将滑条15按压在一端部44a和一侧面44b上，按压爪46A将滑条15按压在一侧面44b上。能够利用该弹性力将滑条15保持在检查用保持夹具40上的正确位置(设定位置)。

这样保持了多个滑条15的检查用保持夹具40，可通过使运送机器人的真空吸附臂50(图6)作用在盲板41上，将其运送到SEM20的内外。被运送到SEM20内的规定位置(试样载置部)的滑条15(检查用保持夹具40)，通过SEM20执行各薄膜磁头元件12的记录轨道宽度W的测量，区分为合格品和不合格品。

然后，SEM20的检查(长度测量)结束的滑条15(检查用保持夹具40)和搬入时同样由运送机器人的真空吸附臂50吸附着被搬出。滑条15沿着图1(B)所示的切断线15S切断每个薄膜磁头元件12，合格品成为滑块。

但是，希望SEM20的试样X(检查对象)、即从晶片切出的滑条15，与晶片状态时同样是平的(图8(A))，但实际上，有时通过导轨16的加工等产生凸向或者凹向的翘曲(图8(B)、(C))。如果用检查用保持夹具40保持具有这样的翘曲的滑条15，则滑条15成为从板簧43的保持槽44浮起的状态，与板簧43的导通性恶化。因此，可知在用SEM20检查时，用于稳定着陆能量的反馈偏压难以施加到滑条15上，SEM像质会下降。以下说明的本发明的第二～第四实施方式的检查用保持夹具240、340、440是上述检查用保持夹具40的改良版，即使是产生了翘曲的滑条15，也具有使该滑条15和板簧43可靠导通的功能。

参照图9～图11，对第二实施方式的检查用保持夹具240进行说明。图9是表示保持了滑条15的状态下的检查用保持夹具240的一部分的平面图。图10是将图9部分地放大示出的立体图，图11是沿图9的XI-XI线的剖面图。

检查用保持夹具240是由以下构件构成的三重板结构，这些构件是：无孔的盲板41；与该盲板41重叠并用固定螺钉42(图6)固定的板簧43；以及按压板簧60(61～63)，由与该板簧43不同的部件构成，和盲板41重叠且用固定螺钉64固定。按压板簧60由黄铜(非磁性材料)制造。除了具有按压板簧60之外，和第一实施方式的检查用保持夹具40是相同结构。在图9～图11中，对于具有和第一实施方式的检查用保持夹具40的各构成部件相同的功能的构成部件，采用和图3～图7相同的附图标记示出。

如图10中放大表示的那样，按压板60具有在板簧43的保持槽44上延伸出的下方按压簧片60A、与该下方按压簧片60A垂直的释放着力部60B、从该释放着力部60B的端部延伸的固定部60C，整体形成为平面L字形。

下方按压簧片60A在从保持槽44的上方朝底面44c的方向上(图10和图11的下方)被施力，实现将保持在保持槽44中的滑条15按压在底面44c上的作用(参照图11(A))。释放着力部60B在自由状态下和盲板41及板簧43非接触，以从盲板41及板簧43浮起的状态被保持，可以在释放下方按压簧片60A的弹力的方向上进行弹性变形。具体而言，如果将释放着力部60B朝靠近板簧43的方向(图示下方向)按压使其弹性变形，则如图11(B)所示，将释放着力部60B和板簧43抵接的点作为支点，下方按压簧片60A向离开保持槽44(保持在保持槽44中的滑条15)的方向转动，下方按压簧片60A的弹力被释放。在该释放状态，滑条15在保持槽44中装卸自如。固定部60C通过固定螺钉64被固定在盲板41上。

该按压板簧60与板簧43的各保持槽44对应，设置在该各保持槽44(插入各保持槽44的滑条15)的长度方向的两端部和中间部这三个位置上。在本实施方式中，将位于保持槽44的长度方向的两端部的按压板簧60作为端部按压板簧61、63，将位于中间部的按压板簧60作为中间部按压板簧62。这样，通过将按压板簧60设置在保持槽44的长度方向的两端、中间部的至少3个位置上，即使在滑条15朝着凸方向翘曲(图8(B))和朝着凹方向翘曲(图8(C))的某一种情况下，也能够由按压板簧60的下方按压簧片60A将滑条15按压在保持槽44的底面44c上，确保滑条15和板簧43的导通性。

而且，按压板簧60的厚度在本实施方式中是0.2mm，使得在传送到SEM20中时不与电子物镜25接触。这是因为，SEM20的电子物镜25的焦距短，在SEM20内，检查用保持夹具240上侧的间隙小。而且，关于按压板簧60的厚度，只要在检查时被检查物振动、并且按压板簧60电子物镜25不接触就可以，也可以是0.5mm以下。按压板簧60的形状不限于本实施方式的L字形，可以任意设计。

在上述结构的检查用保持夹具240使释放着力部60B朝着释放各按压板簧60的下方按压簧片60A的弹力的方向弹性变形、并且使端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46朝着离开各保持槽44的方向弹性变形的状态下，将导轨16的加工已结束的滑条15嵌入各保持槽44中，如果释放了释放着力部60B、端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46，则下方按压簧片60A将滑条15按压在保持槽44的底面44c上，锥面45T将滑条15按压在一端部44a和一侧面44b上，而且按压爪46A将滑条15按压在一侧面44b上。通过端部按压弹簧臂45和中间部按压弹簧臂46的施力，能够将滑条15保持在检查用保持夹具40上的正确位置(设定位置)。然后，通过下方按压簧片60A的施力，校正滑条15的翘曲，整个滑条15被保持为与保持槽44的底面44c抵接的状态。

这样保持了多个滑条15的检查用保持夹具240，使运送机器人的真空吸附臂作用在该盲板41上，从而能够运送到SEM20的内外。被运送到SEM20内的规定位置(试样载置部)的滑条15(检查用保持夹具240)，利用SEM20测量各薄膜磁头元件12的记录轨道宽度W，区分为合格品和不合格品。即使在滑条15产生翘曲的情况下，只要被保持在检查用保持夹具240上，就能够通过下方按压簧片60A的施力使整体与保持槽44的底面44c抵接，确保滑条15和板簧43的导通性，在SEM检查时滑条表面的着陆能量稳定，能够利用高像质的SEM图像高精度地测量各薄膜磁头元件12的记录轨道宽度W。

然后，SEM20执行的检查(长度测量)已结束的滑条15(检查用保持夹具240)，与送入时同样地被运送机器人的真空吸附臂吸附。滑条15沿着图1(B)所示的切断线15S切断每个薄膜磁头元件12，合格品成为滑块。

接着，参照图12和图13说明第三实施方式的检查用保持夹具340。图12是表示保持了滑条15的状态下的检查用保持夹具340的一部分的平面图，图13是沿图12的XIII-XIII线的剖面图。该检查用保持夹具340具有端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346，它们的作用是将被保持在保持槽44中的滑条15按压在保持槽44的长度方向的一侧面44b和底面44c上。该端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346之外的结构，和第一实施方式的检查用保持夹具40相同。在图12和图13中，对于具有与第一实施方式的检查用保持夹具40的各构成构件相同功能的构件，付与同图3～图7相同的附图标记表示。

端部锥形按压弹簧臂345对于每个保持槽44独立形成的，其基部和板簧43结合，在前端自由端部具有锥面345T。锥面345T在自由状态下，在插入保持槽44中的滑条15的长度方向的端部，从滑条15上方与该滑条15的上表面15a和侧面15b相交的交线α抵接，通过该抵接，对滑条15施加三个方向a1、a2、a3(图13)的力。即，实现将滑条15的长度方向的端部按压在保持槽44的长度方向的一侧面44b和底面44c上的作用。而且，第一实施方式的端部按压弹簧臂45具有与插入到保持槽44中的滑条15的长度方向的端部边缘部抵接的锥面45T，但该锥面45T在产生将滑条15按压在保持槽44的长度方向的一端44a上的力的方向上同端部边缘抵接，所以不具有将滑条15按压在保持槽44的底面44c上的作用。

中间锥形按压弹簧臂346设置在各保持槽44上，在自由前端部形成可以从滑条15上方同插入到保持槽44的滑条15的中间部分低接的锥面346T，与该自由前端部相反的一侧的端部通过连接臂46B相互结合着。如图13所示，锥面346T的作用是，在自由状态下，在被插入到保持槽44中的滑条15的中间部分，从滑条15上方与滑条15的上表面15a和侧面15b相交的交线α抵接，将滑条15的中间部分按压在保持槽44的一侧面44b和底面44c上。而且，如图7所示，第一实施方式的中间部按压弹簧臂46和滑条15的中间部分的抵接面成为平面，仅仅在将滑条15按压在保持槽44的一侧面44b上的方向上作用力。

由于滑条15以薄膜磁头元件12位于保持槽44的一侧面44b侧的朝向(与图3、图9的第一、第二实施方式相反的朝向)插入到保持槽44，所以端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346不覆盖在薄膜磁头元件12上，不妨碍SEM20的检查。

在上述结构的检查用保持夹具340中，在使端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346在离开各保持槽44的方向上弹性变形的状态下，将导轨16的加工已结束的滑条15嵌入到各保持槽44中，如果释放端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346，则锥面345T、346T将滑条15按压在保持槽44的一侧面44b和底面44c上。通过该端部锥形按压弹簧臂345和中间部锥形按压弹簧臂346的施力，能够在检查用保持夹具340上的正确位置(设定位置)，将滑条15保持为同保持槽44的底面44c抵接的状态。

这样保持了多个滑条15的检查用保持夹具340可通过使运送机器人的真空吸附臂作用在盲板41上，运送到SEM20的内外。被运送到SEM20内的规定位置(试样载置部)的滑条15(检查用保持夹具340)通过SEM20执行各薄膜磁头元件12的记录轨道宽度W的测量，区分为合格品和不合格品。即使滑条15因轨道加工等产生了翘曲的情况下，若被检查用保持夹具340保持，则通过端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346的施力，滑条15和保持槽44的底面44c抵接而获得与板簧43的导通性，所以SEM检查时滑条表面的着陆能量稳定，能够利用高像质的SEM图像高精度地测量各薄膜磁头元件12的记录轨道宽度W。

然后，和送入时相同地，SEM20的检查(长度测量)已结束的滑条15(检查用保持夹具340)被运送机器人的真空吸附臂吸附。滑条15沿着图1(B)所示的切断线15S切断每个薄膜磁头元件12，合格品成为滑块。

在该第三实施方式中，实现将插入到保持槽44的滑条15按压在保持槽44的底面44c上的作用的锥形按压弹簧臂，形成在保持槽44的长度方向的一端部和中间部这两个位置上，但还可以在保持槽44的长度方向的另一端部，设置与端部锥形按压弹簧臂345相同结构的锥形按压弹簧臂。通过在保持槽44的长度方向的两端部和中间部的至少3个位置将滑条15按压在保持槽44的底面44c上，即使在滑条15向凸向和凹向中的某一方向翘曲的情况下，也能够使滑条15和板簧43抵接，确保两者的导通性。

下面，参照图14，对第四实施方式的检查用保持夹具440进行说明。图14是表示保持了滑条15的状态下的检查用保持夹具440的一部分的平面图。该检查用保持夹具440是在上述第三实施方式的检查用保持夹具340上追加第二实施方式的按压板簧60而形成的。具体而言，具有下述的结构，即，利用在板簧43上形成的端部锥形按压弹簧臂345及中间锥形按压弹簧臂346，和配置在与保持槽44的端部锥形按压弹簧臂345相反的一侧的端部、且由与板簧43不相同的部件构成的按压板簧60，将插入到保持槽44的滑条15在保持槽44的长度方向的两端部和中间部的三个位置上按压在保持槽44的底面44c上。通过如此地组合锥形按压弹簧臂345、346和按压板簧60，同在板簧43上对每个保持槽44中形成3处以上的锥形按压弹簧臂时相比，设计自由度加大。在图14中，对于具有与第二及第三实施方式的检查用保持夹具240、340的各构成部件相同的功能的构成部件，采用与图9～图13相同的附图标记表示。

根据第四实施方式，插入到保持槽44中的滑条15也被保持为被按压在保持槽44的底面44c上的状态，所以能够确保滑条15和板簧43的导通性，高精度地执行SEM的检查。在第四实施方式中，采用了两个锥形按压弹簧臂(端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346)和一个按压板簧60，但检查用保持夹具所具有的锥形按压弹簧臂和按压板簧的组合可以任意变更。

在上述各实施方式中，与各保持槽44对应地设置了端部按压弹簧臂和中间部按压弹簧臂46(端部锥形按压弹簧臂345和中间锥形按压弹簧臂346)，但可以是仅设置某一个的方式。而且，具有下述优点，即多个中间部按压弹簧臂46(中间锥形按压弹簧臂346)通过连接臂46B相互结合，能够使所有的中间部按压弹簧臂46(中间锥形按压弹簧臂346)同时弹性变形，但也可以与端部按压弹簧臂45(端部锥形按压弹簧臂345)同样地独立。或者相反，也可以是和中间部按压弹簧臂46(中间锥形按压弹簧臂346)同样，使多个端部按压弹簧臂45(端部锥形按压弹簧臂345)结合。

板簧43和按压板簧60由非磁性且可得到高弹性的钛或黄铜制造，也可以由其它非磁性金属材料构成。而且，只要盲板41是平面性高的材料，无需由钛制造，也可以由其它非磁性金属材料构成。例如可以由铝合金、铜合金构成。

而且，在以上实施方式中，测量了薄膜磁头元件的记录轨道宽度W，但也可以测量再现用元件的宽度或垂直用磁记录的主磁极宽度。本发明的方法是在滑条状态下检查(测量)多个薄膜磁头元件的构成，不考虑其检查位置。

Claims (29)

1.一种薄膜磁头元件的检查方法，其特征在于，包括：

将列状地具有多个薄膜磁头元件的滑条保持在由非磁性材料构成的检查用保持夹具上的步骤；

将保持在该检查用保持夹具上的滑条放入扫描式电子显微镜的试样载置部中的步骤；以及

由上述扫描式电子显微镜依次执行滑条上的多个薄膜磁头元件的形状检查的步骤。

2.根据权利要求1所述的薄膜磁头元件的检查方法，上述检查用保持夹具包括无孔的盲板和在该盲板上重叠固定且由保持滑条的单一部件构成的板簧，上述盲板被运送机器人的真空吸附臂吸附，在扫描式电子显微镜的内外运送检查用保持夹具。

3.一种薄膜磁头元件的检查用保持夹具，用于权利要求1所述的薄膜磁头元件的检查方法中，其包括无孔的盲板和在该盲板上重叠固定的由单一部件构成的板簧，在该板簧上形成插入滑条的保持槽和保持插入到该保持槽中的滑条且由贯通上述板簧的贯通槽划分形成的弹簧臂。

4.根据权利要求3所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述弹簧臂是具有与滑条的长度方向的端部边缘部接触的锥面的端部按压弹簧臂，该端部按压弹簧臂的锥面实现将插入到上述保持槽中的滑条按压在该保持槽的长度方向的一端部的作用。

5.根据权利要求3所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述弹簧臂是具有与滑条的长度方向的中间部分接触的按压爪的中间部按压弹簧臂，该中间部按压弹簧臂的按压爪实现将插入到上述保持槽中的滑条按压在该保持槽的长度方向的一侧面上的作用。

6.根据权利要求3所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述板簧上相互平行地形成有多个上述保持槽，在多个保持槽的每个中设有上述弹簧臂，可以分别弹性变形。

7.根据权利要求3所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述板簧上相互平行地形成有多个上述保持槽，在上述多个保持槽的每一个中设有上述弹簧臂，而且所述弹簧臂相互连接，可以一起弹性变形。

8.权利要求3所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述盲板和板簧用固定螺钉结合着。

9.权利要求3所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述盲板和板簧中，至少板簧由钛制成。

10.一种薄膜磁头元件的检查方法，其特征在于，包括：

将列状地具有多个薄膜磁头元件的滑条插入由非磁性材料构成的检查用保持夹具中，将滑条以按压在该检查用保持夹具上的状态进行保持的步骤；

将保持在该检查用保持夹具上的滑条放入扫描式电子显微镜的试样载置部中的步骤；以及

由上述扫描式电子显微镜依次执行滑条上的多个薄膜磁头元件的形状检查的步骤。

11.根据权利要求10所述的薄膜磁头元件的检查方法，

上述检查用保持夹具包括：无孔的盲板；板簧，在该盲板上重叠固定，由保持滑条的单一部件构成；以及按压板簧，由与该板簧不同的其它部件构成，在上述盲板上重叠固定，将滑条按压在该板簧上；

上述盲板被运送机器人的真空吸附臂吸附，在扫描式电子显微镜的内外运送检查用保持夹具。

12.根据权利要求10所述的薄膜磁头元件的检查方法，上述检查用保持夹具包括：无孔的盲板；和重叠固定在该盲板上、保持滑条并按压在该检查用保持夹具上的由单一部件形成的板簧；

上述盲板吸附在运送机器人的真空吸附臂上，在扫描式电子显微镜的内外运送检查用保持夹具。

13.一种薄膜磁头元件的检查用保持夹具，用于权利要求10所述的薄膜磁头元件的检查方法中，该检查用保持夹具包括：无孔的盲板；板簧，在该盲板上重叠固定，由单一部件构成；以及按压板簧，由与该板簧不同的其它部件构成，在盲板上重叠固定；

在上述板簧上形成有插入滑条的带底的保持槽、和保持插入到该保持槽中的滑条且由贯通上述板簧的贯通槽划分形成的弹簧臂，在上述按压板簧上形成有下方按压簧片，该下方按压簧片在上述保持槽上伸出，将插入到该保持槽中的滑条按压在保持槽底面上。

14.据权利要求13所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述按压板簧上形成有释放着力部，该释放着力部在释放上述下方按压簧片的弹力的方向上弹性变形，使滑条相对于上述保持槽装卸自如。

15.根据权利要求13所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述板簧上相互平行地形成有多个上述保持槽，在多个保持槽的每个中，在该保持槽的长度方向的两端部和中间部的至少三个位置设有上述按压板簧。

16.权利要求13所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述盲板和按压板簧用固定螺钉结合着。

17.根据权利要求13所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述按压板簧由黄铜制成。

18.一种薄膜磁头元件的检查用保持夹具，用于权利要求10所述的薄膜磁头元件的检查方法中，该检查用保持夹具包括无孔的盲板和在该盲板上重叠固定且由单一部件构成的板簧，在该板簧上形成有插入滑条的带底的保持槽、和保持插入到该保持槽中的滑条且由贯通上述板簧的贯通槽划分形成的弹簧臂，该弹簧臂是具有从滑条上方同滑条的上表面和侧面的交线抵接的锥面的锥形按压弹簧臂，该锥形按压弹簧臂的锥面实现将插入到上述保持槽中的滑条按压在该保持槽的长度方向的一侧面和底面上的作用。

19.根据权利要求18所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述锥形按压弹簧臂是将滑条在长度方向的端部位置按压在上述保持槽的长度方向的一侧面和底面上的端部锥形按压弹簧臂。

20.根据权利要求19所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述锥形按压弹簧臂是将滑条在长度方向的中间部按压在上述保持槽的长度方向的一侧面和底面上的中间部锥形按压弹簧臂。

21.根据权利要求18所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述板簧上相互平行地形成有多个上述保持槽，上述锥形按压弹簧臂设置在多个保持槽的每一个中，可以分别弹性变形。

22.根据权利要求18所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述板簧上相互平行地形成有多个上述保持槽，上述锥形按压弹簧臂设置在多个保持槽的每一个中，并且相互连接，可以一起弹性变形。

23.根据权利要求18所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，包括由与上述板簧不同的其它部件构成且在盲板上重叠固定的按压板簧，在该按压板簧上形成有下方按压簧片，该下方按压簧片在与上述锥形按压弹簧臂不同的位置在上述保持槽上伸出，将插入到该保持槽中的滑条按压在保持槽底面上。

24.根据权利要求23所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述按压板簧上形成有释放着力部，该释放着力部在释放上述下方按压簧片的弹力的方向上弹性变形，使滑条在上述保持槽中装卸自如。

25.根据权利要求23所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，在上述板簧上相互平行地形成有多个上述保持槽，在该多个保持槽的每一个中，上述锥形按压弹簧臂和上述按压板簧共设有3个以上，至少位于该保持槽的长度方向的两端部和中间部。

26.根据权利要求23所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述盲板和按压板簧用固定螺钉结合着。

27.根据权利要求23所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述按压板簧由黄铜制成。

28.根据权利要求18所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述盲板和板簧用固定螺钉结合着。

29.根据权利要求18所述的薄膜磁头元件的检查用保持夹具，上述盲板和板簧中，至少板簧由钛制成。

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