CN1975386A - 红外光谱仪的多次透射－反射测量附件 - Google Patents

红外光谱仪的多次透射－反射测量附件 Download PDF

Info

Publication number
CN1975386A
CN1975386A CNA2006100978594A CN200610097859A CN1975386A CN 1975386 A CN1975386 A CN 1975386A CN A2006100978594 A CNA2006100978594 A CN A2006100978594A CN 200610097859 A CN200610097859 A CN 200610097859A CN 1975386 A CN1975386 A CN 1975386A
Authority
CN
China
Prior art keywords
infrared
reflection
plane mirrors
multiple transmission
sample
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006100978594A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1975386B (zh
Inventor
肖守军
刘洪波
托比斯·鲍尔特
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing University
Original Assignee
Nanjing University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing University filed Critical Nanjing University
Priority to CN2006100978594A priority Critical patent/CN1975386B/zh
Publication of CN1975386A publication Critical patent/CN1975386A/zh
Priority to US12/515,018 priority patent/US20100051813A1/en
Priority to PCT/CN2007/003186 priority patent/WO2008058456A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1975386B publication Critical patent/CN1975386B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03—Cuvette constructions
    • G01N21/031—Multipass arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0202—Mechanical elements; Supports for optical elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03—Cuvette constructions
    • G01N2021/0339—Holders for solids, powders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

一种红外光谱仪多次透射－反射测量附件，它包括两个平行的平面反射镜，在两个平面反射镜之间有样品固定架，样品固定架将样品片固定在两个平面反射镜之间、并与、平面反射镜平行，在测量时，红外光谱仪发射的红外光与平面反射镜呈一入射角进入两个平面反射镜之间，在两个平面反射镜之间进行多次反射，样品片则被红外光多次透射－反射测量，经过对样品多次透射－反射测量后的红外光进入红外光谱仪的检测器。本发明的红外光谱仪多次透射－反射测量附件，采用多次透射－反射的方法提高图谱的信噪比。操作简单，不需要对样品进行特殊的处理以及昂贵的全反射晶体，测量结果重复性好。除了可以检测表面的微量成分外，也可以用于材料体内的微量成分测量。

Description

红外光谱仪的多次透射-反射测量附件
技术领域
本发明属于光谱测量技术领域，涉及一种红外线(半)透明材料体内和表界面微量成分的测量，是一种应用于红外光谱仪中的附件。
背景技术
硅、砷化镓等红外材料是半导体工业中常见的电子材料，并广泛的应用于生物检测、传感器、太阳能电池、分子识别等许多领域，这些材料的表面修饰是各应用中的一个重要步骤。红外光谱能够无损伤的检测出表面修饰膜的分子组成、取向，成膜质量等因素，是一种重要的表面分析手段。但当膜的厚度仅为纳米级别时(例如单分子膜厚度仅在1nm左右)，红外测量就存在很大困难，原因有：1、检测成分的数量太少，红外吸收强度很弱；2、当红外光到达材料表面的时候，会同时发生透射和反射，能量的损失导致性噪比降低。对于材料体内的微量成分测量也同样存在以上原因。所以，通常所用的透射和反射测量方法不能有效的用于红外材料表面微量的测量。而这种困难导致很多研究工作者放弃了红外光谱的表征，从而限制了红外光谱的应用。
目前最常见的用于表面修饰测量的方法是多次内反射(multiple internal reflection)，这种方法是采用全反射硅晶体作为反应单分子膜的基底，在硅晶体两边切割成45度斜边，红外光从一端进入硅晶体，发生多次内反射，从另一端离开晶体到达检测器。全反射可以检测到表面约1μm厚度的分子，通过增加全反射次数，增加了吸收强度。但这种方法所需要使用的硅晶体价格昂贵，在反应过程中容易损坏，并且不能作为基底直接进行后续的器件制备，这就为实验操作带来很大的麻烦。另一种方法是近几年刚发展起来的掠角全反射附件(GATR，Harrick Scientific corporation)，使用锗晶体作为全反射晶体，将硅片压在晶体上进行测量，红外光入射角为65度(大于锗和硅之间全反射的临界角60度)。理论上，在两个大折射率材料之间，电场会有很大程度的增强，红外吸收信号也随之增强。但由于在实际测量中，即使在很大的压力下，锗晶体和待测样品间不可避免的存在空隙，这会导致信号的大幅下降。同时很大的压力容易损坏锗晶体和待测样品的表面结构，并且如果每次测量时压力的控制略有差异，会导致结果难以重复。
所以，对于红外材料表面的微量成分的测量，一直没有很好的解决方法，在信噪比、数据的重复性、试验操作的难易程度、经济实用等多方面还未找到一种合适的检测方法。
发明内容
本发明的目的是设计一种适合于表征红外(半)透明材料表面及体内微量成分检测的红外光谱测量附件，该附件的使用使得图谱的信噪比高和重复性好，该附件操作简便、经济实用。
本发明的技术方案如下：
一种红外光谱仪多次透射-反射测量附件，红外光谱仪多次透射-反射测量附件置于红外光谱仪的样品腔内，它包括两个平行的平面反射镜，在两个平面反射镜之间有样品固定架，样品固定架可以将样品片固定在两个平面反射镜之间、并与平面反射镜平行，在测量时，红外光谱仪发射的红外光与平面反射镜呈一入射角进入两个平面反射镜之间，在两个平面反射镜之间进行多次反射，样品片则被红外光多次透射-反射测量，经过对样品多次透射-反射测量后的红外光进入红外光谱仪的检测器进行测量。
上述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件中，所述的平面反射镜有平行位移部件，以调节两个平面反射镜之间的距离。
上述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件中，所述的两个平面反射镜和样品固定架有一个共同的旋转平台，以调节红外光进入平面反射镜的入射角度。
上述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件中，在两个平面反射镜的红外光路后方，有可以改变位置或/和角度的导光反射镜，用于调节红外光路的方向，将出射的红外光最大可能地导入检测器，增强检测器接收到的光信号。
上述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，在两个平面反射镜的红外光路的前方有可以改变位置或/和角度的导光反射镜，用于调节红外光进入两个平面反射镜并可以改变测量的入射角度。
本发明的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，利用红外材料对红外光(半)透明的特征，结合了反射和透射光谱的检测方法，采用多次透射-反射的方法提高图谱的信噪比。操作简单，不需要对样品进行特殊的处理以及使用昂贵的全反射晶体，测量结果重复性好。除了可以检测表面的微量成分外，也可以用于材料体内的微量成分测量。
附图说明
图1.实施例1的红外光谱仪多次透射-反射测量附件的整体结构以及光路的示意图；
图2.红外光谱仪多次透射-反射测量附件的平面反射镜部分及检测样品的放置的示意图；
图3.红外光谱仪多次透射-反射测量附件的平面反射镜7的固定方式的示意图；
图4.红外光谱仪多次透射-反射测量附件的平面反射镜8的固定方式的示意图；
图5.红外光谱仪多次透射-反射测量附件的样品固定方式的示意图；
图6.红外光谱仪多次透射-反射测量附件的导光镜部分结构的示意图；
图7.采用本发明附件检测，入射角为70度，不同镜面间距时Si表面NHS单分子膜的p偏振光红外光谱图，(a)1.5mm；(b)2mm；(c)2.5mm；(d)3mm；
图8.采用本发明附件检测，不同入射角下Si表面NHS单分子膜的p偏振光红外光谱图，(a)55度；(b)60度；(c)65度；(d)70度；(e)75度；(f)80度。
图9.实施例2的红外光谱仪多次透射-反射测量附件的结构以及光路的示意简图。
具体实施方式
实施例1.红外光谱仪多次透射-反射测量附件
该附件的设计光路可以在目前各种红外光谱仪上使用，在下面的具体实施例中是根据Bruker公司红外光谱仪来设计的。Bruker红外光谱仪所用的透射支架作为附件固定的底座。光谱仪的入射光将在样品腔的中间聚焦成一个很小的斑点，然后发散到达检测器。在本实施例中将这个聚焦点作为附件的入射光，在设计中尽可能的使出射光保持原有的发散状态到达检测器。样品检测中入射角度通过步进电机精确控制。
红外光谱仪多次透射-反射测量附件主要包括：底板1，插板2，二个平面反射镜7、8，二个导光镜10、11，以及两个步进电机5、6，如图1所示。整个附件通过插板固定与Bruker红外光谱仪的透射支架上。步进电机固定于底板的下表面，其转轴延伸至底板上表面，分别与平面反射镜底座3和导光镜底座4紧密配合，通过单片机控制步进电机的转动角度，从而控制底座3和4的旋转角度。测量时样品置于平面反射镜7和8之间。平面反射镜7的位置固定，平面反射镜8的位置通过螺旋测微头12精确控制。样品9的位置由螺旋测微头13精确控制。通过光谱仪的入射光17在平面反射镜7和8之间的多次反射的同时，在样品9表面发生多次反射和透射。改变平面反射镜7和8之间的距离，可以改变透射和反射的次数。光线18离开样品镜，经导光镜10反射后成为光线19，19在导光镜11表面反射，最终出射光20到达检测器。随着平面反射镜底座3角度的改变，平面反射镜7和8也随之转动，从而达到改变检测的入射角的目的。对应地改变导光镜底座4的角度，可以使光线顺利的达到检测器。
折片21固定在平面反射镜底座3上，并在它们之间加一块垫片22，以增加折片21的高度。平面反射镜7用胶粘剂粘附在折片21上。在固定折片21时，长条形孔使其可以方便的前后移动，这样便于更换不同厚度的平面反射镜。在滑轨中的滑块23和底座之间放置一弹簧25，直杆24用于固定弹簧的方向。滑块另一侧和螺旋测微头12接触。通过测微头和弹簧的前后伸缩能使滑块22前进或后退。折片16底部的架脚28，29和滑块23上的两个孔配合，可以方便的插入和取出。折片16和直板15之间的四个顶角上放置弹簧26，通过螺丝27固定在一起，并且可以三维方向上改变直板15的位置。平面反射镜8粘附在直板15上，并且可以方便的取下。滑块31，33用于固定样品硅片9，滑块两侧同样用螺旋测微头13和弹簧30来使其前后移动。测量时在31，33之间放一块与待测样品9同厚度的滑片32，使两滑块之间产生与待测硅片同等厚度的缝隙，样品硅片9可以固定在中间。滑块31与螺杆14相连，由于弹簧处于压缩状态，螺帽34可以用于固定滑块31，使其与滑块33分开，可以很方便的更换检测样品。这样，待测样品9与平面反射镜7之间距离以及两平面反射镜7和8之间距离均可以精确的控制。
导光镜10和11分别粘附于支架37和38上，并固定在滑块35和36一侧。滑块有内螺纹，可以通过螺杆39和40使其前后移动，达到控制导光镜位置的目的。
利用本发明附件测量了：在Si-H表面嫁接一层N-羟基丁二酰亚胺(NHS)的单分子膜的分子结构。图7是在入射角为70度条件下，改变镜面间距得到的不同谱图。其中随着镜面间距的减小，由于透射-反射的次数增加，所以红外吸收峰的强度也随着增强。
图8为不同入射角条件下测量的红外光谱图，其中平面镜面之间的距离保持2mm不变。在谱图中曲线具有较好信噪比，随着入射角的增加，硅表面的透射和反射次数减少，所以红外吸收峰的强度减弱。
实施例2.红外光谱仪多次透射-反射测量附件
本实施例的红外光谱仪多次透射-反射测量附件与实施例1的基本相同，其不同点在于：
1.平面反射镜7，8的底座3不能旋转，不与步进电机相连；
2.导光镜10，11改变成导光镜41，42，分别置于两个平面反射镜7，8的红外光路前、后方，如图9所示。两个导光镜41，42分别有平行位移部件，并且底座与步进电机相连接，可以调节其位置和方向，调节导光镜41可以达到改变检测的红外光的入射角的目的，调节导光镜42可以使出射光20顺利的达到检测器。
用本实施例的红外光谱仪多次透射-反射测量附件进行测量，其结果与实施例1相同。

Claims (9)

1.一种红外光谱仪多次透射-反射测量附件，红外光谱仪多次透射-反射测量附件置于红外光谱仪的样品腔内，其特征是：它有两个平行的平面反射镜(7和8)，在两个平面反射镜之间有样品固定架，样品固定架可以将样品片(9)固定在两个平面反射镜(7和8)之间、并与平面反射镜(7和8)平行，在测量时，红外光谱仪发射的红外光(17)与平面反射镜(7和8)成一入射角进入两个平面反射镜(7和8)之间，在两个平面反射镜(7和8)之间进行多次反射，样品片(9)则被红外光多次透射-反射测量，经过对样品多次透射-反射测量后的红外光(20)进入红外光谱仪的检测器。
2.根据权利要求1所述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，其特征是：所述的平面反射镜(7和8)有平行位移部件(12)，以调节两个平面反射镜(7和8)之间的距离。
3.根据权利要求1所述的红外光谱仪多次透射一反射测量附件，其特征是：所述的样品固定架有平行位移部件(13)，以调节样品在平面反射镜(7，8)间的位置。
4.根据权利要求1或2或3所述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，其特征是：所述的两个平面反射镜(7和8)和样品固定架有一个共同的旋转平台(3)，以调节红外光进入平面反射镜(7和8)的入射角度。
5.根据权利要求1或2或3所述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，其特征是：在两个平面反射镜(7和8)的红外光路后方，有可以改变位置或/和角度的导光反射镜，用于调节红外光(18)光路的方向，增强检测器接收到的光信号。
6.根据权利要求4所述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，其特征是：在两个平面反射镜(7和8)的红外光路后方，有可以改变位置或/和角度的导光反射镜(10和11)，用于调节红外光(18)光路的方向，最大可能地增强检测器接收到的光信号。
7.根据权利要求1、2、3或6所述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，其特征是：在两个平面反射镜(7，8)的红外光路(17)的前方有可以改变位置或/和角度的导光反射镜(41)，用于调节红外光(17)进入两个平面反射镜(7和8)，并可以改变测量的入射角度。
8.根据权利要求4所述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，其特征是：在两个平面反射镜(7和8)的红外光路(17)的前方有可以改变位置或/和角度的导光反射镜(41)，用于调节红外光(17)进入两个平面反射镜(7和8)，并可以改变进入两个平面反射镜的入射角度。
9.根据权利要求5所述的红外光谱仪多次透射-反射测量附件，其特征是：在两个平面反射镜(7，8)的红外光路(17)的前方有可以改变位置或/和角度的导光反射镜(41)，用于调节红外光(17)进入两个平面反射镜(7，8)，并可以改变进入两个平面反射镜的入射角度。
CN2006100978594A 2006-11-16 2006-11-16 红外光谱仪的多次透射-反射测量附件 Expired - Fee Related CN1975386B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2006100978594A CN1975386B (zh) 2006-11-16 2006-11-16 红外光谱仪的多次透射-反射测量附件
US12/515,018 US20100051813A1 (en) 2006-11-16 2007-11-12 Measurement accessory with multiple transmission-reflections used for infrared spectrometer
PCT/CN2007/003186 WO2008058456A1 (fr) 2006-11-16 2007-11-12 Accessoire de mesure à transmission réflexions multiples pour spectromètre à infrarouge

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2006100978594A CN1975386B (zh) 2006-11-16 2006-11-16 红外光谱仪的多次透射-反射测量附件

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1975386A true CN1975386A (zh) 2007-06-06
CN1975386B CN1975386B (zh) 2010-10-13

Family

ID=38125609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006100978594A Expired - Fee Related CN1975386B (zh) 2006-11-16 2006-11-16 红外光谱仪的多次透射-反射测量附件

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20100051813A1 (zh)
CN (1) CN1975386B (zh)
WO (1) WO2008058456A1 (zh)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008058456A1 (fr) * 2006-11-16 2008-05-22 Nanjing University Accessoire de mesure à transmission réflexions multiples pour spectromètre à infrarouge
CN102445440A (zh) * 2010-10-09 2012-05-09 北京网新易尚科技有限公司 薄层荧光检测仪
CN102608033A (zh) * 2012-04-09 2012-07-25 中国科学院长春应用化学研究所 一种红外光谱仪反射附件
CN103383344A (zh) * 2013-06-24 2013-11-06 西安近代化学研究所 一种多晶体整合型红外光谱衰减全反射附件
CN105092511A (zh) * 2015-08-12 2015-11-25 南京秀科仪器有限公司 一种测量单晶硅代位碳和间隙氧含量的方法
CN105300910A (zh) * 2014-06-27 2016-02-03 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 用于红外测试中的承载装置
CN108074829A (zh) * 2016-11-10 2018-05-25 上海新昇半导体科技有限公司 基于ftir的表征设备
CN109975213A (zh) * 2019-05-05 2019-07-05 荧飒光学科技（上海）有限公司 傅里叶变换光谱仪用全反射装置
CN104251832B (zh) * 2013-06-27 2019-11-12 罗伯特·博世有限公司 用于设备的外部件和设备
CN112179863A (zh) * 2020-09-01 2021-01-05 长江存储科技有限责任公司 透射采样装置及方法
CN115753817A (zh) * 2022-11-17 2023-03-07 无锡联发易创科技有限公司 一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法
CN117782999A (zh) * 2024-02-27 2024-03-29 上海英盛分析仪器有限公司 一种基于激光气体分析仪用的光束方向调节装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9097583B2 (en) 2012-05-22 2015-08-04 Los Gatos Research Long-path infrared spectrometer

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU883714A1 (ru) * 1978-10-10 1981-11-23 Предприятие П/Я А-7629 Многоходова оптическа кювета
US5214286A (en) * 1992-02-05 1993-05-25 Harrick Scientific Corporation Horizontal multiple internal reflection accessory for internal reflection spectroscopy
DE4312320A1 (de) * 1993-04-15 1994-10-20 Bayer Ag Transmissionsphotometer zur Messung der Absorption von Flüssigkeiten
US5534698A (en) * 1993-07-07 1996-07-09 Research Development Corporation Solid state surface evaluation methods and devices
US5381234A (en) * 1993-12-23 1995-01-10 International Business Machines Corporation Method and apparatus for real-time film surface detection for large area wafers
US6310348B1 (en) * 1999-06-25 2001-10-30 Ramspec Corporation Spectroscopic accessory for examining films and coatings on solid surfaces
US6818894B2 (en) * 2001-04-30 2004-11-16 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Method and apparatus for characterization of ultrathin silicon oxide films using mirror-enhanced polarized reflectance fourier transform infrared spectroscopy
TWI334921B (en) * 2003-09-15 2010-12-21 Zygo Corp Surface profiling using an interference pattern matching template
CN1975386B (zh) * 2006-11-16 2010-10-13 南京大学 红外光谱仪的多次透射-反射测量附件

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008058456A1 (fr) * 2006-11-16 2008-05-22 Nanjing University Accessoire de mesure à transmission réflexions multiples pour spectromètre à infrarouge
CN102445440A (zh) * 2010-10-09 2012-05-09 北京网新易尚科技有限公司 薄层荧光检测仪
CN102608033A (zh) * 2012-04-09 2012-07-25 中国科学院长春应用化学研究所 一种红外光谱仪反射附件
CN103383344A (zh) * 2013-06-24 2013-11-06 西安近代化学研究所 一种多晶体整合型红外光谱衰减全反射附件
CN103383344B (zh) * 2013-06-24 2015-10-28 西安近代化学研究所 一种多晶体整合型红外光谱衰减全反射附件
CN104251832B (zh) * 2013-06-27 2019-11-12 罗伯特·博世有限公司 用于设备的外部件和设备
CN105300910B (zh) * 2014-06-27 2018-08-28 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 用于红外测试中的承载装置
CN105300910A (zh) * 2014-06-27 2016-02-03 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 用于红外测试中的承载装置
CN105092511A (zh) * 2015-08-12 2015-11-25 南京秀科仪器有限公司 一种测量单晶硅代位碳和间隙氧含量的方法
CN108074829A (zh) * 2016-11-10 2018-05-25 上海新昇半导体科技有限公司 基于ftir的表征设备
CN109975213A (zh) * 2019-05-05 2019-07-05 荧飒光学科技（上海）有限公司 傅里叶变换光谱仪用全反射装置
CN109975213B (zh) * 2019-05-05 2024-01-26 荧飒光学科技（上海）有限公司 傅里叶变换光谱仪用全反射装置
CN112179863A (zh) * 2020-09-01 2021-01-05 长江存储科技有限责任公司 透射采样装置及方法
CN112179863B (zh) * 2020-09-01 2021-10-19 长江存储科技有限责任公司 透射采样装置及方法
CN115753817A (zh) * 2022-11-17 2023-03-07 无锡联发易创科技有限公司 一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法
CN115753817B (zh) * 2022-11-17 2023-09-26 无锡联发易创科技有限公司 一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备
CN117782999A (zh) * 2024-02-27 2024-03-29 上海英盛分析仪器有限公司 一种基于激光气体分析仪用的光束方向调节装置
CN117782999B (zh) * 2024-02-27 2024-04-30 上海英盛分析仪器有限公司 一种基于激光气体分析仪用的光束方向调节装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008058456A1 (fr) 2008-05-22
US20100051813A1 (en) 2010-03-04
CN1975386B (zh) 2010-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1975386B (zh) 红外光谱仪的多次透射-反射测量附件
EP0696345B1 (en) Self aligning in-situ ellipsometer and method of using for process monitoring
CN102590147B (zh) 灵敏度与动态范围可调的表面等离子体共振系统及方法
KR100876608B1 (ko) 회전거울을 이용한 표면 플라즈몬 공명 센서
CN110062180A (zh) 用于检查的具有电可控制孔径的传感器及计量系统
CN101021447A (zh) 测量1/4波片的相位延迟和快轴方向的方法和装置
CN101473212A (zh) 聚焦光束椭偏仪
EP2466384A3 (en) Plane position detecting apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method
CN2819212Y (zh) 一种新型快速椭圆偏振光测量仪
CN107389459A (zh) 一种薄膜力学性能实时测试装置
CN1818619A (zh) 便携式红外光谱仪
CN1786659A (zh) 一种提高滚转角测量灵敏度的方法与装置
CN1186621C (zh) 超快过程的探测装置
CN1916747A (zh) 非线性光学器件损伤检测装置
CN101059436A (zh) 非扫描式智能数字化集成spr检测器
EP1239260A3 (en) Film thickness measuring apparatus
CN111207678B (zh) 一种非旋转式薄膜厚度及折射率测量方法
CN107991233A (zh) 贵金属纳米阵列消光光谱测量装置及其传感检测方法
CN114910422A (zh) 一种可变入射角的光谱椭偏仪
CN1828368A (zh) 用于紫外－近红外波段椭圆偏振光谱仪的相位补偿器
CN103185638B (zh) 宽带偏振光谱仪和光学测量系统
WO2007127760A3 (en) Spectroscopic ellipsometers
CN201681041U (zh) 用于椭偏测量系统的样品方位校准的装置
KR100732118B1 (ko) 회전 보상기형 외축 타원 해석기
US9823192B1 (en) Auto-calibration surface plasmon resonance biosensor

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Application publication date: 20070606

Assignee: Nanjing show Biotechnology Co., Ltd.

Assignor: Nanjing University

Contract record no.: 2014320000466

Denomination of invention: Multiple transmission-reflection measuring attachement for infrared spectrum instrument

Granted publication date: 20101013

License type: Exclusive License

Record date: 20140529

LICC Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20101013

Termination date: 20151116