CN1878731A - 制造玻璃板的方法 - Google Patents
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Abstract
一种方法,它用于形成其夹杂物和条纹基本上很少的玻璃,该方法包括:通过适当选择搅拌器直径、搅拌器速度和耦合距离,便可在搅拌操作中保持预定的搅拌效率的同时减小剪切力。搅拌装置(100)包括搅拌容器(101),用于接收输入(107)处的流体玻璃(105)。耦合距离是搅拌容器中搅拌叶片的边缘与内壁之间的距离。该玻璃可以用于形成平板显示器(比如,用作计算机监视器、个人数字助理和手机的液晶显示器)中所使用的玻璃板。该玻璃板可以使薄膜晶体管形成于其上,以便在该显示器上形成像素。
Description
背景技术
显示器具有许多应用。例如,玻璃基板可以用在有源矩阵液晶显示器(AMLCD)和薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)中,这些显示器可用于笔记本电脑、平板桌面显示器、LCD电视以及互联网和通信设备,所提到的仅是一些示例。
在许多基于LCD的显示器中,某些电子组件常常形成于显示器的玻璃板上。通常,晶体管都是薄膜晶体管(TFT),并且都是互补金属氧化物半导体(CMOS)器件。在这些应用中,直接在显示器的玻璃材料上形成半导体结构是有益的。
由此,许多LCD显示器常常包括玻璃基板,晶体管便形成于玻璃基板之上并在LC材料层之下。这些晶体管排列成图案化的阵列,并由外围电路来驱动以便在期望的电压下进行开关操作,从而使LC材料的分子按期望的方式进行定向。这些晶体管由此创建出该显示器的像素(像素)。
使用这些显示器时,对玻璃材料的均匀性需求显著增加了。为此,较为有利的是(如果不是必需的),用在这些显示器中的玻璃基板要没有夹杂物和表面不规整性。这些需求对制造工艺提出了某些要求。
为了提供可用于上述显示器的玻璃基板,较为有利的是减轻四种特定的缺陷类型。即,减少或基本上消除条纹、腐蚀源铂夹杂物、凝结源夹杂物以及沉淀源夹杂物。
在玻璃中,条纹是一种化学非均匀性,作为一种从玻璃板表面上的皱纹中可见的缺陷,它是很明显的,其中皱纹的长平行于拉伸方向。位于玻璃板两个表面上的这些皱纹产生透镜效应,当光线穿过该玻璃板时,可以在纵向产生彼此间隔几毫米的亮暗条带。这些皱纹也可以在最终的显示中产生有色的或有条痕的图案。
腐蚀源铂夹杂物常常由施加在搅拌室壁和搅拌器叶片上的剪切应力产生。这些小的夹杂物会在玻璃表面中产生小的表面不连续性。小的表面不连续可能会在显示器的TFT和彩色滤光片一侧产生性能缺陷。这些缺陷可以对TFT单元的彩色滤光片造成显著的影响,因为彩色滤光片是在整个表面处理过程中而非在该单元的TFT一侧中不连续的区域处理过程中制造的。
凝结源夹杂物常常产生于玻璃中的贵金属或化学组分在搅拌室顶部自由面处挥发的过程中,这些贵金属或化学组分在更冷的表面处凝结,然后又落入熔融的玻璃中,从而产生固体或气态的缺陷。固体缺陷在上述产品中会产生问题。气态缺陷会影响该表面,但更可能变为最终产品的像素中的光学缺陷。
沉积源铂夹杂物常常产生于搅拌室下游的制造系统中,其中玻璃流基本上是层流的。来自制造过程中的铂(Pt)或其它元素在玻璃和容器的界面处扩散到流动的玻璃中。存在于玻璃中的元素(铂或铑(Rh))的量是该玻璃与容器紧密接触的温度和时间的函数,也是该玻璃中元素的溶解度和扩散率的函数。这些元素在后面制造系统中的沉积依赖于元素的浓度、元素结晶化过程的热力学和动力学、以及制造过程所规定的“时间-温度”函数关系。
因此,需要一种方法和装置来制造可以解决上述问题的玻璃板。例如,需要减小剪切应力以符合目前以及将来LCD显示玻璃基板对铂微夹杂物的要求。
发明内容
根据一个实施例,一种用于形成基本上很少有夹杂物和条纹的玻璃的方法包括:通过适当选择搅拌器直径、搅拌器速度和耦合距离,在搅拌操作过程中保持预定的搅拌效率的同时减小剪切力。
附图说明
当结合附图阅读下面的详细描述时,可以更好地理解本发明。需要强调的是,各种特征并不必然地按比例画出。事实上,为了清楚地进行说明,尺寸可能会任意放大或缩小。
图1是根据一实施例的搅拌室和搅拌器的横截面图。
图2是根据一实施例示出了恒定搅拌效率的条件的表格。
图3是根据一实施例所要求的搅拌效率与速度的函数关系图。
图4是根据一实施例示出了恒定搅拌效率的条件的表格。
图5是根据一实施例“产品损耗对周期”的图示。
图6是根据一实施例“剪切应力对搅拌效率”的图示。
图7是根据一实施例“搅拌容器内壁上的剪切应力对温度”。
图8a和8b分别是根据一实施例玻璃的混合有所改进的玻璃材料中染料的图像以及各种已知方法所对应很差的玻璃混合。
图9是根据一实施例“强度对像素距离”的图示。
图10是根据一实施例“搅拌器效率指数对剪切率距离”的图示。
具体实施方式
在下面的实施例中,出于解释而非限制的目的,阐述了揭示特定细节的实施例,以便对本发明有透彻的理解。然而,对于本领域一般技术人员而言,在获得本发明的益处的同时,本发明可以按并不背离此处所揭示的特定细节的其它实施例来实施。此外,对公知的器件、方法和材料的描述可以省略,从而凸显对本发明的描述。
简单地讲,作为此处描述的实施例,描述了在用于各种显示产品的玻璃板的制造过程中所使用的一种搅拌设备(搅拌器)结构。搅拌器的结构描述相对于搅拌器效率和铂表面上的剪切应力以及该技术的延伸,以减少沉积源夹杂物。此外,在减少上述剪切应力所产生的夹杂物的同时,各实施例会减少由粘性不同的不连续玻璃材料所产生的玻璃显示器中的条纹。后者通过增大搅拌器的输出速率便可解决,增大该速率可减小这些化学非均匀性产生的皱纹在最终产品中的周期。在各实施例中,增大搅拌器叶片和搅拌室壁之间的距离(称为耦合距离“C”),同时增大搅拌器的圆周速度。这减少了进入最终产品中的铂夹杂物和条纹。
图1示出了根据一实施例的搅拌装置100。搅拌装置100包括搅拌容器101,用于接收输入107处的流体玻璃105。然后,用搅拌器103搅拌该玻璃,以提高玻璃材料106的均匀性,玻璃材料106在输出108处流出。由此,玻璃材料105向下流动,并且搅拌器103绕其枢轴104的径向运动负责减少(如果不是基本上消除的话)玻璃材料中的非均匀性。
随着下文对本发明的继续描述,增大玻璃材料105上的剪切应力将减少玻璃材料106的非均匀性。然而,剪切应力越大,搅拌器103和搅拌室101中的材料被强力从这些元件中除去并进入玻璃材料106的倾向就越大。最终,如果这种情况发生,则材料中的缺陷将在表面中表现出非均匀性并在玻璃板中表现出光学像差。因此,各实施例解决了这些现象,使得去除条纹和夹杂物到了可接受的程度,以便用于目前以及将来的玻璃应用(其中这些现象必须最小化)。根据此处所描述的实施例,实现了搅拌器103的最佳耦合距离和最佳旋转速度,两者都对期望的搅拌有影响以减少非均匀性,还对玻璃材料106的期望排放流量有影响,所以玻璃材料的任何剩余非均匀的或不连续的部分之间的距离足够小,以至于在所产生的玻璃板中基本上消除了条纹,并且夹杂物基本上也除去了。
根据各实施例,直径约50微米或更大的Pt夹杂物基本上除去了。当然,根据各实施例,最好将Pt夹杂物的最大尺寸减小到50微米。条纹是由具有输出的量规测量的,该输出是条纹的亮与暗带之间的强度对比。在这种类型的测量下,根据各实施例的制造玻璃的方法导致大约小于0.67%的对比度测量。
如上所述,在产生的玻璃板中条纹的介入尤其是个问题。为此,普遍认为条纹至少起因于耐腐蚀产品和玻璃挥发产品。例如,进入搅拌系统的非均匀玻璃(例如,玻璃105)可能具有提高的氧化铝浓度、或二氧化硅浓度、或两者都有提高。从物理模型研究中很清楚地看到,当搅拌过程接收非均匀玻璃的连续输入流时,它产生了含不连续非均匀部分(尽管其浓度等级显著下降)的输出流。不连续部分的各自宽度和节距反比于搅拌器速度。即,增大搅拌器速度会通过施加到不连续的玻璃上所产生的应力来减小非均匀性。
此外,普遍认为表面皱纹的可见性取决于它们的幅度和节距。如下文的详细描述,随着搅拌室101中玻璃材料(例如,玻璃材料106)的输出速度更快而导致皱纹增多,皱纹的光学效应变得更不易看到(即使其幅度没有改变),所以目标搅拌效率实际上减小了。这便是搅拌器速度对条纹可见性影响的反映。该特性使得有可能增大耦合距离以实现进一步减小剪切应力。
定量地讲,搅拌效率E可以近似为:
其中k是正比常数,B是搅拌器上叶片的数目,D是叶片直径,N是搅拌器速度,τ是剪切应力,V是搅拌室的体积,Q是腔中玻璃的流速,μ是玻璃的粘性。
方程(1)示出了如果要在减小τ的同时保持E,则必须增大D和V。根据各实施例,较大的搅拌器直径和较大的搅拌体积(即,增大搅拌室101的尺寸)以及粘性的减小会通过使铂搅拌部分(搅拌室和搅拌器)上的剪切应力减小约80%来有效地减小微Pt夹杂物的形成。根据各实施例,通过检查搅拌器和搅拌室之间的“C”对剪切应力的影响,可以实现进一步减小剪切应力。
剪切应力可以表达为:
其中V是玻璃材料的速度,C是搅拌器103的叶片与搅拌室101的内壁102之间的耦合距离。
将方程(2)代入方程(1),得到:
其中k’=πk。
如果E、B、V和Q保持不变,改变D、N和C的效果可以从下面的方程中估计出:
目标在于找出一种条件,使得在该条件下针对最小的剪切应力使方程(4)左边保持不变。使用归一化的数值,方程(4)的结果可在图2的表格中看到。
在搅拌室中搅拌室对玻璃施加最大的剪切应力的区域是搅拌器103的叶片和搅拌容器内壁102之间最接近的区域。换句话说,剪切速率(两表面之间流体的速度梯度)和剪切应力在靠近搅拌室壁耦合区域都是最大。在本领域中,该区域常被称为耦合区域。通过增大搅拌器103的叶片边缘与内壁102之间的距离(即,耦合距离“C”),高剪切玻璃的体积按正比于枢轴104和叶片顶端之间的低剪切体积(“叶片区域”)而增大。在一个实施例中,在直径为9.875”的搅拌室中,耦合距离大约在5/8”与7/8”之间是较为有利的。此外,根据一实施例(其中搅拌室直径为9.875”),对于这两种距离而言,高剪切体积和低剪切体积的比例分别为0.315和0.396。在大约大于0.75”的耦合距离处,物理模型中所测量的搅拌器效率下降相当大。
注意到,方程3基于许多玻璃应用所对应的搅拌器物理模型,指出搅拌效率(E)直接正比于搅拌器速度(N)并反比于耦合(C)的平方根。用于LCD板以外的玻璃搅拌应用的经验表明,如果搅拌效率(E)不变,则可以成功地做得搅拌过程的放大。即,方程3指出如果耦合距离(C)翻倍,则速度(N)将需要增大40%来补偿才能使得E保持不变。
然而,图3是使LCD玻璃板中条纹品质可以接受所必需的搅拌器效率与搅拌速度和耦合距离的关系图。曲线301示出了在玻璃板中实现可接受的条纹所需的搅拌效率。对于LCD玻璃,对于所有满足条纹要求的情况,所要求的搅拌效率并不相同。所要求的搅拌效率实际上随耦合和速度的增大而减小(对应于相同的搅拌室直径)。测量显示,随速度的增大,表面皱纹的间隔变得越来越小。即使实现可接受的条纹所必需的速度预期随耦合的增大而增大,但是必需的速度并没有增大像方程3所预期的那么多。由此,随着耦合距离增大到某一值C,施加在搅拌器和搅拌室铂部分上的剪切应力会减小。根据各实施例,当C增大到超过该值时,例如,在约0.75”和1.0”范围中的值以上,搅拌将变得不再有效,从而要求甚至更大的剪切效率和剪切应力以符合条纹要求。这样,对于每一个实施例,都有一个最佳的耦合,使得铂部件上的剪切应力最小。根据一实施例,对于制造LCD应用中的玻璃板,该最佳耦合大约在0.5”到0.75”的范围中。
通过三个操作点拟合的曲线301可以用幂函数来近似:
ET arg er=1366.6N-0.7114 (5)
根据该经验示例,方程(4)左边不是恒定的,因为目标E不是恒定的。将方程(5)代入方程(4)便考虑到了这一点,得到:
从方程(6)中看到,图2的表格可以修正为图4的表格。从图4的表格中看到,通过增大耦合距离,可以在使条纹品质尚可接受的同时实现预期的剪切应力减小。可以理解,为了满足条纹要求,剪切应力随着耦合的增大而增大。根据一实施例,存在一个最佳耦合,使得铂部件上的剪切应力最小。在一个实施例中,对于搅拌室和搅拌器而言,用于产生可接受的条纹品质所对应的最小剪切应力的最佳耦合大约在0.3125”到0.75”的范围中。
也可以理解,在上述耦合距离的限制范围(大约0.3125”到0.75”之间)以外,方程5和6不再成立。为此,方程5和6基于带有耦合距离的实际搅拌器的经验。物理模型进一步表明,在C=0.75”和C=1.25”之间,搅拌特性开始下降。进一步注意到,在搅拌室直径为9.875”的一个实施例中,0.75”的耦合距离接近最佳。
减小铂表面上剪切应力的目的在于,减少在导致产品废弃的拉伸玻璃板中存在的铂腐蚀夹杂物。图5示出了非直接的证据,通过增大耦合距离已经实现了该目的。为此,图5以百分比的形式示出了产品损耗,所示的对应于已知工艺产生的玻璃,其中各周期是一个生产周期。前五组数据(周期1到5)示出了用9.875”的搅拌室中的9.25”的搅拌器制成的玻璃所对应的产品损耗。后三个周期(周期6到8)是使用直径为8.375”的搅拌器和内直径为9.875”的搅拌室(C=0.75”)的实施例。可以很容易确定,通过实现与一个实施例相关联的上述参数,可以使最终损耗大约减少40%或更多。
注意到,通过使粘度较低大约三分之二并使搅拌系统变大大约四分之一,便可实现使一个实施例的剪切应力粗略地减小四分之三。通过使搅拌器中玻璃材料的温度上升,可以实现粘度的减小。在一个实施例中,通过使玻璃温度增大约80摄氏度,从1400摄氏度(玻璃粘度约为3000泊,克/厘米秒)到1480摄氏度(玻璃粘度约为1000泊),便可实现这一点。这等价于粘度减小三分之二。
注意到,该实质的温度增高可能会减小搅拌室和搅拌器的贵金属部件的强度,并增大因氧化而导致的铂部件挥发。为此,铂合金部件的连续氧化以及较冷表面上的铂氧化物的凝聚产生了可能会落入玻璃中导致缺陷的铂粒子源。温度减小是有必要的,以减少该现象的发生。另外,搅拌室中的温度减小会减小进入搅拌室中的玻璃的温度,这将减小将来自搅拌室和搅拌器的铂溶解到玻璃中。这最终将减小来自溶液的铂缺陷沉积的可能性。
根据各实施例,通过增大耦合距离以使剪切应力下降,然后减小温度以使剪切应力回到其之前的水平,便可以在不增大剪切应力的同时实现温度减小。有关剪切应力的耦合效果在图4的表格中已示出过并且可以在图6中看出,它示出了根据各实施例的“剪切应力对搅拌效率”。
曲线601表示一种已知的粘度相对高的搅拌器所对应的剪切应力和搅拌效率之间的关系。(注意到,该图上示出的所有剪切应力都在1000泊处示出,以便比较。)连接曲线601和曲线603的线条602是恒定耦合C的线条。其它搅拌器(其直径介于5.25”和9.25”之间,耦合为0.3125”)所对应的操作线条将落在该线条上,所以它示出了增大搅拌器直径对剪切应力的影响。从较小的(直径为5.875”)条件中,顺着该线到更大的搅拌系统(直径为9.875”),导致在1000泊处剪切应力从大约0.38psi减小到大约0.27psi。这是显著的剪切减小,量级约为30%。
线条603(C=0.3125”)和线条605(C=.75”)之间的连接线604表示随着耦合从大约0.3125”变为大约0.75”时所要求的搅拌效率所对应的操作线条。这示出了在一个实施例中,通过增大耦合距离,剪切应力可以进一步减小大约50%(至大约0.14psi)。基于方程1中搅拌效率(E)的定义,在0.3125”到0.75”的耦合范围中,为实现可接受的条纹和夹杂物,搅拌效率的范围大约是175到250。例如,在各实施例中实现了9.875”ID搅拌室、两个不同的搅拌器直径、9.25”(0.3125”耦合)和8.375”(0.75”耦合)。直径为8.375”的搅拌器所对应的搅拌效率约为175。对于相同的1000泊粘度,直径为9.25”的搅拌器的剪切应力是0.270psi。直径较小的8.375”搅拌器所对应的剪切应力是0.136”。使用这些参数时,各实施例的搅拌器会产生包括LCD显示器在内的许多应用可以接受的条纹。
注意到,如果对于系统温度较低情况下的铂腐蚀夹杂物而言0.27psi的剪切应力是可以接受的,则从耦合增大中获得的益处也可以用于减小温度。图7是“搅拌容器内壁上的剪切应力对温度”的图示。该图示出了根据一实施例搅拌器的操作特征(C=0.75”)。图上的点701示出了另一个实施例的搅拌器所对应的已被证实的操作条件,尤其在1480摄氏度和16RPM处的操作。顺着恒定的搅拌效率702的线条(E=180)到另一个搅拌器所对应的剪切应力703(0.27psi),这将在不增大其它搅拌器已成功实现的剪切应力的同时允许温度从1480摄氏度减小到1430摄氏度。这可能是令人期望的,如果和物理腐蚀相比会有更多的夹杂物来自于溶液/沉积反应。如果与铂部件上剪切应力增大的影响相比低温时铂部件的腐蚀阻抗增大地更快的话,上述那一点也是可能的。
实施例
根据各实施例,已进行过一系列的油建模实验以确定耦合距离,该耦合距离可表示作为搅拌叶片和搅拌室壁之间的剪切应力的函数的最佳搅拌效率。搅拌器由多个叶片构成,不同搅拌器具有不同的尺寸以给出多个耦合距离,比如5/16”、1/2”、9/16”、5/8”、11/16”、3/4”和7/8”。通常在9rpm到25rpm的旋转速度范围中对搅拌器进行测试。这产生了叶片和内壁之间的剪切速率范围,大约5s-1到20s-1。为了说明,在1000泊粘度的情况下,大约超过15s-1的剪切速率会引起不可接受的Pt腐蚀,由此包含在所产生的产品中。
通过分析搅拌器在空间和时间上分散被注入的染料的能力,来测量搅拌器效率。使用了在几何上与生产过程中的搅拌室接近的透明塑料腔。在一定粘度、密度和流速的情况下,用聚异丁烯油来模仿玻璃,以提供热搅拌室中具有生产玻璃的运动相似。体积相对小的染料油(粘度约为全基质油的25倍)被注入到搅拌室中并允许流入搅拌室中并通过旋转叶片,然后从腔中出来。〔部分句子删除〕该模型包括已知设备的使用,这包括正方形透明管以方便无失真的观察以及混合油流的成像。
获得了出来的被染色的(红紫色—红)的油的线扫描图像(未示出)。数字视频示出了在搅拌玻璃的体积中染料的分布与参考平面处的位置和时间的函数。该图像被滤去绿色并被处理为使对比度最大化。大致抛物线形状的染料前缘是充分展开的管流的特征。
油的空间均匀性是从图像的强度对比度中得到评估的。即,低对比度表示很好的混合,而高对比度表示混合得不好。这分别在图8a和8b中示出。
通过位映像的强度数据的数字询问,便可以使上述均匀性测量量化,这在图9中示出,它是“强度对像素距离”的图。对比度被视为图像中强度空间变化的函数,色散作为特征记录表正常峰值和染料脉冲衰变的函数。色散和均匀性数字组合起来给出一个总的搅拌室效率指数(SEI),并且对于该研究中所检查的搅拌器,SEI的范围大约是0到400,数字越高表示搅拌地越好。图10示出了“搅拌器效率指数对剪切速率”的图示。这个指数衡量完全不同于搅拌器效率E,但被认为与E作用相同。通常,E是在玻璃中非均匀区域和母玻璃本身之间的交界面面积在搅拌后与搅拌前之间的比例。
例如,水池中高尔夫球所对应的界面面积是与水接触的球面,即球的外表面。然而,该球被切成两块并扔回水中,则球与水的界面面积将是所有颗粒的表面面积的总和。这将比原始球的表面面积要大许多。由此,切割该球之后与切割之前相比,界面面积的比例是一个大数字并且表示该球被切割得有多精细。之前的方程所对应的基础是在搅拌之前和之后界面面积的比例与理论推导。这是一个有趣的概念,但不容易测量。在图7的实施例中,使用了不同的搅拌效率测量。它基于对离开搅拌器的不连续的示踪元素的观察以及对线条的强度和间隔的测量。
图10中可以看到,随着耦合距离从5/16”增大到约5/8”,搅拌器效率在增大,然后在较大的叶片壁间隔处再一次下降。特别是,搅拌器效率指数随曲线1001、1002、1003的耦合距离在增大,并随曲线1004、1005和1006的耦合距离在减小。这表明对于这类搅拌器,存在耦合距离、叶片表面面积和旋转速度之间的最佳平衡,并且在生产过程中使这些参数达到最佳可以给出减小的条纹载入并减少来自搅拌器腐蚀的铂夹杂物。
期望图10中的峰值SEI尽可能地高,并且出现在最低的可能的剪切速率或剪切应力的情况下。然而,在某种程度上,有时候必须权衡或妥协。例如,曲线1005(耦合为0.75”)具有图10的实施例的曲线中次最高的SEI峰值。然而,该峰值出现在相对较高的剪切速率处。在曲线1003中较低的剪切速率(或剪切应力)处获得了甚至更高的SEI峰值,它是耦合为5/8”的搅拌器所对应的“SEI对剪切速率”。曲线1004具有一个比曲线1003和1005中的峰值都低的峰值以及一个介于曲线1003和1005的剪切速率之间的剪切速率。这样,可能有用的是提供结合图10所描述的模型,以确定哪个耦合和哪个元素提供了最佳的SEI和最小的剪切速率。
结合各实施例已经对本发明进行了详细描述,对于从本发明中获益的本领域的一般技术人员而言,对本发明进行修改是很明显的,这样的修改和变化都被包括在所附的权利要求书的范围内。
Claims (22)
1.一种用于形成夹杂物和条纹基本上很少的玻璃的方法,所述方法包括:
在通过适当地选择搅拌器直径、搅拌器速度和耦合距离以在搅拌操作中保持预定的搅拌效率的同时,提供预定程度的剪切速率。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述剪切速率小于约15s-1。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述搅拌效率约为175-250。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述耦合距离约为5/8”至7/8”,并且搅拌室的直径为9.875”。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,对于5/8”的耦合距离而言,高剪切体积与低剪切体积的比例约为0.315;对于7/8”的耦合距离而言,该比例约为0.396。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述耦合距离大约小于或等于0.75”。
7.如权利要求3所述的方法,其特征在于,它还包括选择性地改变所述搅拌器速度或所述耦合距离或同时改变两者,以产生所述范围中的搅拌效率。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述条纹的强度对比度小于约0.67%。
9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述夹杂物的直径小于约50微米。
10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述夹杂物是Pt源夹杂物。
11.一种制造显示器中使用的玻璃板的方法,所述方法包括:
在通过适当地选择搅拌器直径、搅拌器速度和耦合距离以在搅拌操作中保持预定的搅拌效率的同时,提供预定程度的剪切速率。
12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述显示器是液晶显示器、便携电话显示器和个人数字助理(PDA)中的一种或多种。
13.如权利要求10所述的方法,其特征在于,它还包括在制造之后,在所述玻璃板的表面上形成薄膜晶体管以用于所述显示器的像素。
14.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述剪切速率小于约15s-1。
15.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述搅拌效率约为175-250。
16.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述耦合距离约为5/8”至7/8”,并且搅拌室的直径为9.875”。
17.如权利要求16所述的方法,其特征在于,对于5/8”的耦合距离而言,高剪切体积与低剪切体积的比例约为0.315;对于7/8”的耦合距离而言,该比例约为0.396。
18.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述耦合距离小于或等于约0.75”。
19.如权利要求3所述的方法,其特征在于,它还包括选择性地改变所述搅拌器速度或所述耦合距离或同时改变两者,以产生所述范围中的搅拌效率。
20.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述条纹的强度对比度小于约0.67%。
21.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述夹杂物的直径小于约50微米。
22.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述夹杂物是Pt源夹杂物。
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